公开(公告)号：CN106488369A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610977053.8

申请日：2016-10-31

Applicant: 歌尔股份有限公司

Inventor： 蔡孟锦 ,  李江龙 ,  邱冠勋 ,  李俊

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R19/04 ,  H04R2400/11

Abstract: 本发明公开了一种双背极MEMS发声装置及电子设备，在衬底上通过沉积、刻蚀的方式依次设置有下背极、振膜、上背极，所述下背极、振膜、上背极之间通过绝缘层进行支撑；所述衬底上设置有与下背极对应设置的背腔；所述上背极、下背极被配置为分别持续施加相反电压的直流电信号，所述振膜被配置为施加交流电信号。本发明的发声装置，可以应用到受话器或者扬声器当中，其突破了传统线圈、磁铁的安装结构，使其体积更小，而且可以采用MEMS工艺进行制造。

公开(公告)号：CN107200300A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201710283570.X

申请日：2017-04-26

Applicant: 歌尔股份有限公司

Inventor： 李江龙 ,  李俊 ,  周宗燐 ,  蔡孟锦

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B7/0058 ,  B81C1/00333

Abstract: 本申请实施例提供一种MEMS器件及封装结构制作方法。其中，MEMS器件，包括：MEMS封装结构；以及内设于MEMS封装结构且与MEMS封装结构电连接的MEMS部件；其中，MEMS封装结构设有供MEMS部件与外界通信的信号通道，以及卡设于信号通道内的可动阀门。本申请实施例提供的MEMS器件解决了现有技术中，高压气流以及空气中的微粒会对MEMS部件造成冲击损坏的缺陷。

公开(公告)号：CN206226720U

公开(公告)日：2017-06-06

申请号：CN201621166137.5

申请日：2016-10-31

Applicant: 歌尔股份有限公司

Inventor： 蔡孟锦 ,  李江龙 ,  邱冠勋 ,  李俊

IPC: H04R19/04

Abstract: 本实用新型公开了一种双背极MEMS发声装置及电子设备，在衬底上通过沉积、刻蚀的方式依次设置有下背极、振膜、上背极，所述下背极、振膜、上背极之间通过绝缘层进行支撑；所述衬底上设置有与下背极对应设置的背腔；所述上背极、下背极被配置为分别持续施加相反电压的直流电信号，所述振膜被配置为施加交流电信号。本实用新型的发声装置，可以应用到受话器或者扬声器当中，其突破了传统线圈、磁铁的安装结构，使其体积更小，而且可以采用MEMS工艺进行制造。

公开(公告)号：CN206100451U

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201621012687.1

申请日：2016-08-31

Applicant: 歌尔股份有限公司

Inventor： 蔡孟锦 ,  邱冠勋 ,  李俊

IPC: H04R19/04

Abstract: 本实用新型涉及一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极构成的平板电容器结构；所述振膜包括悬空在背腔上方的主体部，以及位于主体部边缘并与所述主体部一体成型的连接部，在所述连接部的下方设置有补强部，且所述主体部的上端面与所述补强部的上端面齐平，所述主体部的下端面与所述补强部的下端面齐平。本实用新型的MEMS麦克风，在所述振膜的连接部位置形成了对连接部进行结构补强的补强部，从而提高了振膜连接部位的机械强度，避免了撕裂问题的发生，提高了麦克风机械跌落时的可靠性。

公开(公告)号：CN206533541U

公开(公告)日：2017-09-29

申请号：CN201720106652.2

申请日：2017-01-25

Applicant: 歌尔股份有限公司

Inventor： 詹竣凯 ,  李俊 ,  蔡孟锦

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R19/04

Abstract: 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极、支撑部构成的平板电容器结构；在所述振膜上设置有泄压装置，在所述振膜与背极之间形成了保压通道，所述振膜上的泄压装置构成了该保压通道的入口。本实用新型的麦克风，通过进入至保压通道内的气压与振膜外界受到的瞬间冲击力进行对抗，来获得二者之间的动态平衡，可以很好地缓冲振膜所受到的冲击力；采用这种结构的泄压方式，使得不用在振膜上进行过多的泄压设计，保证了振膜的可靠性。

公开(公告)号：CN206720732U

公开(公告)日：2017-12-08

申请号：CN201720450978.7

申请日：2017-04-26

Applicant: 歌尔股份有限公司

Inventor： 李江龙 ,  李俊 ,  周宗燐 ,  蔡孟锦

IPC: B81B7/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本申请实施例提供一种MEMS器件。其中，MEMS器件，包括：MEMS封装结构；以及内设于MEMS封装结构且与MEMS封装结构电连接的MEMS部件；其中，MEMS封装结构设有供MEMS部件与外界通信的信号通道，以及卡设于信号通道内的可动阀门。本申请实施例提供的MEMS器件解决了现有技术中，高压气流以及空气中的微粒会对MEMS部件造成冲击损坏的缺陷。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利