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公开(公告)号:CN204342912U
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN201420795026.5
申请日:2014-12-17
Applicant: 河南理工大学
IPC: C25D21/10
Abstract: 本实用新型公开了一种用于电沉积的阴极移动装置,包括电沉积槽、阴极和阴极移动机构;所述的阴极移动机构包括动力梁、摆杆、阴极悬挂梁和顶杆。阴极移动装置工作时,动力梁在外力作用下作水平直线运动,动力梁带动摆杆运动,从而带动阴极悬挂梁和固定于阴极悬挂梁上的阴极作水平直线运动;当摆杆触碰到顶杆时,摆杆运动受阻并以顶杆为支点发生摆动,从而带动阴极悬挂梁和阴极在竖直平面内作周向运动。此装置提高了阴极表面流场分布和电流密度分布的均匀性,极大地改善了沉积层厚度分布均匀性,且结构简单、成本低廉。
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