一种用于阴极等振幅移动的电铸挂具

    公开(公告)号:CN204530003U

    公开(公告)日:2015-08-05

    申请号:CN201520173954.2

    申请日:2015-03-26

    Abstract: 本实用新型提出了一种用于阴极等振幅移动的电铸挂具,包括旋转轴(1)、旋转臂(2)、销轴(5)、挂杆(8)、阴极装夹板(9),其特征在于:还包括由设有槽型滑道的导轨(3)和(11)、方形横梁(7)、固定支架(4)所组成的防偏机构。本实用新型能够很好地实现挂杆(8)在阴极做等振幅移动时始终保持竖直状态,且具有结构简单、易于实现等优点。

    一种用于电沉积的阴极移动装置

    公开(公告)号:CN204342912U

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201420795026.5

    申请日:2014-12-17

    Abstract: 本实用新型公开了一种用于电沉积的阴极移动装置,包括电沉积槽、阴极和阴极移动机构;所述的阴极移动机构包括动力梁、摆杆、阴极悬挂梁和顶杆。阴极移动装置工作时,动力梁在外力作用下作水平直线运动,动力梁带动摆杆运动,从而带动阴极悬挂梁和固定于阴极悬挂梁上的阴极作水平直线运动;当摆杆触碰到顶杆时,摆杆运动受阻并以顶杆为支点发生摆动,从而带动阴极悬挂梁和阴极在竖直平面内作周向运动。此装置提高了阴极表面流场分布和电流密度分布的均匀性,极大地改善了沉积层厚度分布均匀性,且结构简单、成本低廉。

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