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公开(公告)号：CN115415556A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211046735.9
申请日：2022-08-30
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种聚四氟乙烯管件的车削加工装置。针对现有车床在车削聚四氟乙烯材料薄壁管件时，由于材料弹性过大，切削时材料会随车刀一起运动，发生“让刀”现象，并最终导致切削不足的问题。本发明可代替普通机床的溜板箱直接安装在车床导轨上，装置包括：车床导轨机构、一级丝杠组件、二级丝杠组件，车床导轨机构中包含转动底座，二级丝杠组件中包含两把专用车刀。旋转底座用于控制车刀的切削角度，一级丝杠组件用于控制两把车刀的整体运动，二级丝杠组件控制车刀之间的相对运动。本发明可以高效加工出高精度的聚四氟乙烯管件，满足了半导体制造领域对于精密氟塑料管件的需求。
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公开(公告)号：CN114165456B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202111549833.X
申请日：2021-12-17
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明涉及一种基于磁液双悬浮结构的离心泵。本发明的液力悬浮‑驱动系统安装在电磁悬浮‑驱动系统上，液力悬浮‑驱动系统根据不平衡液桥在叶轮转子表面产生的压差，使叶轮转子受到向心的液力悬浮力进而完成叶轮转子的自动调节，且液桥的自平衡调节无需任何反馈信号及复杂控制；电磁悬浮‑驱动系统通过控制电流产生的变化磁场来改变叶轮转子内永磁体周围的气隙磁场分布，使叶轮转子内的永磁体受到向心的麦克斯韦力合力，以完成快速悬浮。液力悬浮‑驱动系统和电磁悬浮‑驱动系统为叶轮转子提供多维度的悬浮力。本发明在磁液双悬浮结构的支承下，可使叶轮转子更稳定地悬浮旋转，进而使离心泵具备更佳的性能。
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公开(公告)号：CN114047673B
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202111459709.4
申请日：2021-12-02
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种隔离内部波动的温控装置及其解耦控制方法。装置盒体底面接触被控物体，内部开设外层流道、夹层流道和内层微流道，装置盒体顶面上设有微翅片；温控水出口、冷却液出口有温度传感器；向内层微流道通入冷却水，向外层流道通入与外界环境温度相同的温控水；由被控物体表面和装置盒体底面热交换传递到内层微流道和外层流道，内层微流道冷却水先热交换温控，外层流道温控水吸收内层微流道对被控物体调控时过热冷量，实时对夹层温控水入口的电磁开关阀解耦控制隔绝温度波动。本发明实现高效温控的同时避免了冷却液对环境的热干扰，有利于光刻设备内部环境温度的均一性和稳定性，且设计结构紧凑，有利于在复杂的光刻机内部使用。
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公开(公告)号：CN114571644A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210161725.3
申请日：2022-02-22
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种具有全氟表面的复合式闭式叶轮。其整体由叶轮上盖和叶轮底座两部分组合而成，二者通过超声波熔融埋植的方式进行结合；叶轮上盖选用金属材料作为内部基体，外表面裹覆有氟树脂涂层，叶轮底座整体采用氟树脂材料；在埋植过程中，叶轮上盖的埋植嵌体与底座的凹槽相互贴合，二者表面的氟树脂材料通过吸收超声波机台传递的高频振动能量，迅速升温达到熔融状态，进而相互融结，形成具有全氟表面的闭式叶轮。本方案中叶轮所有表面均为氟树脂材料，满足了全氟表面的需求，提高了耐腐蚀性能，进而提升了叶轮的使用寿命与工作稳定性；整套工艺流程简单易行，针对不同形状和大小的叶轮无需重新设计开发模具，具有良好的适应性。
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公开(公告)号：CN113137373B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202010056650.3
申请日：2020-01-18
申请人： 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于液力平衡原理的磁悬浮泵结构，包括内部引流式进水口补偿结构和双向进水口补偿结构，叶轮系统同时受到多入口输入的液体压力，以补偿或平衡轴向冲击，以解决现有磁悬浮泵入水口水压波动导致转子轴向受到较大冲击，从而造成的转子旋转失稳、脉冲式出水、摩擦导致出水不纯、功率受限等问题。所述内部引流式进水口补偿结构主要特征在于内部引流式泵头结构；所述双向进水口补偿结构包括单电机形式和双电机形式，所述单电机形式和双电机形式主要特征在于双入口式泵头结构。本发明合理优化结构，利用内部引流式或多入口代替单入口来补偿或平衡叶轮运转过程中的轴向冲击，具有旋转稳定，出水平稳，功率大，结构紧凑等优点。
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公开(公告)号：CN114152295A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111459076.7
申请日：2021-12-02
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01F1/24
摘要： 本发明公开了一种集成式的磁悬浮流量控制器。底座、腔筒和上盖紧密装配并合围形成主腔体，主腔体内部装有超洁净浮子；主腔体外周布置驱动磁路，驱动磁路上下方布置悬浮磁路；驱动磁路中，驱动电机在上盖，驱动电机输出轴和丝杠连接，丝杠外经T型滑套和连接支架连接，连接支架下装外永磁体和悬浮磁路；悬浮磁路包括外永磁体上下方的悬浮组件；悬浮组件包括电路板、悬浮线圈绕组组成的悬浮线圈组和霍尔传感器组。本发明浮子本身作为执行控制阀进行流量控制，以浮子在来流冲击下相对外磁体的位移差作为流量反馈信号实现流量的闭环控制，减少了体积，保障了流体的洁净度，解决了传统浮子流量计因径向附壁摩擦而产生的起始检测流量过大的问题。
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公开(公告)号：CN113499927A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110704943.2
申请日：2021-06-24
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种粒径可调的液滴发生系统。本发明包括液滴发生装置、供液排气组件和控制组件；控制组件分别与液滴发生装置和供液排气组件电连接，液滴发生装置通过导管与供液组件相连；控制组件分别控制液滴发生装置和供液排气组件使得液滴发生装置中产生液滴，同时控制组件也监测供液排气组件的运行状态。本发明在激励频率控制和喷射液体压力控制的基础上，无需拆装喷嘴，通过转动喷嘴上的孔板底座，即可改变出液口处的微孔尺寸，能精准实现10μm‑570μm甚至更大范围粒径的液滴产生。
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公开(公告)号：CN113236795A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110546319.4
申请日：2021-05-19
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀。阀座和阀盖围成超洁净流室，超洁净流室具有进出口流道；磁悬浮阀芯在超洁净流室内；致动组件安装在阀盖外，致动组件内嵌装有外置永磁体分层磁组，通过致动组件带动外置永磁体分层磁组沿超洁净流室上下移动，进而磁性带动超洁净流室中的磁悬浮阀芯沿超洁净流室上下移动进而靠近或者远离进口流道在阀座的出口，实现阀控。本发明避免了阀杆推动阀芯所需的动密封结构，杜绝了外泄漏的风险，提高了阀整体寿命，可调节开度的同时实现了阀芯的被动磁悬浮，避免了阀芯碰壁，减少了颗粒脱落污染。
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公开(公告)号：CN112317222A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011162482.2
申请日：2020-10-27
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明提供了一种具有反馈控制功能的液滴发生器及其反馈控制方法，本发明压力保持组件向容腔内部供给液体并保持相对于外部环境的正压；还包括连通容腔内部和外部环境的喷孔，用于喷射液体流；喷孔附近设置振动扰动组件，振动扰动组件具有激振元件，激振元件与喷孔所在构件连接，激振元件传递振动至喷孔；还包括反馈控制组件，反馈控制组件包括振幅检测传感器。对喷孔的振幅进行反馈控制，使喷孔的振幅在液滴发生器工作参数改变后仍然保持稳定，喷孔的振幅稳定使液滴的形状和尺寸稳定，从而提高装置产生的液滴的质量。
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公开(公告)号：CN112305260A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011162480.3
申请日：2020-10-27
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01P5/24
摘要： 本发明涉及一种超声风速仪及其测量方法。本发明采用了多个换能器组合的超声波发射站和接收站，降低了超声波被吹偏后丢失信号的概率，能够扩展大口径或高流速下超声风速仪的测量范围。设置包括多个超声换能器的上游超声站和下游超声站，使超声波在大口径测量管或者高流体流速条件下被吹偏时仍然可以被换能器接收到，从而扩展了超声风速仪的流速测量量程。提供了一种设置超声站中的换能器间隔布置的实施方式，在扩展超声风速仪的量程的同时节约了换能器数量。提供了使用本发明提供的超声风速仪进行流速测量的方法，能够扩展超声风速仪的量程，并且能够提高风速测量的精度。
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