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公开(公告)号：CN111245318A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010059364.2
申请日：2020-01-18
申请人： 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
IPC分类号： H02P21/00 , H02P21/13 , H02P6/182 , H02P25/022
摘要： 本发明提出一种无轴承永磁同步电机径向力精确补偿解耦控制方法，包括位置控制器、力/电流转换、电流控制器、径向位移传感模块、转矩绕组磁链和转子角位置观测器、神经网络以及电压型逆变器。离线训练神经网络确定无轴承永磁同步电机系统力-位置模型；将径向位移传感测量信号与转子角位置观测信号反馈到神经网络输入端，得到的输出信号与位置控制器的输出信号叠加，实现对无轴承永磁同步电机径向力的精确补偿解耦控制。该方法解决了转子径向位置x，y间的非线性耦合问题，提高了转子悬浮的控制精度与响应速度等动态与静态系统性能，达到对无轴承永磁同步电机悬浮子系统高精度控制的目的。
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公开(公告)号：CN113137373B
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202010056650.3
申请日：2020-01-18
申请人： 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于液力平衡原理的磁悬浮泵结构，包括内部引流式进水口补偿结构和双向进水口补偿结构，叶轮系统同时受到多入口输入的液体压力，以补偿或平衡轴向冲击，以解决现有磁悬浮泵入水口水压波动导致转子轴向受到较大冲击，从而造成的转子旋转失稳、脉冲式出水、摩擦导致出水不纯、功率受限等问题。所述内部引流式进水口补偿结构主要特征在于内部引流式泵头结构；所述双向进水口补偿结构包括单电机形式和双电机形式，所述单电机形式和双电机形式主要特征在于双入口式泵头结构。本发明合理优化结构，利用内部引流式或多入口代替单入口来补偿或平衡叶轮运转过程中的轴向冲击，具有旋转稳定，出水平稳，功率大，结构紧凑等优点。
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公开(公告)号：CN113138537B
公开(公告)日：2023-10-13
申请号：CN202010055155.0
申请日：2020-01-17
申请人： 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置具有第一抽排开口和第二抽排开口，使大部分浸液经第一抽排开口被抽吸，大部分密封气体经第二抽排开口被抽吸，使第一抽排开口和第二抽排开口中都具有较稳定的气液比例和流型；抽排开口和注气开口之间设置缓冲腔，使弯液面在向外运动时压缩缓冲腔；缓冲腔受压缩后会增强气密封压力，提高气密封对弯液面的约束效果。
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公开(公告)号：CN111245318B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202010059364.2
申请日：2020-01-18
申请人： 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
IPC分类号： H02P21/00 , H02P21/13 , H02P6/182 , H02P25/022
摘要： 本发明提出一种无轴承永磁同步电机径向力精确补偿解耦控制方法，包括位置控制器、力/电流转换、电流控制器、径向位移传感模块、转矩绕组磁链和转子角位置观测器、神经网络以及电压型逆变器。离线训练神经网络确定无轴承永磁同步电机系统力‑位置模型；将径向位移传感测量信号与转子角位置观测信号反馈到神经网络输入端，得到的输出信号与位置控制器的输出信号叠加，实现对无轴承永磁同步电机径向力的精确补偿解耦控制。该方法解决了转子径向位置x，y间的非线性耦合问题，提高了转子悬浮的控制精度与响应速度等动态与静态系统性能，达到对无轴承永磁同步电机悬浮子系统高精度控制的目的。
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公开(公告)号：CN113138537A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202010055155.0
申请日：2020-01-17
申请人： 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的浸液供给回收装置。所述装置具有第一抽排开口和第二抽排开口，使大部分浸液经第一抽排开口被抽吸，大部分密封气体经第二抽排开口被抽吸，使第一抽排开口和第二抽排开口中都具有较稳定的气液比例和流型；抽排开口和注气开口之间设置缓冲腔，使弯液面在向外运动时压缩缓冲腔；缓冲腔受压缩后会增强气密封压力，提高气密封对弯液面的约束效果。
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公开(公告)号：CN113137373A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202010056650.3
申请日：2020-01-18
申请人： 浙江大学 , 浙江启尔机电技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种基于液力平衡原理的磁悬浮泵结构，包括内部引流式进水口补偿结构和双向进水口补偿结构，叶轮系统同时受到多入口输入的液体压力，以补偿或平衡轴向冲击，以解决现有磁悬浮泵入水口水压波动导致转子轴向受到较大冲击，从而造成的转子旋转失稳、脉冲式出水、摩擦导致出水不纯、功率受限等问题。所述内部引流式进水口补偿结构主要特征在于内部引流式泵头结构；所述双向进水口补偿结构包括单电机形式和双电机形式，所述单电机形式和双电机形式主要特征在于双入口式泵头结构。本发明合理优化结构，利用内部引流式或多入口代替单入口来补偿或平衡叶轮运转过程中的轴向冲击，具有旋转稳定，出水平稳，功率大，结构紧凑等优点。
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公开(公告)号：CN118483879A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410707632.5
申请日：2024-06-03
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种基于有机介质的IC光刻设备浸没边界流场收束及撤除方法。将超疏油涂层均匀喷涂在IC光刻设备的基底上的浸没液回收不充分处，然后进行加热处理；通过浸没供给系统将浸没液填充浸没边界流场，完成收束；同时将浸没液流出进行回收；通过浸没供给系统回收浸没液直至完全流出，完成撤除。本发明通对浸没液回收不充分处喷涂超疏油涂层，能够在不影响曝光条件与流体特性的基础上增大流体在基底表面上的接触角，改善了流体于基底上的流动特性，消除了流体残余，实现了有机介质均匀完全填充以及完全回收等效果；本发明无需改变基底自身结构，提高了有机介质的使用效率，降低成本的同时提高了生产效率，最终提高了曝光质量。
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公开(公告)号：CN117944115A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410061102.8
申请日：2024-01-16
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种热塑性材料切屑自动断屑清屑装置及方法。本发明包括：进屑管为十字形四通管体，两对管口分别为进屑口和吸屑口、进风口和断屑口；进屑口一端贯穿刀具的刀杆后朝向工件，吸屑口有负压风机，进风口有鼓风机；自动断屑模块，布置于进屑管的断屑口处且与进屑管固定连接，驱动模块，与自动断屑模块相连并为自动断屑模块切断切屑提供驱动。本发明可以实现热塑性材料切削过程中的切屑清理，解决热塑性材料切削断屑难的问题，减少切屑缠绕刀片的现象，同时也解决了切屑缠绕造成的散热难，切削温度高等问题，提高加工精度和生产效率。
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