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公开(公告)号：CN104792379B
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201510164860.3
申请日：2015-04-08
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于流体状态检测的科氏流量计振幅自适应控制方法。科氏流量计测量管的入口端安装超声波换能器，利用气泡等杂质对超声波信号的衰减作用，通过阈值比较器检测判断接收信号的幅值是否发生突变，得到流体状态是否含有杂质，进而进行固定PID与模糊PID振幅控制器的切换。本发明方法通过对流体状态的检测，通过自适应切换控制器既能保持其高精度的稳态控制性能，又能提高系统动态响应速度，避免测量管停振，并快速重建稳定振动，增强科氏流量计测量管振幅控制的自适应性，提高科氏流量计在复杂工况下的可靠性和计量性能。
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公开(公告)号：CN104965392B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201510423584.8
申请日：2015-07-17
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的垂直回收和气密封装置。在浸没单元基体上开有中心锥孔，底面开有垂直气液回收腔和注气腔，浸没单元基体开有水平注液口和、水平液体回收口、注气口和垂直气液回收口；浸没单元下端盖上开有中心通孔，浸没单元下端盖顶面开有垂直气液回收孔槽和气密封孔槽；垂直气液回收孔槽上开有垂直气液回收孔，气密封孔槽开有气密封孔，其个微孔均位于相邻道垂直回收孔中最紧邻的两个微孔中垂线上。本发明完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封功能，通过垂直回收的回收负压和气密封的气体流，约束浸没液体的流场边界，保证光刻机在高速运转过程中浸没液体不发生泄漏。
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公开(公告)号：CN104165663B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410336014.0
申请日：2014-07-15
申请人： 浙江大学 , 天信仪表集团有限公司
摘要： 本发明公开了一种应用于低功耗超声波流量计的超声波信号幅值检测方法。在完成第一次超声波信号幅值检测后，随后每次超声波信号幅值检测过程中控制充电电容的电荷释放量，同时通过对工作模式进行控制，将随后的每次工作时间缩短和将相邻两次的休眠时间延长；并将输入端连接第一比较器，将充电电容连接第二比较器，根据超声波信号的峰值，对第一比较器和第二比较器的比较电压进行调整。本发明通过电路改进和硬件控制，实现了充电电容残余能量的再利用，同时缩短了硬件工作时间，从而降低了功耗，提高超声波流量计的使用年限；并根据检测到的超声波信号峰值调整第一、第二比较器的比较电压，从而实现超声波流量计信号幅值检测电路的自适应调整功能。
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公开(公告)号：CN105634758A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201510997411.7
申请日：2015-12-26
申请人： 浙江大学
IPC分类号： H04L12/18
CPC分类号： Y02D50/10 , H04L12/1881
摘要： 本发明公开了一种局域网的单触发自保持数据采集方法。包括如下步骤：主机广播通信帧后，进入接收状态；每台从机根据其所接收的通信帧中的地址域依次由接收状态转换为发送状态，对通信帧的数据域和地址域处理，再将处理后的通信帧广播出去；当局域网中的一台或多台从机出现故障，导致无法将通信帧继续传递下去时，其他的正常从机在没有主机干预的情况下，能够发现通信故障，并将通信帧传递下去；主机依次接收到通信帧，将通信帧中的有效数据保存下来，完成局域网的数据采集。本发明可以保证通信帧传递最少跳数和最少时间，提高网络的数据传输效率，降低网络的功耗。
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公开(公告)号：CN105606265A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201610029884.2
申请日：2016-01-15
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01L1/02
CPC分类号： G01L1/02
摘要： 本发明公开了一种基于液压力传导的柔性触觉传感器。柔性封装外层内，腔体阵列柔性层固定安装在腔体阵列金属基座上，腔体阵列柔性层和腔体阵列金属基座之间形成多个密封且相互隔离不连通的油液填充空腔，油液填充空腔充满有传导油液，每个油液填充空腔内的腔体阵列金属基座底面固定有硅压力敏感单元，并开有四个通孔分别密封安装金属接线柱和密封塞。本发明柔性触觉传感器具有稳定性好、灵敏度高、具备静动态信号检测能力、制备工艺成熟、集成方便的特点，可用于人工假肢、机器人手等智能化机电设备。
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公开(公告)号：CN105045046A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510479159.0
申请日：2015-08-03
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封及水平和垂直注液回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间置有本发明装置；包括浸没单元下端盖、浸没单元基体、垂直注液孔板、焊接盖板和注气盖板，浸没单元下端盖、垂直注液孔板及注气盖板安装在浸没单元基体下表面，浸没单元基体上表面开有气和液的流道，流道通过焊接盖板密封覆盖。本发明能满足浸没式光刻系统中缝隙流场的密封、液体的注入回收、核心流场的流速均一以及缝隙流场稳定更新的要求；采用气密封结构和垂直注液回收结构实现缝隙流场的密封，采用特殊的水平注液及回收结构保证了核心流场的流速均一性要求并降低水平回收由于气液两相流产生的振动和噪声。
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公开(公告)号：CN103465258B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201310416186.4
申请日：2013-09-13
申请人： 浙江大学
IPC分类号： B25J9/02
摘要： 本发明公开了一种基于柔性铰链的三自由度精密调节装置。该装置安装在浸没式光刻机的主框架和浸没单元之间，其安装基板和运动平台之间由三组相同的运动支链以并联方式相连；每组运动支链由竖直直线运动模块、连接杆固定块、紧固螺栓、连接螺栓组成；竖直直线运动模块由直线运动副、关节轴承、压缩弹簧、关节轴承端盖、端盖螺栓、连接杆组成；在运动平台上与每组运动支链对应的位置分别有一组并联的柔性铰链。本发明用以实现浸没式光刻机浸没单元的安装固定和空间位姿调节，实现浸没单元亚微米级定位；本发明无运动间隙，刚度高，行程大，采用模块化设计，能用于浸没式光刻机以外其它场合下的三自由度精密调节。
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公开(公告)号：CN104792379A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510164860.3
申请日：2015-04-08
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于流体状态检测的科氏流量计振幅自适应控制方法。科氏流量计测量管的入口端安装超声波换能器，利用气泡等杂质对超声波信号的衰减作用，通过阈值比较器检测判断接收信号的幅值是否发生突变，得到流体状态是否含有杂质，进而进行固定PID与模糊PID振幅控制器的切换。本发明方法通过对流体状态的检测，通过自适应切换控制器既能保持其高精度的稳态控制性能，又能提高系统动态响应速度，避免测量管停振，并快速重建稳定振动，增强科氏流量计测量管振幅控制的自适应性，提高科氏流量计在复杂工况下的可靠性和计量性能。
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公开(公告)号：CN103291679B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201310220066.7
申请日：2013-06-04
申请人： 浙江大学
IPC分类号： F15B13/02
摘要： 本发明公开了一种低滞环溢流阀。阀体开有小圆柱孔、锥形孔以及增大的两级阶梯圆柱孔，弹簧导套安装在第二级阶梯圆柱孔中；阀芯的小圆柱体、圆锥体和第一级阶梯圆柱体分别与阀体内的小圆柱孔、锥形孔以及第一级阶梯圆柱孔相配合，阀芯的第二级圆柱伸入弹簧导套中，弹簧的两端分别压在阀芯台肩和阀盖内的导向杆台肩上，阀盖中心孔与调压螺杆螺纹连接，调压螺杆一端面顶在导向杆端面，调压螺杆用锁紧螺母连接，阀体小圆柱孔周向等分开有进油孔。本发明实现线密封，密封可靠；当油液流经节流口处时，油液发生流动分离，在阀芯与阀体的分离区锐边处产生附着型局部空化，并随进口压力增加而逐渐发展为超空化；本发明滞环较相同规格的溢流阀有明显降低。
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公开(公告)号：CN103336092B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201310237999.7
申请日：2013-06-14
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于涡街与压电薄膜的氢气传感器及其制备方法。通过旋转涂覆方法，实现微米级压电薄膜的制备；之后，通过磁控溅射手段在微纳纤维上修饰气敏层与对照电极层；最后对复合压电膜极化封装组装部件实现基于涡街与压电薄膜的氢传感单元制备。本发明采用旋转涂覆与磁控溅射方法，实现气敏压电薄膜的制备；通过机械加工涡街。整个制备过程耗时短，耗能少，效率高；在材料方面仅用到少量的金属、聚合物溶液与靶材，材料成本低；通过对溶剂参数和操作参数的调整，可以更为精确的控制压电薄膜的厚度；通过调节溅射参数，可以实现气敏层厚度的调节。该传感器兼具流量检测与浓度检测的功能，可以同时检测管道的流量与氢气浓度，具有良好的动态特性与较高的灵敏度。
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