一种耐压终端结构、钝化方法及功率半导体器件

    公开(公告)号:CN116504723A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310762805.9

    申请日:2023-06-27

    申请人: 清华大学

    摘要: 本申请提供了一种耐压终端结构、钝化方法及功率半导体器件,该耐压终端结构包括:薄二氧化硅层,设置在功率半导体器件的表面,并覆盖功率半导体器件的预设保护区;掺氧半绝缘多晶硅层,设置在薄二氧化硅层上,掺氧半绝缘多晶硅层的宽度小于或等于薄二氧化硅层的宽度;氮化硅层,完全覆盖掺氧半绝缘多晶硅层和薄二氧化硅层;聚酰亚胺层,完全覆盖氮化硅层。所述钝化方法用于形成所述耐压终端结构。本申请提供的耐压终端结构、钝化方法及功率半导体器件,能够减小漏流,阻挡外来水汽、碱金属离子等杂质入侵,防止化学腐蚀,实现机械缓冲保护,提高半导体器件的耐压能力。

    半导体器件局部金属电极去除装置及方法

    公开(公告)号:CN116504684A

    公开(公告)日:2023-07-28

    申请号:CN202310762808.2

    申请日:2023-06-27

    申请人: 清华大学

    摘要: 本申请提供一种半导体器件局部金属电极去除装置及方法,该装置包括:承片台,承载半导体器件移动至各缺陷标记位置;导电毛刷,固定在承片台上并与半导体器件的门极电极接触;第一探针,与半导体器件的缺陷电极接触;直流电源阳极与第一探针连接,阴极与导电毛刷连接,用于电解滴加电解液后的缺陷电极;电压检测模块正极与第一探针连接,阴极与导电毛刷连接,用于检测第一探针与导电毛刷间的电压,并根据电压控制直流电源的关闭。该方法基于该设备实现。本申请提供的半导体器件局部金属电极去除装置及方法,解决了现有技术无法自动检测和去除缺陷电极的问题,提高了缺陷电极去除精度,降低了操作难度,提高了半导体器件的良率。

    一种适用于可关断换流器的MOV
    44.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116488122A

    公开(公告)日:2023-07-25

    申请号:CN202310444364.8

    申请日:2023-04-24

    申请人: 清华大学

    IPC分类号: H02H9/04 H02J3/36

    摘要: 本发明提供了一种适用于可关断换流器的MOV,其中,所述MOV包括串联的金属氧化物压敏电阻MOV本体以及保护装置,其中,所述MOV本体,用于实现可关断换流器中的可关断器件的过电压保护和关断能量吸收;所述保护装置,用于实现对MOV本体的过能量保护。本发明通过对MOV本体和串联的保护装置进行合理的参数设计,可同时实现对可关断器件的过电压保护和对MOV本体的过能量保护。

    基于混合换流器的海上风电低频送出系统及其控制方法

    公开(公告)号:CN116454955A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310437464.8

    申请日:2023-04-21

    申请人: 清华大学

    IPC分类号: H02J3/34 H02J3/38

    摘要: 本发明公开了基于混合换流器的海上风电低频送出系统及其控制方法,该系统的海上风电场的交流侧通过海上升压站和所述低频交流电缆连接至陆上交流母线;陆上低频侧二极管整流器的交流侧通过低频侧整流变压器和第一交流开关连接至陆上交流母线;陆上低频侧直流电压可变型辅助MMC的交流侧通过低频侧辅助连接变压器和第二交流开关连接至陆上交流母线;陆上工频侧直流电压可变型换流器的交流侧通过第三交流开关与交流电网连接。本发明可以减少海上风电低频送出系统的电力电子器件数目,降低储能需求;可以为海上低频系统提供并网电压,实现黑启动,并补偿其无功功率和谐波电流,保证电能质量,还能实现陆上换流器内部功率分配,优化系统运行效率。

    复合式独立电位传感器的直流合成场强测量装置及其方法

    公开(公告)号:CN106249061B

    公开(公告)日:2023-07-04

    申请号:CN201610600675.9

    申请日:2016-07-27

    IPC分类号: G01R29/12

    摘要: 本发明涉及复合式独立电位传感器的直流合成场强测量装置及其方法,属于电力系统电磁环境监测领域。该测量装置由两个电位互相独立且绝缘隔离的传感器和,和由差分信号处理模块、无线信号传输模块及无线信号收发模块及无线供能模块组成的信号处理电路构成;其中,传感器与传感器用绝缘材料隔开,通过绝缘材料进行机械上的连接,以实现完全电位隔离,所述信号处理电路集成在PCB版上,分别与两个传感器电连接。该方法包括对传感装置的λ参数进行标定,在实际测量待没电场时,两个传感器测量得到电场,作为该一位置点的两个原始数据;根据差分原理得到该该点的待测值。本发明可便捷、有效、可靠地进行离子流场条件下的直流合成场强测量。

    压接型半导体器件
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116364661A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310645836.6

    申请日:2023-06-02

    申请人: 清华大学

    IPC分类号: H01L23/04 H01L23/367

    摘要: 本申请提供一种压接型半导体器件,可用于电力半导体器件技术领域。所述压接型半导体器件包括:芯片、设置在所述芯片的阳极侧的阳极金属管壳以及设置在所述芯片的阴极侧的阴极金属管壳;所述芯片的阳极侧和所述阳极金属管壳之间还设置有阳极金属垫片,所述阳极金属垫片和所述阳极金属管壳之间通过第一低热阻结合层连接;和/或所述芯片的阴极侧和所述阴极金属管壳之间还设置有阴极金属垫片,所述阴极金属垫片和所述阴极金属管壳之间通过第二低热阻结合层连接。本申请实施例提供的压接型半导体器件,能够将金属垫片与金属管壳之间的压力接触面替换为低热阻结合层,大幅降低了封装结构的接触热阻,从而降低器件整体的结壳热阻。

    串联型混合海上风电直流输电系统及启动方法、装置

    公开(公告)号:CN116316821A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310143082.4

    申请日:2023-02-14

    申请人: 清华大学

    摘要: 本公开涉及风力发电和直流输电技术领域,尤其涉及一种串联型混合海上风电直流输电系统及启动方法、装置。其中,该串联型混合海上风电直流输电系统,包括:海上风电场、海上二极管整流器、海上整流变压器、海上直流电压可变型辅助换流器、辅助连接变压器、岸上直流电压可变型换流器、岸上直流电压恒定型换流器、耗能电阻、限流电阻、直流侧二极管、第一直流刀闸、第二直流刀闸、第三直流刀闸、第一交流开关、第二交流开关、第三交流开关、第四交流开关、第五交流开关、第一直流电缆和第二直流电缆。采用本公开可以降低串联型混合海上风电直流输电系统的成本和体积。