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公开(公告)号:CN1914492B
公开(公告)日:2012-04-25
申请号:CN200480037229.7
申请日:2004-12-14
Applicant: 普廷数码影像控股公司
IPC: G01J5/02
CPC classification number: G01J3/427 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G01J3/501 , G01J3/51 , G01J2003/1213
Abstract: 将要被成像或被探测的物体(206)由发射不同波长的光的单个宽带光源或多个光源照明。光由探测器(200)来探测,所述探测器(200)包括被混合滤光片覆盖的光探测传感器(400)。混合滤光片包括安装在图案化的滤光片层(508)上方的多波段窄带滤光片(516)。光照射到窄带滤光片(516),该滤光片(516)通过所关注的多个波长或附近的光同时阻挡所有其他波长的光。图案化的滤光片层(508)交替地通过一个特定波长的光同时阻挡所关注的其他波长的光。这使得传感器(400)同时或交替地确定所关注波长的光强。滤光片(902)还可被安装在光源上方以此使光源的光谱变窄。
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公开(公告)号:CN101379390A
公开(公告)日:2009-03-04
申请号:CN200780004756.1
申请日:2007-02-07
Applicant: 贝克曼库尔特公司
CPC classification number: G01N21/645 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/021 , G01J3/0218 , G01J3/0232 , G01J3/0235 , G01J3/0256 , G01J3/0291 , G01J3/10 , G01J3/427 , G01J3/4406 , G01N21/6408 , G01N21/6428 , G01N21/6445 , G01N21/763 , G01N2021/1738 , G01N2021/6415 , G01N2021/6419 , G01N2021/6441 , G01N2021/6482 , G01N2201/024 , G01N2201/0618 , G01N2201/062 , G01N2201/0621 , G01N2201/0692 , G01N2201/0696
Abstract: 提供了一种用在对样品(16)进行分析的装置(12)中的模块盒(10,60,80,110,130,140,170,180,200,222,224,226,228,230,240,242,246,280,282,300)和模块盒系统(220)。该模块盒具有一个或多个光源(18)和/或光学系统(22,34,84,120,162)以及其它组件,它们专用于某一类型的应用,比如荧光、吸光度、或发光。光源、光学系统以及其它用于特定应用的组件被装入单个模块盒中。该系统具有多个适用于多模仪器的多种应用的模块盒。这些模块盒以“插件”形式可移除地与该装置啮合,使得可以从该装置中除去一个模块盒并且可以很容易地安装另一个模块盒。
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公开(公告)号:CN1914492A
公开(公告)日:2007-02-14
申请号:CN200480037229.7
申请日:2004-12-14
Applicant: 阿瓦戈科技传感器IP股份有限公司
IPC: G01J5/02
CPC classification number: G01J3/427 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G01J3/501 , G01J3/51 , G01J2003/1213
Abstract: 将要被成像或被探测的物体(206)由发射不同波长的光的单个宽带光源或多个光源照明。光由探测器(200)来探测,所述探测器(200)包括被混合滤光片覆盖的光探测传感器(400)。混合滤光片包括安装在图案化的滤光片层(508)上方的多波段窄带滤光片(516)。光照射到窄带滤光片(516),该滤光片(516)通过所关注的多个波长或附近的光同时阻挡所有其他波长的光。图案化的滤光片层(508)交替地通过一个特定波长的光同时阻挡所关注的其他波长的光。这使得传感器(400)同时或交替地确定所关注波长的光强。滤光片(902)还可被安装在光源上方以此使光源的光谱变窄。
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公开(公告)号:CN1871691A
公开(公告)日:2006-11-29
申请号:CN200480031229.6
申请日:2004-09-10
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor: 乔斯·I·阿尔诺
IPC: H01L21/302 , H01L21/50 , H01L21/00
CPC classification number: G01N21/3504 , G01J3/32 , G01J3/427 , G01N21/05 , G01N21/15 , G01N21/85 , G01N2021/151 , G01N2021/8411 , H01L21/67253
Abstract: 本发明涉及一种半导体工艺系统,其基于感兴趣的材料对特征波长的红外光的吸收,通过对所述材料进行分析,来利用基于红外的热电堆探测器进行工艺控制。具体地,红外光束通过线性传输路径进行透射,所述线性传输路径从红外光源经过包含感兴趣的材料的采样区域进入热电堆探测器。线性传输路径降低了红外光传输期间的信号损失的危险。红外光的传输路径可包括高度光滑且反射的内表面,用于使得传输期间的该信号损失最小化。
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公开(公告)号:CN204924916U
公开(公告)日:2015-12-30
申请号:CN201520320366.7
申请日:2015-05-18
Applicant: 西克股份公司
IPC: G01N21/25
CPC classification number: G01N21/314 , G01J3/021 , G01J3/08 , G01J3/427 , G01N21/031 , G01N21/274 , G01N21/3504 , G01N2021/317 , G01N2021/3177 , G01N2021/3181 , G01N2201/0625 , G01N2201/0636 , G01N2201/0691 , G01N2201/0696 , G01N2201/127
Abstract: 本实用新型涉及一种用于测量特定气体组分的测量装置,所述测量装置通过几个宏观机械运动部件来实现。因此提出一种测量装置,其装配有-宽带光源,其被设计用于调制地发出光;-测量体积,其中有待测气体;-第一光偏转单元,其具有至少一个MEMS反射镜,并将光交替地偏转到两个光路上;-并且其中一个第一路径被构造成测量路径并包括第一滤波器元件;-并且其中另一个第二路径被构造成参考路径并包括第二滤波器元件;-光学元件,其将测量路径和参考路径又重新引至同一光路;-光探测器;以及-评估和控制单元,其用于控制光源和光偏转单元以及用于评估检测到的光强度,并从而测量气体组分。
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