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公开(公告)号：CN102812538A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201180007647.1
申请日：2011-01-26
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
发明人： P.阿鲁纳萨拉姆
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： H01L21/302 , B81C1/00611 , B81C2201/0121 , B81C2203/036 , H01L21/02057
摘要： 促进诸如硅晶片的半导体组件的接合的非磨蚀方法，这些半导体组件在接合界面表面上具有微结构缺陷。在优选的方法中，微结构缺陷通过以下方式去除：在该接合界面表面上形成氧化物层至低于该缺陷的水平的深度，且然后，去除该氧化物层以暴露出用于接合的满意表面，由此增加生产线的产率且降低制造设施中的废品起因。
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公开(公告)号：CN102792419A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201180007649.0
申请日：2011-01-26
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
发明人： P.阿鲁纳萨拉姆
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： B81B3/001 , B81C1/00269 , B81C2203/0118 , B81C2203/036
摘要： 一种防止微机电系统装置内，更具体地说，防止在具有微米范围内或更小(亦即小于约10微米)的凹部内的可动构造在接合工艺期间内被不慎地接合至非运动构造的方法。该方法包括在构造方面和化学方面对硅进行表面制备，以帮助防止运动构造在接合期间(包括在高力量、高温度融合接合期间)内接合至相邻的表面。
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公开(公告)号：CN115900027A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202210978987.9
申请日：2022-08-16
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
摘要： 本公开提供了自主暖通空调系统实时性能监控、维护和碳足迹监控云平台。用于控制至少一个供暖、通风和空调(HVAC)系统的控制装置包括微型阀、至少一个智能控制器、与该智能控制器通信的本地智能网关、与该本地智能网关通信的云平台、以及配置成通过该云平台与智能控制器通信的本地设备。所述智能控制器配置成控制一个或更多个HVAC部件，测量空调系统参数(包括HVAC系统内的压缩机的压缩机排气和吸气压力以及压缩机温度、空气出口、蒸发器出口和冷凝器出口温度、以及过热和过冷)，并将测量的空调系统参数输入到云平台，以自主地监控空调系统健康状况和实时制冷剂充注水平。
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公开(公告)号：CN111486270A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010078707.X
申请日：2020-02-03
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
IPC分类号： F16K99/00
摘要： 微型阀包括第一板，该第一板具有限定致动器腔的表面。第二板具有一表面，该第二板的表面邻接第一板的表面，并且包括设置在致动器腔内的可移位构件，用于在关闭位置和打开位置之间移动，在关闭位置，可移位构件防止通过微型阀的流体连通，在打开位置，可移位构件不防止通过微型阀的流体连通。致动器连接到可移位构件。可移位构件包括密封部分，该密封部分具有从其一端向内延伸的多个细长控制臂，其中控制臂被配置为用于第一板中的多个流体流动开口中的每个的阀关闭构件。
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公开(公告)号：CN106996477B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201611060613.X
申请日：2016-11-25
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
摘要： 本发明公开了具有第一级机械阀和第二级微型阀的两级流体控制阀。该两级流体控制阀包括第一级机械控制阀和第二级微型阀，所述第一级机械控制阀可在开启位置和不渗漏的关闭位置之间移动，所述第二级微型阀配置为在所述第一级机械控制阀处于开启位置时控制流过所述两级流体控制阀的流体出口的流体流量。
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公开(公告)号：CN105485232B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201510566307.2
申请日：2015-09-08
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
发明人： C.B.宾格尔
摘要： 一种可调减震器包括限定封闭工作空间的壳体。壁形成在该工作空间中，并且将该工作空间分成第一和第二流体腔。压缩阀形成在该壁中，并且微型阀附接至该压缩阀且可操作成控制流体流动穿过压缩阀。
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公开(公告)号：CN108801543A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810281560.7
申请日：2018-04-02
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
摘要： 一种多层应力隔离平台，其配置为将MEMS裸芯附接至基部，其包括第一平台；第一层附接材料，其在所述基部与所述第一平台之间，并且将所述第一平台附接至所述基部；MEMS裸芯；以及第二层附接材料，其在所述第一平台与所述MEMS裸芯之间，并且将所述MEMS裸芯附接至所述第一平台。
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公开(公告)号：CN108371740A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201710838155.6
申请日：2017-09-11
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
CPC分类号： A61M15/009 , A61M15/002 , A61M16/202 , A61M39/22 , A61M2039/226 , A61M2205/0244 , A61M2205/3334 , A61M2205/8206 , F16K99/0005 , F16K99/0042 , A61M15/0065 , A61M15/0066 , A61M2205/3331
摘要： 一种改进的气溶胶分配设备，包括气溶胶容器、排放件、致动器、附接到所述气溶胶容器的流量控制罐阀组件、电池和电子控制流量控制阀，所述电子控制流量控制阀电连接到所述电池，且与所述流量控制罐阀组件流体连通。所述气溶胶容器与附接的流量控制罐阀组件进一步附接到所述致动器，并且所述致动器被安装为在所述排放件内可滑动地移动。所述流量控制罐阀组件可在打开位置和关闭位置之间移动，在所述打开位置中，气溶胶制剂的体积从所述气溶胶容器被引导通过所述流量控制罐阀组件到所述电子控制流量控制阀，在所述关闭位置中，所述气溶胶制剂不被允许流动通过所述流量控制罐阀组件到所述电子控制流量控制阀。
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公开(公告)号：CN108362052A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201711069040.1
申请日：2017-11-03
申请人： 盾安美斯泰克股份有限公司
IPC分类号： F25B49/02
摘要： 一种保持HVAC-R系统中的流体流率同时将HVAC-R系统中的过热保持在期望水平的方法包括：连续测量HVAC-R系统的工作流体温度；以预定速率连续计算HVAC-R系统过热；确定所计算的HVAC-R系统过热是否稳定；每当过热稳定时，测量和记录HVAC-R系统的工作流体压力；随后每次过热稳定时，记录平均工作流体压力；根据方程式计算输出PWM：输出PWM＝流率分量+过热分量；当实际HVAC-R系统PWM大于所计算的输出HVAC-R系统PWM时，通过调节到计量阀中的微型阀的PWM信号来减少通过HVAC-R系统中的计量阀的流体流量；反之，通过调节到计量阀中的微型阀的PWM信号来增大通过计量阀的流体流量。
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