具有改进的密封机构的三端口微型阀

    公开(公告)号:CN105443802B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201510458977.2

    申请日:2015-07-30

    IPC分类号: F16K11/065

    摘要: 一种具有改进的密封机构的三端口微型阀。微型阀包括第一板,该第一板具有内表面、设置在内表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的常开流体端口和常闭流体端口。第一密封结构绕常开流体端口延伸,第二密封结构绕常闭流体端口延伸。第二板限定非可动部分和可动部分。非可动部分的表面抵靠第一板的内表面,非可动部分具有贯穿其中形成的开口。可动部分形成在开口内,具有轴线,并且限定了由形成在开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件在开口内的第一位置与第二位置之间是滑动地并且轴向地可移动的。

    微机电系统控制阀以及控制敏感流体的方法

    公开(公告)号:CN105605306B

    公开(公告)日:2019-09-10

    申请号:CN201510726631.6

    申请日:2015-10-30

    IPC分类号: F16K99/00

    摘要: 一种阀组件配置以调节流经的绝缘流体的流动,其包括:配置以控制流经第一流体电路的第一流体流动的第一阀阶段以及配置以控制流经第二流体电路的第二流体流动的第二阀阶段。所述第一阀阶段连接至所述第二阀阶段使得所述第一流体作用于所述第二阀阶段以使所述第二阀阶段在打开位置和关闭位置之间移动。流经所述第二阀阶段的所述第二流体与流经所述第一阀阶段的所述第一流体绝缘。

    具有改进的密封机构的板式微型阀

    公开(公告)号:CN105422910B

    公开(公告)日:2019-09-10

    申请号:CN201510458517.X

    申请日:2015-07-30

    IPC分类号: F16K11/065

    摘要: 一种具有改进的密封机构的板式微型阀。其包括第一板,该第一板具有表面、设置在该表面内的凹入区域、设置在凹入区域内的流体端口,以及绕流体端口延伸的密封结构。第二板限定非可动部分和可动部分,非可动部分的表面抵靠第一板的表面,非可动部分具有贯穿其中形成的第一和第二开口。所述可动部分形成在第一开口内,并具有轴线,可动部分限定了由形成在第二开口中的旋绕弹簧连接到非可动部分的可移动构件。可移动构件在第一开口内的关闭位置与打开位置之间是滑动地和轴向地可移动的,在关闭位置中,可移动构件与密封结构协作以防止通过流体端口的流体连通,在打开位置中,可移动构件不与密封结构的至少一部分协作以防止通过流体端口的流体连通。

    用于防止焊料流入MEMS压力口的方法和结构

    公开(公告)号:CN108788357A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810319715.1

    申请日:2018-04-11

    IPC分类号: B23K1/00 B81C3/00

    摘要: 本发明公开了用于在MEMS芯片附接过程中防止焊料流入MEMS压力口的方法和结构。该方法包括:在流体入口构件的压力口的内表面上涂覆一层阻焊剂,所述流体入口构件具有第一轴向端、第二轴向端、以及形成在流体入口构件的第二轴向端中的压力口的开放口。将焊料预成型件布置在流体入口构件的安装面上,并将MEMS芯片布置在焊料预成型件上。在回流操作中对焊料预成型件进行加热,以将MEMS芯片附接至安装面,其中,压力口中的阻焊剂防止熔融焊料在回流操作过程中进入压力口。