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公开(公告)号:CN219143095U
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202320178298.X
申请日:2023-01-20
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01S17/06
Abstract: 本实用新型提供了一种微型镜头探测装置,该微型镜头探测装置包括激光发射装置、超表面结构、点云采集装置和上位机;激光发射装置包括垂直腔面发射激光器阵列,用于发射激光光束;超表面结构为由芯片结构组成的二维阵列平面,集成于激光发射装置表面,用于对激光光束进行准直整形,使激光光束探测目标对象;点云采集装置设于目标对象反射回来的激光光束路径位置,用于采集激光光束,并将激光光束转变为点云信号,根据点云信号计算目标对象的位置,定位目标对象。该微型镜头探测装置功能丰富,识别精准,便于用户操作处理。
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