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公开(公告)号:CN111071986A
公开(公告)日:2020-04-28
申请号:CN201911394242.2
申请日:2019-12-30
申请人: 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
摘要: 本发明涉及半导体加工技术领域,提供了一种激光改性辅助制备碳化硅多级微结构的方法及一种加速度传感器。本发明在碳化硅基底表面制备图案化掩膜,对具有图案化掩膜的碳化硅基底进行局部激光辐照,激光辐照区域内无掩膜遮蔽的碳化硅发生改性,改性后的碳化硅刻蚀速率远高于未经激光辐照的单晶碳化硅,利用二者的刻蚀速率差,实现碳化硅多级微结构的一次性同步刻蚀。本发明提供的方法工艺简单,可操作性强,利用该方法能够制备出具有碳化硅多级微结构的传感元件和带有光纤孔的碳化硅传感基板,二者通过键合能够实现耐高温光学式碳化硅加速度传感器的制备,解决常规加速度传感器无法在高温恶劣环境下工作的问题。
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公开(公告)号:CN110057463A
公开(公告)日:2019-07-26
申请号:CN201910183758.6
申请日:2019-03-11
IPC分类号: G01K11/00
摘要: 本发明是一种微型晶体温度传感器的封装及埋植方法,该方法是在需要安放传感器(1)的被测物表面(6)上,沿被测物表面(6)的方向或垂直被测物表面(6)的方向,加工一个外凹槽(2)和内凹槽(3),外凹槽(2)的口径大于内凹槽(3)的口径,将传感器(1)粘贴于衬底(4)上,再将衬底(4)放置在外凹槽(2)和内凹槽(3)交接处的台阶面(5)上,使传感器(1)处于内凹槽(3)中且不与内凹槽(3)的内壁接触,用粘结剂填充外凹槽(2)和内凹槽(3)并与被测物表面(6)平整。该方法实现了在高速飞行器表面的传感器的可靠粘结固定,避免了测温过程中传感器脱落问题,并有利于传感器的剥离,从而进一步提高了传感器的适用性和测温的成功率。
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公开(公告)号:CN109904064A
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201910057428.2
申请日:2019-01-21
申请人: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京航空航天大学
IPC分类号: H01L21/18
摘要: 本发明是一种提高碳化硅直接键合强度的方法,该方法包括如下步骤:对SiC晶片待键合面进行化学机械抛光;利用Piranha溶液、RCA1&RCA2标准溶液对碳化硅片进行清洗;利用氢氟酸溶液对SiC晶片待键合面表面进行预处理;在氢氟酸溶液中完成碳化硅片的预键合;将预键合的碳化硅片移至真空环境下进行高温高压键合,完成制备。本发明可以有效的实现碳化硅晶片的高强度直接键合,为碳化硅MEMS器件及相关器件封装性能的提升奠定基础。
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公开(公告)号:CN107576426A
公开(公告)日:2018-01-12
申请号:CN201710601550.2
申请日:2017-07-21
申请人: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 北京航空航天大学 , 中航高科智能测控有限公司
IPC分类号: G01L1/22
摘要: 本发明属于先进传感器技术研究中的传感器优化设计的技术领域,具体涉及一种具有自保护功能的硅-蓝宝石压力传感器敏感结构。本发明提出了一种具有自保护功能的硅-蓝宝石压力传感器结构,主要用于解决高压测量时由于压力超出量程范围而造成传感器敏感膜片损坏,进而导致传感器失效的问题。该传感器结构主要包括钛合金壳体、钛合金应变膜片、蓝宝石膜片、单晶硅应变电阻、钛合金保护膜片、金属引线和支架。蓝宝石膜片上设置有单晶硅应变电阻,通过金属引线连接成电桥,并引出到传感器壳体外。本发明采用双膜片结构,可以有效保护压力传感器敏感膜片,避免其在被测压力超出压力量程范围时损坏。
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公开(公告)号:CN104237331A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201410532764.5
申请日:2014-10-10
IPC分类号: G01N27/22
摘要: 本发明公开了一种油液微量水分在线监测传感器,主要包括高分子薄膜电容、温度传感器、信号处理电路板和机械封装结构组成。高分子薄膜电容和温度传感器,分别用于测量油液微量水分含量和温度;信号处理电路板用于检测和处理高分子薄膜电容和温度传感器的输出信号,把输出信号转变为油液水分含量和温度值;机械封装结构由保护套、机械外壳、镀金导线、接头件、固定螺钉、端盖等部分组成,用来支撑和保护内部结构,并防止油液浸入导致污染。本发明的主要目的是解决航空油液水分实时监测的难题,并且具有体积小、重量轻,操作简单等优点。
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公开(公告)号:CN208920860U
公开(公告)日:2019-05-31
申请号:CN201821510705.8
申请日:2018-09-14
申请人: 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 天津城建大学 , 中航高科智能测控有限公司
摘要: 本实用新型是一种箱式电炉快速升温装置,该种箱式电炉快速升温装置插装在该圆孔(7)上使用,该装置包括一个样品槽(2)位于样品槽支架(3)的顶端用于盛接样品,样品槽(2)内镶嵌有热电偶(9),样品槽支架(3)底端穿过热偶固定塞(4)连接在测温表(5)上,热电偶(9)通过样品槽支架(3)内部的线路连接到测温表(5)上,该种箱式电炉快速升温装置插装在该圆孔(7)上时,热偶固定塞(4)塞入圆孔(7)中起到封闭圆孔(7)和支撑并固定样品槽支架(3)的作用。使用本装置可以大大缩短加热时间,快速将样品升温至目标温度,以减小升温及降温过程对目标样品物性的影响。
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