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公开(公告)号：CN109904064A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910057428.2
申请日：2019-01-21
申请人： 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京航空航天大学
IPC分类号： H01L21/18
摘要： 本发明是一种提高碳化硅直接键合强度的方法，该方法包括如下步骤：对SiC晶片待键合面进行化学机械抛光；利用Piranha溶液、RCA1&RCA2标准溶液对碳化硅片进行清洗；利用氢氟酸溶液对SiC晶片待键合面表面进行预处理；在氢氟酸溶液中完成碳化硅片的预键合；将预键合的碳化硅片移至真空环境下进行高温高压键合，完成制备。本发明可以有效的实现碳化硅晶片的高强度直接键合，为碳化硅MEMS器件及相关器件封装性能的提升奠定基础。
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公开(公告)号：CN108760148B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201810801164.2
申请日：2018-07-20
申请人： 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司
IPC分类号： G01L23/06
摘要： 本发明公开了一种绝压式光纤法珀碳化硅耐高温航空压力传感器，该传感器中的传感头采用碳化硅传感膜片和碳化硅基板的全SiC结构，通过直接键合实现真空法珀腔结构；本发明传感器包括有碳化硅传感膜片、碳化硅基板、氧化锆基座、光纤、钼制封装座和钼制封装体；所述SiC传感膜片与SiC基板安装在氧化锆基座的下方，光纤的一端粘接在SiC基板上，氧化锆基座安装在钼制封装座的沉头腔中，钼制封装座的下方螺纹连接有钼制封装体；光纤的另一端穿过钼制封装座上的B中心通孔。本发明适用于航空发动机高温区动态压力和流场特性的原位实时测量，具有微型化、精度高、抗电磁干扰等优点。
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公开(公告)号：CN108760148A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810801164.2
申请日：2018-07-20
申请人： 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司
IPC分类号： G01L23/06
摘要： 本发明公开了一种绝压式光纤法珀碳化硅耐高温航空压力传感器，该传感器中的传感头采用碳化硅传感膜片和碳化硅基板的全SiC结构，通过直接键合实现真空法珀腔结构；本发明传感器包括有碳化硅传感膜片、碳化硅基板、氧化锆基座、光纤、钼制封装座和钼制封装体；所述SiC传感膜片与SiC基板安装在氧化锆基座的下方，光纤的一端粘接在SiC基板上，氧化锆基座安装在钼制封装座的沉头腔中，钼制封装座的下方螺纹连接有钼制封装体；光纤的另一端穿过钼制封装座上的B中心通孔。本发明适用于航空发动机高温区动态压力和流场特性的原位实时测量，具有微型化、精度高、抗电磁干扰等优点。
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公开(公告)号：CN111071986A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911394242.2
申请日：2019-12-30
申请人： 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
摘要： 本发明涉及半导体加工技术领域，提供了一种激光改性辅助制备碳化硅多级微结构的方法及一种加速度传感器。本发明在碳化硅基底表面制备图案化掩膜，对具有图案化掩膜的碳化硅基底进行局部激光辐照，激光辐照区域内无掩膜遮蔽的碳化硅发生改性，改性后的碳化硅刻蚀速率远高于未经激光辐照的单晶碳化硅，利用二者的刻蚀速率差，实现碳化硅多级微结构的一次性同步刻蚀。本发明提供的方法工艺简单，可操作性强，利用该方法能够制备出具有碳化硅多级微结构的传感元件和带有光纤孔的碳化硅传感基板，二者通过键合能够实现耐高温光学式碳化硅加速度传感器的制备，解决常规加速度传感器无法在高温恶劣环境下工作的问题。
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公开(公告)号：CN111071986B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201911394242.2
申请日：2019-12-30
申请人： 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
摘要： 本发明涉及半导体加工技术领域，提供了一种激光改性辅助制备碳化硅多级微结构的方法及一种加速度传感器。本发明在碳化硅基底表面制备图案化掩膜，对具有图案化掩膜的碳化硅基底进行局部激光辐照，激光辐照区域内无掩膜遮蔽的碳化硅发生改性，改性后的碳化硅刻蚀速率远高于未经激光辐照的单晶碳化硅，利用二者的刻蚀速率差，实现碳化硅多级微结构的一次性同步刻蚀。本发明提供的方法工艺简单，可操作性强，利用该方法能够制备出具有碳化硅多级微结构的传感元件和带有光纤孔的碳化硅传感基板，二者通过键合能够实现耐高温光学式碳化硅加速度传感器的制备，解决常规加速度传感器无法在高温恶劣环境下工作的问题。
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公开(公告)号：CN114838727B
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202210715722.X
申请日：2022-06-23
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： G01C21/18
摘要： 本发明公开了一种行人导航轨迹与惯性传感器数据仿真方法，步骤包括：S1、定义行人导航所用的坐标系和七种基本动作；S2、采用数学模型表征七种基本动作；S3、根据设定运动轨迹进行步态动作的分解和模型构建；S4、基于捷联惯导反演算法得到陀螺仪和加速度计的无噪仿真数据；S5、设置并添加陀螺仪的误差参数，得到陀螺仪的加噪仿真数据；S6、设置并添加加速度计的误差参数，得到加速度计的加噪仿真数据；该行人导航轨迹与惯性传感器数据仿真方法模拟足绑式行人导航系统中行人足部的动作，实现了自定义运动轨迹和相应惯性传感器数据的仿真，可行性强，精度高，为行人导航研究领域内的技术研究与算法评估提供了一种简便而有效的工具。
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公开(公告)号：CN116957960A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310812649.2
申请日：2023-07-04
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： G06T5/00 , G06T5/20 , G06T1/20 , G06V10/46 , G06V10/764 , G06V10/774 , G06V10/94 , G06N20/10 , G01C21/24 , G01C21/02
摘要： 本发明提供了一种短波红外星图的降噪方法及系统。包括：计算图像每列像素的矩匹配校正系数；利用矩匹配校正系数分别对每列像素进行条纹噪声的矩匹配校正；在矩匹配校正后星图的基础上，识别可能是星点和盲元的非背景像素，并计算每个非背景像素的二阶差分描绘子和高斯相关描绘子；训练支持向量机，依据非背景像素的描绘子对其进行分类；本发明对全天时星敏感器的正常工作具有重要意义。
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公开(公告)号：CN116222583A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310518829.X
申请日：2023-05-10
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种基于滑动窗口的协同导航快速计算方法，步骤为：S1、基于各智能体配备有惯性传感器、里程计和超宽带测距传感器，以及能够与智能体建立通信的超宽带基站，构建对各智能体的传感器观测模型；S2、基于各智能体的航位推算约束和UWB相对测距约束，设定因子图模型的图顶点以及边的连接形式，并构建各智能体的因子图模型；S3、基于各协同智能体的因子图模型及滑动窗口优化法，采用LM算法对目标函数进行求解，以得到各节点在k时刻下的导航结果；该方法解决了基于因子图模型的目标函数优化求解过程中计算量大，计算时间长，协同导航实时性差的问题，不仅实现了进一步提高导航精度，且大幅提升了导航解算效率，操作简便、实用性好。
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公开(公告)号：CN114838732A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210541854.5
申请日：2022-05-18
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明公开了一种基于图优化的通信受限环境下协同导航方法，步骤为：S1、建立由智能体航位推算约束和UWB相对测距约束构成的传感器观测模型；S2、设定因子图模型的图顶点以及边的连接形式，并构建因子图模型；S3、基于各协同节点的因子图模型，采用LM算法对目标函数进行求解，以得到各节点在k时刻下状态变量的优化结果；该协同导航方法通过构建因子图模型，利用所建立的包含惯性航位推算因子图约束图优化模型实现陀螺零偏的实时所建立的模型可精确估计出陀螺零偏，利用节点间相对测距信息进行分布式协同导航与定位，有效抑制了复杂拒止环境下节点的导航误差发散，实现在锚点观测不连续不同步情况下，相比于连续同步观测的导航定位精度无明显变化。
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公开(公告)号：CN113483751A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110723788.9
申请日：2021-06-29
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： G01C21/02
摘要： 一种基于径向三角形映射矩阵的星图识别方法，包括：提取导航星的径向三角形模式，建立导航星模式库；根据星图中提取到的观测星几何分布，构建在模式半径内以主星为顶点与任意两颗邻星构成的径向三角形，将径向三角形的角距映射到模式矩阵，通过对模式矩阵每个栅格的匹配完成投票，经投票，选高票候选星为主星标号，对于个别低和平票候选星利用双失量定姿确定旋转矩阵和姿态角，通过重投影的方法验证径向三角形并输出观测星验证识别结果得出星标号。同样方式对靠近星图主点的其他Nmax颗待识别星进行识别。本发明继承了三角形算法的鲁棒性，同时构建了具有旋转不变性的模式矩阵，在每次径向三角形模式匹配投票时对模式库整体进行查找，具有完备性。
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