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公开(公告)号：CN108760148B
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201810801164.2
申请日：2018-07-20
申请人： 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司
IPC分类号： G01L23/06
摘要： 本发明公开了一种绝压式光纤法珀碳化硅耐高温航空压力传感器，该传感器中的传感头采用碳化硅传感膜片和碳化硅基板的全SiC结构，通过直接键合实现真空法珀腔结构；本发明传感器包括有碳化硅传感膜片、碳化硅基板、氧化锆基座、光纤、钼制封装座和钼制封装体；所述SiC传感膜片与SiC基板安装在氧化锆基座的下方，光纤的一端粘接在SiC基板上，氧化锆基座安装在钼制封装座的沉头腔中，钼制封装座的下方螺纹连接有钼制封装体；光纤的另一端穿过钼制封装座上的B中心通孔。本发明适用于航空发动机高温区动态压力和流场特性的原位实时测量，具有微型化、精度高、抗电磁干扰等优点。
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公开(公告)号：CN108760148A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810801164.2
申请日：2018-07-20
申请人： 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司
IPC分类号： G01L23/06
摘要： 本发明公开了一种绝压式光纤法珀碳化硅耐高温航空压力传感器，该传感器中的传感头采用碳化硅传感膜片和碳化硅基板的全SiC结构，通过直接键合实现真空法珀腔结构；本发明传感器包括有碳化硅传感膜片、碳化硅基板、氧化锆基座、光纤、钼制封装座和钼制封装体；所述SiC传感膜片与SiC基板安装在氧化锆基座的下方，光纤的一端粘接在SiC基板上，氧化锆基座安装在钼制封装座的沉头腔中，钼制封装座的下方螺纹连接有钼制封装体；光纤的另一端穿过钼制封装座上的B中心通孔。本发明适用于航空发动机高温区动态压力和流场特性的原位实时测量，具有微型化、精度高、抗电磁干扰等优点。
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公开(公告)号：CN111071986A
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201911394242.2
申请日：2019-12-30
申请人： 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
摘要： 本发明涉及半导体加工技术领域，提供了一种激光改性辅助制备碳化硅多级微结构的方法及一种加速度传感器。本发明在碳化硅基底表面制备图案化掩膜，对具有图案化掩膜的碳化硅基底进行局部激光辐照，激光辐照区域内无掩膜遮蔽的碳化硅发生改性，改性后的碳化硅刻蚀速率远高于未经激光辐照的单晶碳化硅，利用二者的刻蚀速率差，实现碳化硅多级微结构的一次性同步刻蚀。本发明提供的方法工艺简单，可操作性强，利用该方法能够制备出具有碳化硅多级微结构的传感元件和带有光纤孔的碳化硅传感基板，二者通过键合能够实现耐高温光学式碳化硅加速度传感器的制备，解决常规加速度传感器无法在高温恶劣环境下工作的问题。
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公开(公告)号：CN109904064A
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201910057428.2
申请日：2019-01-21
申请人： 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所 , 中航高科智能测控有限公司 , 北京航空航天大学
IPC分类号： H01L21/18
摘要： 本发明是一种提高碳化硅直接键合强度的方法，该方法包括如下步骤：对SiC晶片待键合面进行化学机械抛光；利用Piranha溶液、RCA1&RCA2标准溶液对碳化硅片进行清洗；利用氢氟酸溶液对SiC晶片待键合面表面进行预处理；在氢氟酸溶液中完成碳化硅片的预键合；将预键合的碳化硅片移至真空环境下进行高温高压键合，完成制备。本发明可以有效的实现碳化硅晶片的高强度直接键合，为碳化硅MEMS器件及相关器件封装性能的提升奠定基础。
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公开(公告)号：CN111071986B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN201911394242.2
申请日：2019-12-30
申请人： 北京航空航天大学 , 中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所
摘要： 本发明涉及半导体加工技术领域，提供了一种激光改性辅助制备碳化硅多级微结构的方法及一种加速度传感器。本发明在碳化硅基底表面制备图案化掩膜，对具有图案化掩膜的碳化硅基底进行局部激光辐照，激光辐照区域内无掩膜遮蔽的碳化硅发生改性，改性后的碳化硅刻蚀速率远高于未经激光辐照的单晶碳化硅，利用二者的刻蚀速率差，实现碳化硅多级微结构的一次性同步刻蚀。本发明提供的方法工艺简单，可操作性强，利用该方法能够制备出具有碳化硅多级微结构的传感元件和带有光纤孔的碳化硅传感基板，二者通过键合能够实现耐高温光学式碳化硅加速度传感器的制备，解决常规加速度传感器无法在高温恶劣环境下工作的问题。
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公开(公告)号：CN117085710A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311054443.4
申请日：2023-08-21
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： B01J27/128 , B01J31/28 , B01J31/22 , B01J35/00 , C02F1/30 , C02F101/30
摘要： 本发明提供了一种基于小球藻的卤氧化铋磁性微机器人及其制备方法和应用，属于生物加工成形及微纳米机器人制造技术领域。本发明包括以下步骤：小球藻清洗固定、超顺磁Fe3O4纳米颗粒制备、小球藻表面磁化、磁性小球藻装载BiOX纳米片。采用本发明提供的方法能够实现BiOCl磁性微机器人、BiOBr磁性微机器人、BiOI磁性微机器人的可控化、批量化制备，在可见光照射下对溶液中的亚甲基蓝进行高效光催化降解。本发明提供的制备方法简单便捷，条件温和，可以实现不同类型卤氧化铋磁性微机器人的批量制造及高效驱动，所制备的卤氧化铋磁性微机器人具有优良的磁学性能和光催化性能，适用于污水处理和环境修复等相关领域。
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公开(公告)号：CN117084994A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311147449.6
申请日：2023-09-06
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明提供了一种基于硅藻的鼻腔给药缓释载体及其制备方法和应用，属于生物加工成形及微纳米药物载体制造技术领域，制备方法包括：硅藻土微粒清洗与提纯、提纯硅藻土微粒装载抗鼻炎药物、载药硅藻土微粒表面包覆聚多巴胺、聚多巴胺包覆载药硅藻土微粒表面接枝羧甲基壳聚糖。采用本发明提供的方法能够实现硅藻基鼻腔给药缓释载体的可控化、批量化制备，并能在模拟鼻腔的病理条件下以刺激响应方式进行药物的可控释放。本发明提供的制备方法简单便捷，条件温和，可以实现硅藻基鼻腔给药缓释载体的批量制备，所制备的鼻腔给药缓释载体具有优良的生物粘附性和药物缓控释性能，适用于智能药物递送等相关领域。
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公开(公告)号：CN117048734A
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN202311233326.4
申请日：2023-09-21
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： B62D57/024
摘要： 本发明公开一种仿生爬壁滑动吸盘，涉及仿生爬壁技术领域，包括仿生吸盘模块，所述仿生吸盘模块包括负压腔体，所述负压腔体开口侧设有吸盘柔性唇边，所述吸盘柔性唇边能够吸附于壁面上，并能够改变与壁面的接触压力和摩擦力；所述负压腔体内部安装有驱动模块，用于驱动所述仿生吸盘模块在壁面上移动；所述仿生吸盘模块远离吸盘柔性唇边的一端安装有负载；吸盘柔性唇边呈柔性，可以通过被动变形来适应型面，负压腔体呈刚性，为本发明承载主体。本发明提供的仿生爬壁滑动吸盘，适用于复杂型面吸附爬行喷涂作业，具有型面适应性好、无导轨限制、结构简单、制作成本低、适用范围广等优点。
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公开(公告)号：CN116900817A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202311132359.X
申请日：2023-09-04
申请人： 北京航空航天大学
IPC分类号： B23Q17/09
摘要： 本发明公开一种监测刀具磨损的超声加工质量控制方法、系统及电子设备，涉及机械加工、系统控制领域。本发明提供的监测刀具磨损的超声加工质量控制方法，根据换能器的实时电阻控制无功功率恒定，实现功率跟踪；根据换能器的实时阻抗关系，通过特征根计算与曲线拟合得到换能器的实时谐振频率，实现频率跟踪；通过控制反馈电流恒定使得换能器振幅稳定，保证超声加工效果稳定性，并得到系统的实时稳流稳幅电压；在稳流稳幅保证超声加工效果稳定性的基础上，通过实时监测换能器的稳流稳幅电压来实现刀具磨损状态监测，在不使用力传感器的前提下，实现超声加工质量的精准控制。
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公开(公告)号：CN114871514A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210426989.7
申请日：2022-04-21
申请人： 北京航空航天大学
摘要： 本发明涉及一种螺纹结构精强一体化波动式超声铣削方法，包括：按照预设的制造强化螺纹的策略对机床进行配置，机床按照策略控制螺纹铣刀一体化切挤加工螺纹；在螺纹加工过程中，借助于超声椭圆振动实现螺纹铣刀的切挤操作，且使螺纹铣刀的侧刃后刀面产生负后角熨压区域，用以熨压强化螺纹表面。制造强化螺纹的策略包括：用于使螺纹铣刀主切削刃断续切削、降低切削力及提高加工精度的相位差用于在螺纹加工过程中使螺纹铣刀的侧刃后刀面产生负后角熨压区域的超声椭圆振动的长边振幅A、短边振幅B和频率f。该螺纹加工方法，可同时完成螺纹的切削与挤压强化，提高螺纹制造精度的同时在螺纹表面附加残余压应力，提高螺纹表面显微硬度和疲劳强度。
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