公开(公告)号：CN104677836A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201310611454.8

申请日：2013-11-26

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司 ,  中国科学院微电子研究所

发明人： 刘涛 ,  崔高增 ,  李国光 ,  熊伟 ,  温朗枫

IPC分类号： G01N21/21

摘要： 本发明公开了一种自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统，属于光学测量仪器技术领域。其包括光源、起偏器、第一相位补偿器、检偏器、第二相位补偿器、光谱仪、样品台和各向同性且均匀的参考样品，各向同性且均匀的参考样品能够置于样品台上，其特征在于，还包括光谱仪数据采集频率设定模块、光强数据采集模块、实验傅里叶系数运算模块、理论傅里叶系数运算模块、第一相位补偿器相位延迟量运算模块、第二相位补偿器相位延迟量运算模块和全穆勒矩阵椭圆偏振仪全部工作参数运算模块。应用该自校准的全穆勒矩阵椭圆偏振仪测量系统对待测样品进行测量时，校准过程简单，测量方便，并且测量结果更加准确。

公开(公告)号：CN103575703A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201210281822.2

申请日：2012-08-09

申请人： 中国科学院微电子研究所 ,  北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 刘涛 ,  王林梓 ,  李国光 ,  夏洋 ,  艾迪格·基尼欧 ,  马铁中

IPC分类号： G01N21/47 ,  G01B11/06

摘要： 本发明公开一种利用反射光谱测量单晶硅基太阳能电池表面增透膜的方法，包括通过建模模拟计算分别得出包含增透膜的单晶硅基太阳能电池的总反射效率A与不包含增透膜的单晶硅基太阳能电池的总反射效率B；基于所述总反射效率A和所述总反射效率B求出单晶硅基太阳能电池的相对反射比率Rcal；测量包含增透膜的单晶硅基太阳能电池相对于不包含增透膜的单晶硅基太阳能电池的反射比率R；将所述Rcal与所述R比较，模型中设定增透膜厚度及增透膜材料的光学常数或光学常数物理模型的系数为变量，通过数值回归的曲线拟合过程，计算得出膜厚与材料光学常数。本发明提高了反射率测量方法测量硅基太阳能样品薄膜特征的准确度，拓展了光谱反射仪的应用领域，使测量硬件结构更加简单，成本更低。

公开(公告)号：CN103185638A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201110444985.3

申请日：2011-12-27

申请人： 中国科学院微电子研究所 ,  北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 李国光 ,  刘涛 ,  赵江艳 ,  吴文镜 ,  王林梓 ,  马铁中 ,  夏洋

IPC分类号： G01J3/447 ,  G01J3/02 ,  G01N21/25 ,  G01B11/06 ,  G01B11/24

摘要： 本发明公开一种宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、第一聚光单元、偏振器、第二聚光单元、第一平面反射镜、第二平面反射镜、探测单元。本发明还公开了包含该宽带偏振光谱仪的光学测量系统。本发明提供的垂直入射宽带偏振光谱仪不仅可以通过简单的操作进行聚焦，而且可以精确地控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。

公开(公告)号：CN102589692A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201110005913.9

申请日：2011-01-12

申请人： 北京智朗芯光科技有限公司

发明人： 严晓浪 ,  刘涛 ,  马铁中 ,  李国光 ,  艾迪格·基尼欧

IPC分类号： G01J3/12 ,  G01J3/02 ,  G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01N21/25 ,  G02B27/10

摘要： 本发明提出了一种光纤束分光的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统。该垂直入射宽带光谱仪包括：光源、光纤束、光探测器、偏振单元，光纤束包括入射光纤子束、出射光纤子束；入射光纤子束具有第一端口组和第二端口组，出射光纤子束具有第三端口组和第四端口组，入射光纤子束的第二端口组和出射光纤子束的第三端口组在同一横截面上。该光谱仪通过采用光纤束分光和增加偏振元件，提高了光谱仪光通量效率，增强了其对偏振光的控制能力。