-
公开(公告)号：CN107297685B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN201710729924.9
申请日：2017-08-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B24B53/12
摘要： 本发明提供一种可在较低加载压力条件下修正沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置。沥青抛光盘形状误差的小工具修正装置，在固定背板和工作板之间设置有陶瓷加热板，在所述固定背板的上表面设置有球槽。本发明通过增加小工具的加热功能，从而提高小工具对沥青抛光盘形状误差的体积修正速度，体积修正速度可达0.1‑100mm3/min，并可在较低加载压力条件下进行，加载压力为2‑100KPa，从而改善小工具修正加工时的旋转平稳性。
-
公开(公告)号：CN109187246B
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN201811253224.8
申请日：2018-10-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明涉及一种固结磨具硬度检测装置，包括：基座，基座上具有贯穿的操作空间；基座底部远离操作空间的位置安装有可升降高度支腿；水平推动机构，水平推动机构安装于基座顶部，且不覆盖操作空间；下压推动机构，下压推动机构竖直布置，可滑动于水平推动机构上，且其底部延伸至操作空间内；压头，压头安装于下压推动机构底部，且位于操作空间内可沿竖直方向和水平方向上移动；及控制器，控制器电性连接水平推动机构和下压推动机构。本发明还提供了一种检测方法，控制方便、噪音小，适合在光学加工现场高洁净环境下应用；控制器通过内部程序控制推动器工作，控制精确，测量精度高。
-
公开(公告)号：CN114355616B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202210043834.5
申请日：2022-01-14
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G02B27/09
摘要： 本发明公开了用于深槽微加工的保形锐边平顶飞秒激光整形方法与装置；其中方法包括：采用扩束器对激光器发出的高斯光束进行扩充，获得扩充后的高斯光束；通过光束匀滑器将扩充后的高斯光束调整为超高斯平顶光束；采用硬边光阑对超高斯平顶光束进行切趾处理，获得矩形平顶光束；通过4f光学系统对矩形平顶光束进行等比例缩束成像，获得目标光斑；通过该方法能够有效解决飞秒激光加工中光束焦深短，光斑顶部光强不均匀，光斑边界过渡区较大的问题。
-
公开(公告)号：CN111349885B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202010221589.3
申请日：2020-03-25
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本申请提供一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置，应用于对反向行星式旋转镀膜工艺中遮蔽板的形状进行确定，所述方法包括：获取待镀膜元件上多个待镀膜点的初始膜厚，以及获取待镀膜元件的尺寸和镀膜设备的尺寸；根据所述待镀膜元件的尺寸和所述镀膜设备的尺寸确定出遮蔽板的多个待设定区域，以及每一待设定区域对应的多个待镀膜点；根据每一待设定区域对应的多个待镀膜点的初始膜厚，计算得到待镀膜点对应遮蔽板的展开角；根据所有的待镀膜点对应的展开角，确定目标遮蔽板。针对多个区域对应的待镀膜点分别确定出符合该区域镀膜点遮蔽要求的遮蔽板的展开角，从而得到针对该非圆形待镀膜元件设计的目标遮蔽板，保证膜厚控制的效果良好。
-
公开(公告)号：CN113231964B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202110563181.9
申请日：2021-05-21
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明适用于及光学元件加工领域技术领域，提供了一种双真空泵体抛光液回收装置，包括真空腔体、第一真空泵体、第二真空泵体及抛光液存储装置；所述真空腔体包括输入接口、第一真空接口、第二真空接口；抛光液通过所述输入接口进入所述真空腔体，所述第一真空泵体通过所述第一真空接口与所述真空腔体连通，所述第二真空泵体通过所述第二真空接口与所述真空腔体连通，所述抛光液存储装置与所述第一真空泵体相连通。该装置可以实现抛光液无残留的高效回收，提高抛光液的稳定工作状态。
-
公开(公告)号：CN113076633B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202110311761.9
申请日：2021-03-23
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明适用于光学元件的匀滑技术领域，本发明在常见模型的基础上进行补充和修正，提出了一种适用于大口径光学元件复杂周期波纹误差匀滑的多参数匀滑方法，包括以下步骤：步骤H1：对光学元件进行子区域划分；步骤H2：计算各子区域初始波纹误差值RMS0；步骤H3：对光学元件进行预处理试验；步骤H4：得出ΔRMS与RMS曲线的拟合斜率k'；步骤H5：获得各子区域面形波纹收敛因子矩阵；步骤H6：获得各子区域中频误差预测曲线；步骤H7：获得各子区域的加工次数；其中，RMS表示元件表面波纹误差值，RMS0表示元件表面初始波纹误差值，ΔRMS表示经过单次匀滑加工后元件表面波纹误差的变化量。可以达到较为精确的理论预测效果，为后续工艺指导提供定量化支持。
-
公开(公告)号：CN112845372B
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202011644590.3
申请日：2020-12-31
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本申请提供一种光学元件疵病的抑制设备及方法，该光学元件疵病的抑制设备包括：吹扫装置、吸附装置、第一吸盘和洁净容器，吸附装置、吹扫装置与第一吸盘均安装在洁净容器中；吹扫装置的出风口对向光学元件的待吹扫面；第一吸盘设置于洁净容器的底座上，第一吸盘与吸附机构相对设置；吸附装置用于吸附光学元件的吸附面，并通过升降机构驱动吸附机构将光学元件调整至吹扫高度；吹扫装置用于吹扫光学元件的待吹扫面；吸附装置用于将吹扫后的光学元件放置于第一吸盘上进行吸附，通过第一吸盘完成对光学元件的真空吸附装夹。因此能够解决光学元件在真空吸附装夹过程中，存在容易产生表面疵病的技术问题。
-
公开(公告)号：CN114355616A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202210043834.5
申请日：2022-01-14
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： G02B27/09
摘要： 本发明公开了用于深槽微加工的保形锐边平顶飞秒激光整形方法与装置；其中方法包括：采用扩束器对激光器发出的高斯光束进行扩充，获得扩充后的高斯光束；通过光束匀滑器将扩充后的高斯光束调整为超高斯平顶光束；采用硬边光阑对超高斯平顶光束进行切趾处理，获得矩形平顶光束；通过4f光学系统对矩形平顶光束进行等比例缩束成像，获得目标光斑；通过该方法能够有效解决飞秒激光加工中光束焦深短，光斑顶部光强不均匀，光斑边界过渡区较大的问题。
-
公开(公告)号：CN113211351B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202110530025.2
申请日：2021-05-14
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明公开了一种针对深矢高非球面元件自适应柔性低应力装夹装置及装夹方法，所述装夹装置包括真空吸附基体、若干柔性支撑单元、双通道旋转接头、气管、顶圈、密封圈、自定心卡盘和高精度数控回转台；其中真空吸附基体通过自定心卡盘固定于高精度数控回转台上，其外侧壁均匀分布若干柔性支撑单元；真空吸附基体沿轴线方向设有通孔，通孔与柔性支撑单元之间的间隙形成真空吸附通道；通孔一端通过螺纹与双通道旋转接头的通道I连接；通孔的内壁上均匀布设有沿径向且与双通道旋转接头的通道II连接的放射性通孔。本发明通过“吸+撑”方式实现装夹，以解决现有深矢高非球面元件与装夹装置无法完全贴合、装夹精度低及存在装夹应力的问题。
-
公开(公告)号：CN113175893B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202110407282.7
申请日：2021-04-15
申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要： 本发明提供了一种基于多误差实时补偿的大口径光学自由曲面全口径检测装置及方法，用于检测自由曲面光学元件，包括X轴运动执行系统、Y轴运动执行系统和Z轴运动执行系统；Y轴位置测量系统用于测量X轴运动执行系统在Y轴上的位置；X轴位置测量系统用于测量Z轴运动执行系统在X轴上的位置；双轴倾角传感器用于检测所述非接触位移测头在沿X轴、Y轴运动时，非接触位移测头分别在XZ和YZ平面内的空间姿态变化量，Z轴位置测量系统用于测量非接触位移测头在Z轴上的位置；非接触位移测头沿自由曲面光学元件表面扫描运动。本发明避免测量过程中对元件表面的破坏，并实时补偿测量运动误差，提高大口径自由曲面光学元件面形误差测量精度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
380 条记录 (耗时 0.126 秒)