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公开(公告)号:CN209363853U
公开(公告)日:2019-09-10
申请号:CN201920033033.4
申请日:2019-01-09
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/04 , B23K26/046 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种水射流辅助激光加工系统,其光束传输聚焦单元包括激光发射器和光束传输变换机构,激光发射器的前方设置45°倾斜的反光镜,设于反光镜下方的光束传输变换机构包括保护套管,保护套管的上部管孔内设有光束传输变换元件、下部管孔内设有自聚焦透镜和球透镜;其工作台单元设于保护套管下方,包括三维调节的工作台,固定台板设于工作台上的水槽内,工件装夹于固定台板上并与球透镜相对;其供液单元的泵管连通喷管,喷管的喷嘴向工件斜伸,可调节喷嘴斜伸角度的喷管设于三维及角度调节的喷管调节架上,水槽通过回流管连通供液单元。本实用新型减少了激光束在自由空间传输的光程,降低了水射流冲击溅射对光路传输的干扰。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208662839U
公开(公告)日:2019-03-29
申请号:CN201820605257.3
申请日:2018-04-26
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/146 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型为一种水导激光加工系统,工件固定于工作台上的水槽底面,配有1套偏转水束装置,喷嘴产生的水束与激光束的中心线处于同一平面,水束下方设置电极,在电极非匀强电场使水束偏转竖直向下,激光聚焦于竖直向下流动的水束内,水束引导激光束作用于工作台上的工件。还可配2~5套偏转水束装置,各水束汇聚为竖直向下的总水束引导激光束。本实用新型激光的高温软化的工件表面材料同时水束冷却加工区域减小热损伤。无需与激光束中心线一致的喷嘴,喷嘴不会烧蚀,显著降低装置的成本,有利于水导激光的推广应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208196138U
公开(公告)日:2018-12-07
申请号:CN201820516803.6
申请日:2018-04-12
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23P23/00
Abstract: 本实用新型为一种激光水射流复合加工系统,射流喷嘴出射水射流,水射流落点在工件表面的加工路径上。激光器产生的激光束在处于保护壳体内的导引光纤中传播,导引光纤末端连接金刚石导引头。金刚石导引头的导光端与工件表面的距离小于100微米,激光在金刚石导引头内经多次全反射汇聚为直线光束输出,直接作用于水中工件表面的加工路径上。本实用新型激光束的光路处于保护壳体内,保证光束传播过程中不受射流溅射水雾的干扰,激光束和高压射流协同作用,准确高效地去除预定加工路径上的材料,激光光路稳定,激光光斑半径缩小,划切线宽缩小,提高加工精度和质量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208147136U
公开(公告)日:2018-11-27
申请号:CN201820709775.X
申请日:2018-05-14
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/08
Abstract: 本实用新型公开了一种玻璃微流道的激光复合加工装置,包括工作台,所述工作台的顶部中间位置处安装有齿轮支撑杆,所述齿轮支撑杆共设置有两个,且两个齿轮支撑杆的中间套设有齿轮轴,所述齿轮轴的一侧外壁通过螺栓固定连接有第二电机,且齿轮轴的外壁上套设有小齿轮,所述小齿轮的外壁啮合连接有大齿轮,所述大齿轮的内壁套设有旋转环,所述旋转环的外壁上套设有大滑轮,本实用新型设置了两种方向螺纹的丝杠结构,可使两个方向的玻璃微流道同时朝向中间移动,解决了单一方向送料的问题,避免无法准确定位进行复合加工,同时设置了可360°旋转加工的旋转环,解决了无法适配于各种不同形状尺寸大小的玻璃微流道的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN207852616U
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201820287586.8
申请日:2018-03-01
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: H01L21/268 , H01L21/687
Abstract: 本实用新型公开了一种半导体晶圆正反定位的激光划片装置,包括支撑座,所述支撑座顶部的左端固定连接有第七支撑板,且第七支撑板的顶端固定连接有第六支撑板,第六支撑板的底部固定连接有激光器,所述支撑座顶部的右端固定连接有滑座,且滑座的外表面滑动连接有滑动器,所述滑动器的顶端固定连接有第一支撑板,且第一支撑板左侧的上端固定连接有第一电动伸缩杆。本实用新型在第二支撑板的左侧固定安装了电机,并通过第三支撑板、第二电动伸缩杆、第四支撑板和夹座的作用,可满足人们对所夹持的晶圆进行九十度翻转的需求,解决了现有的激光划片装置只能对晶圆的一个表面进行划片处理,降低了划片效率的问题。
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公开(公告)号:CN206084134U
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201620370384.0
申请日:2016-04-27
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/14
Abstract: 本实用新型为一种水导激光加工系统的喷嘴防溅装置,工作缸顶部为激光聚光透镜,底部装喷嘴,其中部密封隔离石英窗下方多支入水管注水,经喷嘴孔形成引导激光束的水束。工作缸下方固连中空的中间壳体,定子固定于中间壳体下部,转子可转动地安装于定子外侧,挡盘固定于转子下方,挡盘大于中间壳体底部开口,挡盘中心孔径大于工作缸底部通孔径。定子、转子、挡盘中心孔、中间壳体与喷嘴孔的中心线重合。使用时,转子带动挡盘高速旋转,挡盘阻挡加工时溅射的水,挡盘上的水珠被甩下,不会积聚影响出射水束,防止拉偏水束烧蚀喷嘴,利于提高加工精度,改进加工质量,也延长了水导激光装置的工作寿命。本装置方便在现有水导激光设备上加装。
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公开(公告)号:CN212634671U
公开(公告)日:2021-03-02
申请号:CN202020758490.2
申请日:2020-05-09
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/14 , B23K26/142 , B23K26/38 , B23K26/402 , B23K26/70
Abstract: 本实用新型公开了一种射流辅助调制激光低损伤加工碳纤维复合材料系统,其激光聚焦射流辅助切割单元包括聚焦装置和射流辅助装置,聚焦装置包括于镜筒内设置的的聚焦透镜和保护镜,镜筒上筒口的上方设有45°角斜置的反射镜;其射流辅助装置包括喷嘴和流体供给机构,流体供给机构通过管路连通镜筒,喷嘴通过锥形接头安装于镜筒的下筒口;其激光器设于反射镜的一侧,激光器发出的激光束经反射镜反射后进入镜筒,激光束经聚焦透镜和保护镜后聚焦于从喷嘴喷出射流中;其工件运行单元包括设于喷嘴下方的工作台,工作台上设有装夹碳纤维复合材料于锯齿架上的夹具,工作台将碳纤维复合材料运行至激光束的切割范围内。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN212443728U
公开(公告)日:2021-02-02
申请号:CN202020679653.8
申请日:2020-04-28
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/046 , B23K26/00 , G02B6/032
Abstract: 本实用新型公开了一种高功率激光束高效耦合水导激光结构,其传能模块的上端接入高功率传能光纤、下端设有对激光束进行传输的自聚焦透镜;其传能固定模块包括与传能模块同轴安装的定中块,定中块同轴安装于连接体内,连接体底部设有同轴安装于定中块上的挡流块,挡流块与连接体之间设有密封圈;其喷嘴模块包括设于传能固定模块下方的喷嘴座,喷嘴座上设有与传能模块下端同轴的喷嘴;其耦合液腔模块包括设于挡流块与喷嘴座之间的低压稳流液层,低压稳流液层从喷嘴喷出形成水射流;其传能模块下端于定中块底部悬伸于低压稳流液层中或传能模块下端伸入并固定于喷嘴的喷孔内而将激光束耦合到水射流中形成水束光纤。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN212229325U
公开(公告)日:2020-12-25
申请号:CN202020937792.6
申请日:2020-05-28
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型公开一种耦合水束光纤的激光束聚焦系统,设置了相位板(6),激光束(3)经反射、准直扩束后在相位板(6)进行相位调制后再生成无衍射光束,能够降低无衍射光束的旁瓣效应,并提高光束的中心光斑能量密度,既提高了光束的质量又提高了水束‑光束的耦合效率;设置了正/负轴棱锥镜组合单元(7),将经相位调制后的光束生成中心光斑小、准直区长的无衍射光束,降低后续阶段与水束光纤耦合的难度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号:CN208450828U
公开(公告)日:2019-02-01
申请号:CN201820910686.1
申请日:2018-06-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种水导激光耦合分流稳压装置,包括分流稳压腔室,所述分流稳压腔室包括侧部的至少一个进水口和底部的水束光纤出口以及顶部与水束光纤出口同心的激光照射口,所述激光照射口上安装有激光镜片,分流稳压腔室内部设有水流通道连通进水口和水束光纤出口,所述水流通道自外而内于不同径向圆周上通过不断增多的内分水口将水流不断分流后均布汇流于水束光纤出口,第一径向圆周上的内分水口为2个,第二径向圆周上的内分水口为4个,第三径向圆周上的内分水口为8个,第四径向圆周上的内分水口为16个……以此类推。本实用新型经过内部分流稳压腔体将进水口的水流进行分流与合流,从而达到从水束光纤出口喷出的水束流速稳定、水压均衡的目的。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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