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公开(公告)号：CN108526091A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810325381.9
申请日：2018-04-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明为一种射流激光复合清洗方法和清洗系统，本方法空化射流冲击工件基材表面，产生水膜、水膜空化泡破溃冲击清洗基材表面，同时激光聚焦于水膜内，水膜在超热状态爆发沸腾、剧烈汽化，产生蒸汽泡冲击基材表面，延长空化射流的有效作用时间。本清洗系统包括空化射流装置、激光清洗装置；激光束和空化射流的中心线共面异轴，空化射流于工件表面产生水膜，激光束聚焦于水膜内与工件表面保持距离，激光束和空化射流协同作用于工作台上的工件表面进行清洗，效果明显优于现有清洗技术，可清除工件表面直径大于50nm的固体颗粒，满足晶圆基材表面加工要求。
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公开(公告)号：CN109465252B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201910026271.7
申请日：2019-01-11
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种超声辅助激光水下清洗装置和方法，清洗加工模块包括工件、水箱和平场聚焦透镜，工件放置于水箱内的水下，平场聚焦透镜设于水面上方；工作台模块包括可在X/Y向移动的平台，水箱放置于平台上；超声能量模块包括超声换能器，超声换能器附着于水箱上；其激光扫描模块包括振镜和多边形扫描反射镜，多边形扫描反射镜可转动的设于平场聚焦透镜上方，振镜对应于多边形扫描反射镜设置；振镜将入射激光束向多边形扫描反射镜反射，多边形扫描反射镜将入射激光束向平场聚焦透镜反射，平场聚焦透镜将两次反射的入射激光束转变为工作激光束打在工件上而产生空化气泡。本发明提高了清洗效率和效果，增加了工件的使用寿命。
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公开(公告)号：CN110227884A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201910380752.8
申请日：2019-05-08
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于无衍射光路设计的水导激光加工系统及方法，其光束传输聚焦耦合单元包括激光发射器和光束传输变换装置，激光发射器的前方设置倾斜的反光镜，设于反光镜下方的光束传输变换装置包括同轴的激光扩束模块、生成无衍射光束模块、玻璃块和喷嘴，玻璃块和喷嘴分别设于耦合腔体的顶部和底部；其工作台单元设于喷嘴下方，包括三维移动的工作台，夹持台板设于工作台上的水槽内，工件装夹于夹持台板上；其供液单元的泵管连通耦合腔体的进水口，喷嘴处产生向下的水束光纤，无衍射光束与水束光纤耦合后作用在工件上。本发明可获得较小的聚焦中心光斑及更长的准直区，降低了聚焦激光束与水束光纤的耦合难度，提高了耦合效率。
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公开(公告)号：CN108581223A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201810383169.8
申请日：2018-04-26
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/38 , B23K26/146 , B23K26/70
Abstract: 本发明为一种水导激光加工方法和系统，电极产生非匀强电场对水束作用，偏转后的水束竖直向下，激光聚焦于竖直向下的水束内，水束引导激光作用于工件。本系统工件固定于工作台上的水槽底面，配有1套偏转水束装置，喷嘴产生的水束与激光束的中心线处于同一平面，水束下方设置电极，在电极非匀强电场使水束偏转竖直向下，激光聚焦于竖直向下的水束内，该水束引导激光束作用于工作台上的工件。还可配2～5套偏转水束装置，各水束汇聚为竖直向下的总水束引导激光束。本发明激光的高温软化的工件表面材料同时水束冷却加工区域减小热损伤。本发明无需与激光束中心线一致的喷嘴，喷嘴不会烧蚀，显著降低装置的成本，有利于水导激光的推广应用。
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公开(公告)号：CN110883424B
公开(公告)日：2023-09-26
申请号：CN201911156189.2
申请日：2019-11-22
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/14 , B23K26/142 , B23K26/146 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种水导激光柔性化微加工系统及方法，包括光纤传输耦合单元、工作台单元和高压供液单元，光纤传输耦合单元包括光纤固定转接模块和光束耦合传输模块，光束耦合传输模块包括耦合体、上压头和下喷嘴座，光纤固定转接模块将柔性光纤的端头定中于上压头与下喷嘴座之间的液层腔，耦合体上的入水口连通液层腔，于下喷嘴座上设有喷嘴块，喷嘴块上的喷孔与下喷嘴座上的喷口连通；耦合体夹持在机器人的机械手上；高压供液单元输出的无级调压高压水经入水口汇集于液层腔形成低压稳流水；工作台单元包括三轴联动的工作台，工件的装夹固定台板通过水槽设于工作台上。本发明结构简单、紧凑和灵活，可实现工件多维度柔性化微加工。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108480842B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN201810600995.3
申请日：2018-06-12
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种水导激光耦合分流稳压装置，包括分流稳压腔室，所述分流稳压腔室包括侧部的至少一个进水口和底部的水束光纤出口以及顶部与水束光纤出口同心的激光照射口，所述激光照射口上安装有激光镜片，分流稳压腔室内部设有水流通道连通进水口和水束光纤出口，所述水流通道自外而内于不同径向圆周上通过不断增多的内分水口将水流不断分流后均布汇流于水束光纤出口，第一径向圆周上的内分水口为2个，第二径向圆周上的内分水口为4个，第三径向圆周上的内分水口为8个，第四径向圆周上的内分水口为16个……以此类推。本发明经过内部分流稳压腔体将进水口的水流进行分流与合流，从而达到从水束光纤出口喷出的水束流速稳定、水压均衡的目的。
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公开(公告)号：CN111168070A
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN202010151930.2
申请日：2020-03-06
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种磁场激励激光增材装置，包括底板、激光头和送粉头，激光头和送粉头与计算机控制系统连接，送粉头的喷粉端点和激光头的激光束聚焦点沿计算机控制系统设定的加工路径在底板上移动，底板通过浮动机构安装于工作台上并置于匀强磁场内，匀强磁场的磁力线垂直穿透底板，底板为导电薄板，导电薄板的前、后端或左、右端分别与交流电的两极端连接，匀强磁场激励载流底板上、下振动。本发明在激光增材成型过程中，磁场激励载流的底板振动，搅动成型材料的内部组织，在一定程度上细化晶粒、改善组织均匀性、减小应力集中、提高材料成型的力学性能。
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公开(公告)号：CN110883424A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201911156189.2
申请日：2019-11-22
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/14 , B23K26/142 , B23K26/146 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开了一种水导激光柔性化微加工系统及方法，包括光纤传输耦合单元、工作台单元和高压供液单元，光纤传输耦合单元包括光纤固定转接模块和光束耦合传输模块，光束耦合传输模块包括耦合体、上压头和下喷嘴座，光纤固定转接模块将柔性光纤的端头定中于上压头与下喷嘴座之间的液层腔，耦合体上的入水口连通液层腔，于下喷嘴座上设有喷嘴块，喷嘴块上的喷孔与下喷嘴座上的喷口连通；耦合体夹持在机器人的机械手上；高压供液单元输出的无级调压高压水经入水口汇集于液层腔形成低压稳流水；工作台单元包括三轴联动的工作台，工件的装夹固定台板通过水槽设于工作台上。本发明结构简单、紧凑和灵活，可实现工件多维度柔性化微加工。
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公开(公告)号：CN109445036A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201910019908.X
申请日：2019-01-09
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种光束分束聚焦传输装置及方法，包括由控制器操控的激光发射器，还包括反光镜和分光镜，45°倾斜的反光镜设于激光发射器的前方，与反光镜反向倾斜45°的分光镜设于反光镜下方，分光镜分光中心的左、右分别设有左、右自聚焦透镜光纤单元，各自聚焦透镜光纤单元接收对应分光束并聚焦耦合后进行光纤传输；由激光发射器发出的光束经反射镜后反射，反射的光束通过分光镜将光束均分成两束光束，分束后的光束通过自聚焦透镜与传输光纤组成的自聚焦耦合传输单元实现光束分束聚焦耦合传输。本发明实现了光束聚焦传输的小型集成化，缩小了聚焦耦合传输空间，提高了光束利用效率及设备使用率，节约了器件的购置成本。
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公开(公告)号：CN108311790A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810325662.4
申请日：2018-04-12
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: B23K26/359
Abstract: 本发明为一种激光辅助金刚石划切加工的方法和加工系统，本法光纤导引的激光束聚焦于工件表面的划切路径上，激光加热工件，使划切部位的材料软化，金刚石划切头紧随激光聚焦光斑，划切加热后强度降低的区域。本系统金刚石划切装置的悬臂下端经固定卡具连接金刚石划切头。激光经导引光纤引导至激光头，整形后的激光束聚焦于工件表面，金刚石划切头接触工件表面的点与激光束在工件表面的聚焦点有距离。导引光纤安装于调节结构上的保护壳体内，以便调节激光束。激光加热后材料强度降低，划切难度降低，且可减少切槽崩边、裂纹缺陷，还可提高加工效率。
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