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公开(公告)号：CN101884019B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200880119657.2
申请日：2008-12-04
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： G05B19/18
CPC分类号： B29C43/58 , B29C43/003 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/5808 , B29C2043/5833 , B29C2043/5841 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 描述了在刻印可聚合的材料期间用于控制模板与基板之间的接触线的速度以及高度分布的系统和方法。
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公开(公告)号：CN1802265B
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN200480008024.6
申请日：2004-03-24
申请人： 分子制模股份有限公司
CPC分类号： B81C1/0046 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , H01L21/76802
摘要： 本发明提供了在基片上成图的方法和组合物，其特征在于通过在基片上形成具有突起和凹陷图案层的成图层来产生多层结构。在成图层上形成的是保形层，多层结构具有背向基片的冠形表面。多层结构的一些部分被除去，露出基片上正对突起的区域，同时在冠形表面正对凹陷的区域形成硬掩模。
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公开(公告)号：CN101990470A
公开(公告)日：2011-03-23
申请号：CN200980112481.2
申请日：2009-04-01
申请人： 分子制模股份有限公司 , 得克萨斯州大学系统董事会
IPC分类号： B05D1/32
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 可使可聚合材料的液滴在膜片上形成图形。可将可聚合材料的液滴分配在膜片上。可对刻印平版印刷模板施加预定的力，使得膜片上可聚合材料液滴的局部捕集最少，且液滴合并形成连续层。可聚合材料可固化以形成具有残留层和至少一个结构的图形层。
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公开(公告)号：CN101939704A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200980104592.9
申请日：2009-02-09
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： G03C5/00
CPC分类号： B29C59/026 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/2022
摘要： 位于能量源与刻印光刻模板之间的器件可以阻挡能量暴露于基板上所分配的可聚合的材料的多个部分。被阻挡从而不能暴露于上述能量的可聚合的材料的多个部分可以仍然是流体，而使其余的可聚合的材料固化。
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公开(公告)号：CN101715567A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200880020706.7
申请日：2008-06-17
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： G03F1/00
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 通过在压印平版印刷基板的表面上施用流体组合物的多个离散部分，使该组合物的离散部分在该基板表面上自发铺展以形成基本连续层，从而形成固体层。该组合物包含溶剂和固体或溶剂和可聚合材料。该组合物可以是溶液或分散体。从该组合物蒸发至少一些溶剂，在该基板上形成固体层(例如聚合的或干燥的层)。该固体层基本无间隙空穴。
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公开(公告)号：CN101573659A
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200680045502.X
申请日：2006-11-30
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： G03B27/64
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03B27/58
摘要： 本发明涉及排除位于基板和模具之间的气体的方法和系统，在该基板和模具之间还具有液体。
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公开(公告)号：CN100455449C
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200480017054.3
申请日：2004-05-11
申请人： 分子制模股份有限公司
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要： 本发明揭示一种用来转移模板(26)的方法、系统、保持器(40a)以及组件。设置带有一模板转移保持器的一运动台。该转移保持器适于使制有图形的模具面向运动台。
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公开(公告)号：CN101316693A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680044171.8
申请日：2006-09-22
申请人： 分子制模股份有限公司
发明人： M·加纳帕斯苏伯拉曼尼安 , 崔炳镇 , M·N·米勒 , N·A·斯塔西 , M·P·C·瓦茨
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C33/424 , B29C33/46 , B29C37/0003 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明提供一种用于将模具(136)与固化压印材料分开的方法，该方法包括：在其中包括模具的模板(214)中产生变形。该变形(P2)足以产生一回复力，该回复力大于固化压印材料和模具之间的粘合力。例如，变形可源自模具和模板设置成与模具相反的一侧之间由泵系统(546)产生的压差。这样，变形可以是在模具中足够量值的波状起伏，以接触其上设置固化压印材料的衬底。
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公开(公告)号：CN101228013A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200680026686.5
申请日：2006-06-05
申请人： 分子制模股份有限公司
发明人： F·Y·徐
CPC分类号： G03F7/0002 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0388
摘要： 本发明提供了一种将一个层粘合到基片上的方法，特征是通过在所述层和所述基片之间存在一种组合物而限定第一界面和第二界面，所述组合物与所述层形成共价键，使用共价键、离子键和范德华力中的一种或多种与所述基片相结合。以这种方式，确保所述层与所述组合物的粘合力的强度大于用预定粘合机理(即不包括共价键合的粘合机理)的所述层与组合物的粘合力。本发明还涉及用来将第一材料和第二材料粘合起来的组合物。该组合物的特征是包含：多官能活性化合物，该化合物包含主链基团以及第一和第二官能团；交联剂以及催化剂。所述第一官能团对第一光化能量敏感，形成交联分子，使所述交联分子的子集与所述第一材料相连。第二官能团对第二光化能量敏感，与所述第二材料相结合，所述第二光化能量不同于所述第一光化能量。
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公开(公告)号：CN101076436A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200580022985.7
申请日：2005-05-27
申请人： 分子制模股份有限公司
IPC分类号： B28B11/08
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C43/021 , B29C2043/025 , B29C2043/5858 , B82Y10/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明涉及包括支撑体(50)、浮体(52)和多个弯曲臂(54、56、58、60)的顺从装置(18)。多个传递臂(54、56、58、60)中的每一个连接于支撑体(50)和浮体(52)之间以在其间平行地传递负载。为此，弯曲臂(54、56、58、60)具有第一和第二组弯曲接合点(62、64、66、68)。第一组弯曲接合点(62、64)有助于所述弯曲臂(54、56、58、60)围绕沿第一方向延伸的第一轴线的旋转运动。第二组弯曲接合点(66、68)被安排成有助于弯曲臂(54、56、58、60)围绕沿与第一方向横切的第二方向延伸的第二轴线的旋转运动。该弯曲接合点(62、64、66、68)是旋转接合点。
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