一种单晶炉炉底防烫垫
    61.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220376831U

    公开(公告)日:2024-01-23

    申请号:CN202321790300.5

    申请日:2023-07-10

    发明人: 李国华 唐元凤

    IPC分类号: C30B15/00 C30B29/06

    摘要: 本实用新型涉及单晶生产辅助设备技术领域,提供一种单晶炉炉底防烫垫,包括垫盘,呈圆盘状;护筒,呈圆筒状,同轴连接于垫盘开设的第一圆孔下方;其中,垫盘外径与炉底外径相等以完全覆盖炉底,护筒可插入炉底的排气孔内以隔绝泄漏的硅液与排气管直接接触。本实用新型通过垫盘和护筒,可对炉底和排气管进行防护,从而阻挡泄漏的硅液与其直接接触,能够避免排气管被烫穿而发生漏水事故,进而有效消除安全隐患和降低事故风险与成本。

    一种防止导流筒触液的感应机构及单晶炉

    公开(公告)号:CN219951290U

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202320794929.0

    申请日:2023-04-12

    发明人: 王谦

    IPC分类号: C30B15/20 C30B29/06

    摘要: 本实用新型提供了一种防止导流筒触液的感应机构及单晶炉,涉及单晶硅制备技术领域,其包括导管,设置在石英坩埚的硅液和导流筒之间;及传导件,一端向下穿过导流筒的筒壁后贯穿导管、另一端向上延伸至单晶炉外;其中,当传导件与石英坩埚内的硅液接触时,两个传导件之间的连接由开路切换成能够传递电压的通路。当导管与石英坩埚内的硅液接触时,硅液使两个传导件之间的连接由开路切换成能够传递电压的通路,使得传导件能够传递电压,这样,与传导件相连的外部设备便能够显示该电压,从而实现对石英坩埚内硅液的液位的感应或检测。

    一种晶棒吊运夹具
    64.
    实用新型

    公开(公告)号:CN219279276U

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202320728276.6

    申请日:2023-04-06

    IPC分类号: B66C1/42

    摘要: 本实用新型属于晶棒加工技术领域。鉴于现有的晶棒吊运装置存在结构比较复杂,不方便进行控制的问题,本实用新型公开了一种晶棒吊运夹具,该夹具包括安装座;剪叉式伸缩装置,安装在所述安装座上;第一夹件,安装在所述安装座的一侧;第二夹件,安装在所述安装座的另一侧,和所述第一夹件相对设置;所述第二夹件和所述第一夹件相对的表面形成能够夹持晶棒的夹持面;自锁装置,用于锁定所述剪叉式伸缩装置;其中,所述第一夹件和所述第二夹件可随所述剪叉式伸缩装置的动作张开或抱合,以松开或夹紧晶棒。该夹具结构简单,能实现快速稳定地吊装晶棒。

    一种晶棒返截固定工装
    65.
    实用新型

    公开(公告)号:CN219276299U

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202320728289.3

    申请日:2023-04-06

    IPC分类号: B28D7/04

    摘要: 本实用新型属于晶棒加工技术领域。鉴于现有的短晶棒在返截机进行切割作业时容易出现切割斜面的问题,本实用新型公开了一种晶棒返截固定工装,其结构包括载体,和所述辊道适配,并可沿所述辊道的轴线方向移动;所述载体的上部开设有贯通所述载体的开口槽;所述开口槽的轴线和所述辊道的轴线平行;所述开口槽和所述晶棒相适配,以承载所述晶棒。该工装通过设置沿辊道轴线方向移动的载体,载体上开设有轴线和辊道轴线平行的开口槽,从而可避免出现切割斜面的问题。

    一种硅液抽取装置
    66.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218717796U

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202223121730.6

    申请日:2022-11-24

    IPC分类号: F04F3/00 C30B29/06 C30B15/00

    摘要: 本实用新型涉及单晶硅拉制生产技术领域,提供一种硅液抽取装置,包括依次连接的抽取管、真空腔、连接管及真空泵,抽取管包括内外依次设置的第一内衬、第二内衬、加热器及第一外衬。利用压力差并通过多层且带加热功能的抽取管,可以快速地将硅液从石英坩埚中抽到真空腔内而不发生凝固,实现快速停炉并节省操作时间,从而降低在单晶制造过程中因石英坩埚鼓包、加热器打火等异常事故导致的已熔融硅液无法继续生长为单晶而发生的原辅材料、时间、能源的成本损失。

    一种单晶炉的导气筒
    67.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218711025U

    公开(公告)日:2023-03-24

    申请号:CN202223121733.X

    申请日:2022-11-24

    IPC分类号: C30B15/00

    摘要: 本实用新型涉及单晶炉技术领域,提供一种单晶炉的导气筒,包括上筒及下筒,上筒担设于保温板开设的安装孔上,下筒插装于炉底板上设置的排气管内;上筒下端延伸至下筒内,下筒上端抵触连接于保温板底面,保温板贴合于炉底板上方。将导气筒设计成上、下筒分段式结构,制造成本更低,同时能够分段进行拆装与更换,避免整体更换,减少了损耗,降低了维护成本。

    一种石墨软毡松紧度测量工装

    公开(公告)号:CN217332112U

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202220953562.8

    申请日:2022-04-24

    IPC分类号: G01N19/00

    摘要: 本实用新型提供了一种石墨软毡松紧度测量工装,包括夹持部、驱动部和测量部;夹持部包括固定夹块、活动夹块和导向机构,固定夹块上部设有安装孔,活动夹块上部设有与安装孔中心高度一致的螺孔,导向机构包括导向杆和设于活动夹块的通孔,导向杆一端与固定夹块固定连接,另一端活动穿插于通孔内;驱动部包括主轴和转轮,主轴中部设有外螺纹,主轴一端贯穿螺孔并可旋转安装于安装孔内,另一端与转轮中心固定连接;测量部包括拉力计,拉力计的手柄端固定安装于活动夹块的下部,拉力计的触头端朝向固定夹块,且触头端连接有内夹块。本石墨软毡松紧度测量工装,结构简单,操作简便,既便于制造也便于使用,能轻松实现对已裹成品石墨软毡松紧度的测量。

    导流筒安装小车
    70.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217052477U

    公开(公告)日:2022-07-26

    申请号:CN202220306659.X

    申请日:2022-02-16

    摘要: 本实用新型提供了一种导流筒安装小车,涉及单晶炉辅助设备技术领域。该导流筒安装小车包括由下至上依次设置的第一支架、第二支架、支撑件和载筒件。第二支架通过升降机构与第一支架连接。支撑件连接在第二支架上。载筒件用于承载导流筒,载筒件转动连接在支撑件上,载筒件能够绕其自身的轴线转动。导流筒安装小车能够极大地方便现有导流筒的安装和拆卸。在需要旋转导流筒时,只需旋转载筒件即可,而无须旋转整个导流筒安装小车,这有利于减小损坏导流筒的几率。