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    检查装置和检查方法
    62.
    发明授权
    检查装置和检查方法 失效

    公开(公告)号：CN100520290C

    公开(公告)日：2009-07-29

    申请号：CN200710102312.3

    申请日：2007-04-27

    申请人： 佳能株式会社

    发明人： 尾内敏彦 ,  笠井信太郎

    IPC分类号： G01B15/00 ,  G01N21/00 ,  G01N22/00

    CPC分类号： G01N21/3581

    摘要： 一种检查装置包括：用于传播电磁波的传输线；用于向传输线提供太赫兹波的电磁波提供单元；用于检测来自传输线的太赫兹波的电磁波检测单元；导电区域；检查对象提供单元；以及沉积单元。导电区域布置在包括通过传输线传播的电磁波的电场分布所延伸到的范围的至少一部分的位置上。检查对象提供单元保持检查对象并向外提供该检查对象，沉积单元通过静电力将检查对象选择性地沉积在导电区域上。由电磁波检测单元检测从电磁波提供单元提供并通过传输线传播的电磁波，以获得该检查对象的信息。

    感测设备
    63.
    发明公开
    感测设备 失效

    公开(公告)号：CN101253403A

    公开(公告)日：2008-08-27

    申请号：CN200680031668.6

    申请日：2006-08-10

    申请人： 佳能株式会社

    发明人： 尾内敏彦

    IPC分类号： G01N21/35

    CPC分类号： G01N21/3581 ,  G01N21/276 ,  G01N21/3577

    摘要： 本发明提供了一种感测设备，用于使用电磁波获得测试试样的信息，所述电磁波包括30GHz至30THz的频率区域内的频率区域，所述感测设备包括：电磁波发送部，其包括多个传输部(4a，4b)，用于传播电磁波；以及检测部(3a，3c)，其用于接收并检测来自所述多个传输部(4a，4b)的电磁波，其中，构建所述多个传输部(4a，4b)中的至少一个，以使得测试试样(5，6)可以被置于如下部分中，所述部分受传播通过其的电磁波所影响。

    使用电磁波的检测方法以及检测装置
    64.
    发明公开
    使用电磁波的检测方法以及检测装置 失效 转让

    公开(公告)号：CN101196467A

    公开(公告)日：2008-06-11

    申请号：CN200710196483.7

    申请日：2007-12-05

    申请人： 佳能株式会社 ,  独立行政法人理化学研究所

    发明人： 尾内敏彦 ,  笠井信太郎 ,  米山春子 ,  山下将嗣

    IPC分类号： G01N21/17 ,  G01N21/01 ,  G01N33/02 ,  G01N23/00

    CPC分类号： G01N21/3581 ,  G01N21/3563

    摘要： 提供一种能够不管有无太赫兹波的频带的固有振动波谱都使用太赫兹波检测物质状态的变化的检测方法以及装置。检测装置具有保持物质8的待检物保持部；照射部件1、6；检测部件1、7；计算部件、评价部件。照射部件1、6在保持于待检物保持部上的物质8上照射太赫兹波。检测部件1、7检测从物质8透射或者反射来的太赫兹波。计算部件求得针对所照射的太赫兹波的物质8的性质的频率依赖性，算出物质8的性质的频率依赖性的拟合直线时的直线斜率或者直线斜率。评价部件对预先求得的基准状态的物质的性质的频率依赖性的直线斜率和用计算部件算出的物质8的直线斜率进行比较，评价物质状态的变化。