公开(公告)号：CN201129463Y

公开(公告)日：2008-10-08

申请号：CN200720187311.9

申请日：2007-12-20

申请人： 北京有色金属研究总院

发明人： 李弢 ,  古宏伟 ,  王霈文

IPC分类号： F16J15/43

摘要： 本实用新型涉及一种真空系统中应用的磁流体密封转轴，特别是在高温加热环境下、进行动态制备薄膜设备中应用的密封转轴。其包括主轴和主轴外围的磁流体密封，其中由进水管、顶部水箱和出水管构成的冷却水路形成水冷层，该进水管和出水管在主轴外侧均匀布置。本实用新型改进原有主轴水冷系统的结构，解决了瀑布式水流在主轴尺寸较大时的水冷不均匀现象，保证主轴各个地方均能够得到充分的冷却，使之适用于高温加热环境的严酷要求，并能够保证主轴充分冷却的前提下使用磁流体密封结构。

公开(公告)号：CN200943101Y

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200620119334.1

申请日：2006-08-28

申请人： 北京有色金属研究总院

发明人： 古宏伟 ,  李弢 ,  王霈文 ,  杨坚

IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/50

摘要： 一种批量化制备双面高温超导薄膜装置，其特点是：将多个基片均匀排布在圆盘形的样品台上，由主转动轴带动旋转，在加热真空腔体内旋转加热，对靶一次性溅射制备大面积双面高温超导薄膜。在加热真空腔体上下两面对称开有溅射口，上下溅射靶对称排布。真空室上下两面还对称放置金属电极靶材。加热腔体与辅转动轴连接，可以旋转溅射口的位置至金属靶材溅射位置，从而实现原位镀覆电极薄膜。主转动轴由无极变速电极带动，可控制旋转速率；加热腔体外壁及溅射靶体周围留有进气口，保证溅射区域及退火时腔体内气压均匀。利用本装置一次性可批量制备16片φ2英寸、12片φ3英寸的高性能双面高温超导薄膜，并可根据实际需要增大样品尺寸和增加样品数目。

公开(公告)号：CN2720624Y

公开(公告)日：2005-08-24

申请号：CN200420087776.3

申请日：2004-08-17

申请人： 北京有色金属研究总院

发明人： 古宏伟 ,  王小平 ,  李弢 ,  王霈文

IPC分类号： H01L21/68 ,  H01L41/22 ,  C23C14/22

摘要： 一种大面积双面超导薄膜基片夹具，是采用上盖和底座基体的扣合的结构，上盖和底座基体皆为圆环状，以螺钉和销孔的配合的方式组装一起。放置样品时，先将单晶基片放入台阶式的内环槽中或底座基体的样品底托上，以防止基片位移，稳妥放置样品，并采用突起部与底座基体一起定位，防止基片位移、嵌入和脱落，同时上盖和底座基体采用螺钉和销孔的结构进行紧固。该基片夹具可以使基片在往复和旋转运动过程中夹持稳妥，基片在夹具内移动小，受力小不易产生破损。定位螺钉和定位销孔固定的设计可使样品装卸方便。基片作为整体可以嵌入样品架、台，适于批量化制备大面积双面超导薄膜。