公开(公告)号：CN103293853A

公开(公告)日：2013-09-11

申请号：CN201310061467.2

申请日：2013-02-27

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 下野胜弘 ,  山﨑健太 ,  川岛敬史 ,  霜山达也 ,  汤本真敏 ,  山田悟 ,  柏木大助

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32

Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机EL显示装置、以及液晶显示装置。本发明提供一种感光度、残膜率、及相对介电常数优异的正型感光性树脂组合物等。一种感光性树脂组合物，其包括：（A）聚合物成分，在同一聚合物或不同的聚合物中包含（a1）含有酸基由酸分解性基保护的残基的重复单元，（a2）含有选自环氧乙烷基、氧杂环丁基、或-NH-CH2-OR（R为碳数为1～20的烷基）中的基的重复单元，及（a3）侧链末端具有羧基、且将聚合物主链与所述羧基加以连结的二价的连结基的原子数为4以上的重复单元；（B）光酸产生剂；以及（D）溶剂。

公开(公告)号：CN103226290A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310037511.6

申请日：2013-01-30

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 崎田享平 ,  川岛敬史 ,  山田悟 ,  米泽裕之 ,  柏木大助 ,  安藤豪

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32

Abstract: 本发明的目的为提供硬化后的基板密接性优异、可抑制图案热流动的感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机电致发光显示装置及液晶显示装置。本发明的感光性树脂组合物的特征在于含有(成分A)满足下述(1)或(2)的成分、(成分B)光酸产生剂、(成分C)具有1个以上8个以下酸基被酸分解性基保护而成的残基的分子量为130以上且小于1,000的化合物及(成分D)溶剂。(1)包含(a1)具有酸基被酸分解性基保护而成的残基的结构单元及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物。(2)包含(a1)具有酸基被酸分解性基保护而成的残基的结构单元的聚合物及包含(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物。

公开(公告)号：CN102792227A

公开(公告)日：2012-11-21

申请号：CN201180013398.7

申请日：2011-01-21

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 菊池涉 ,  山田悟 ,  杉原幸一 ,  崎田享平 ,  石地洋平

IPC: G03F7/039 ,  C08F212/14 ,  C08F220/28 ,  G02F1/1333 ,  G03F7/004 ,  H01L51/50 ,  H05B33/22

CPC classification number: C08F212/14 ,  C08F220/28 ,  G02F1/136227 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/40 ,  H01L27/3246 ,  H01L27/3258

Abstract: 本发明的目的在于提供一种正型感光性树脂组合物，其可以形成具有高感度、可以抑制显影时的残渣的发生、且具有平滑性优异的表面的固化膜。本发明的正型感光性树脂组合物的特征在于，含有成分A：具有式（1）表示的构成单元、具有酸性基团的构成单元、和具有交联性基团的构成单元的树脂，以及成分B：具有肟磺酸酯基的产酸剂，式（1）中，R1表示氢原子或烷基，L1表示羰基或亚苯基，R21～R27分别独立地表示氢原子或烷基。

公开(公告)号：CN102540726A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110415283.2

申请日：2011-12-13

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 山田悟 ,  山﨑健太 ,  杉原幸一 ,  柏木大助 ,  川岛敬史 ,  霜山达也 ,  真崎庆央 ,  下野胜弘

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组成物、硬化膜及其形成方法、层间绝缘膜以及显示装置，所述正型感光性树脂组成物各种性能综合优异。本发明的正型感光性树脂组成物的特征在于：包含含有丁氧基甲基丙烯酰胺等的碱可溶性树脂及感放射线酸产生剂。

公开(公告)号：CN102043334A

公开(公告)日：2011-05-04

申请号：CN201010511720.6

申请日：2010-10-15

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 疋田政宪 ,  山田悟 ,  河边保雅

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1333 ,  H01L27/32

Abstract: 本发明提供一种保存稳定性、感度和溶剂除去工序的宽容度优异的感光性树脂组合物，利用该组合物能够获得透明性和耐溶剂性优异的固化膜。另外，本发明还提供可靠性和生产率高的有机EL显示装置以及液晶显示装置，它们具备利用上述感光性树脂组合物形成的固化膜作为层间绝缘膜。所述感光性树脂组合物的特征在于，其含有(A)共聚物、(B)光产酸剂以及(C)溶剂，所述(A)共聚物含有：具有羧基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(1)，具有酚性羟基被酸分解性基团保护而成的残基的单体单元(2)，和具有3元环和/或4元环的环状醚残基的单体单元(3)。