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公开(公告)号：CN102519657A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110374652.8
申请日：2011-11-22
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明公开一种二维矢量柔性热敏微剪切应力传感器及其阵列和制备方法，采用多层微细加工工艺制作热线、引线和引脚的三层结构，聚酰亚胺薄膜作为多层结构之间的平坦化绝缘材料并作为支撑结构。热线布置形式采用两组正交双热线结构，热线经引线引至传感器单元及整个阵列的引脚处，引脚的连线面与热线敏感面分别在传感器阵列薄膜厚度方向的正面和反面。传感器工作时将热线加热到高于流体的环境温度，当流体经过传感器表面时，流体将带走一定热量，该热量的变化与流体作用于物体表面的剪切应力有关。通过测量X或Y方向单热线对应的电压变化可得剪切应力的大小，再同时测量X或Y轴方向的双热线并将输出信号进行差分处理，可得剪切应力的方向。
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公开(公告)号：CN102297690A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201110206957.8
申请日：2011-07-22
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本发明涉及一种微机电技术领域的压电驱动电容检测双轴陀螺仪，其中：圆盘状、轮辐状或蜂窝状的陀螺振子下表面和支撑圆柱相连，支撑圆柱另一端固定在下极板上，下极板固定在载体上。上极板信号检测电极位于上极板的下端面，下极板信号检测电极位于下极板上端面。上极板、下极板和陀螺振子装配形成差分电容用于检测输出信号。本发明采用圆盘状、轮辐状或蜂窝状的陀螺振子的特殊模态，利用压电效应驱动，电容检测，来敏感平行于陀螺振子上下表面内的角速度。本发明采用MEMS微细加工技术，能实现双轴检测，加工工艺易于实现，可靠性高，功耗低，抗冲击性强，在恶劣的环境下能很好的工作。
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公开(公告)号：CN102278983A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201110206942.1
申请日：2011-07-22
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本发明涉及一种微机电技术领域的具有三角形振子的硅微陀螺仪及其制作方法，包括：一个具有三个振动梁的等边三角形振子，与振动梁平行且有一定间隙的驱动电极，位于驱动电极的两侧且与驱动梁平行的检测电极以及基板。该微陀螺的制作方法采用体硅微加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，加工工艺易于实现，能够同CMOS工艺兼容，抗冲击，不需要真空封装，适用于批量化生产。
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公开(公告)号：CN101947388A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010503002.4
申请日：2010-10-12
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： A63H27/28
摘要： 一种微型飞行器技术领域的电磁驱动式扑翼微飞行器，包括：一对翅膀及其对应背甲和环形永磁体、控制芯片、机壳、两个螺旋线圈和胸腔，一对翅膀分别粘接于各自背甲的一端，背甲的另一端分别粘接螺旋线圈，两块环形永磁体分别固定在胸腔的上下两边，控制芯片粘接于机壳的顶部中央并与螺旋线圈相连，机壳固定于胸腔的外缘。本发明通过MEMS工艺加工实现翼展小于3cm的扑翼式微飞行器，利用通电导体在磁场中受力而获得驱动力，通过电磁力直接驱动，结构简单，控制方便灵活，输出力大。
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公开(公告)号：CN101614544A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200910055598.3
申请日：2009-07-30
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电系统技术领域的复合密度和刚度的微机电固态陀螺仪，包括：检测质量块、起振驱动机构和检测机构，其中：检测质量块的上表面和下表面分别对称设有两组相同的起振驱动机构和检测机构；所述的起振驱动机构包括两个对称设置于检测质量块上表面的驱动电极；所述的检测机构包括：信号干扰隔离电极、角速度检测电极和模态检测电极，其中：四个角速度检测电极两两对称地设置于检测质量块下表面的外沿，两个模态检测电极对称布置于检测质量块下表面的中部，信号干扰隔离电极环绕设置于模态检测电极的外侧。本发明不需要专门的支撑梁结构，整体结构简单，抗冲击能力大，不需要真空封装，陀螺性能可大大提高。
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公开(公告)号：CN100543417C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200710042303.X
申请日：2007-06-21
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电技术领域双模式反磁转子感应旋转微陀螺。本发明由上定子，转子和下定子构成，上定子倒扣在下定子上，上定子和下定子两个正面相对，从而形成空腔，转子则悬浮在此空腔内，所述下定子基体的正面分布着下定子感应旋转线圈组和下定子侧向电极，背面设有下定子十字分隔结构和下定子永磁块，下定子十字分隔结构分隔成的四个区域上粘附着下定子永磁块；所述上定子基体的正面分布着上定子感应旋转线圈组，背面设有上定子十字分隔结构和上定子永磁块，上定子十字分隔结构分隔成的四个区域上粘附着上定子永磁块。本发明降低了转子的起支过程和起支控制难度，也就降低了工艺复杂度和控制难度，可同时检测多个自由度的加速度。
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公开(公告)号：CN100510626C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200510110656.X
申请日：2005-11-24
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电技术领域的磁场可控介磁稳定悬浮转子微陀螺，上定子上设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层，两层绝缘支撑层设置在介磁材料层的上下表面，电极层设置在一个绝缘支撑层的外表面，环形线圈层设置在另一个绝缘材料层的外表面，电极层中心设置公共电极，从内向外依次设置扇形检测加矩电极、扇形旋转电极；下定子结构与上定子相同，也设置电极层、两层绝缘支撑层、介磁材料层、环形线圈层；转子为外齿转子或者内含齿转子。本发明解决了上述背景技术中的问题，集成了大的悬浮转子陀螺精度高和MEMS微陀螺成本低、可批量化的特点。
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公开(公告)号：CN101216500A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032477.2
申请日：2008-01-10
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电系统领域的圆柱形及多环形轴向径向充磁永磁反磁敏感质量微加速度计，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向及径向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微加速度计的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN101216310A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032474.9
申请日：2008-01-10
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向径向充磁反磁转子电荷驰豫旋转微陀螺，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向径向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，利用电荷驰豫，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动。同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微陀螺的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN101109633A
公开(公告)日：2008-01-23
申请号：CN200710042301.0
申请日：2007-06-21
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电技术领域双模式反磁转子静电旋转微陀螺。本发明由上定子，转子和下定子构成，上定子倒扣在下定子上，上定子和下定子两个正面相对，从而形成空腔，转子则悬浮在此空腔内，所述上定子其基体正面设有上定子静电旋转电容极板组，背面设有上定子十字分隔结构和上定子永磁块，上定子十字分隔结构分隔成的四个区域上粘附着上定子永磁块；所述下定子其基体正面设有下定子静电旋转电容极板组和下定子侧向静电电极对，背面设有下定子十字分隔结构和下定子永磁块，下定子十字分隔结构分隔成的四个区域上粘附着下定子永磁块。本发明降低了转子的起支过程和起支控制难度，也就降低了工艺复杂度和控制难度，可同时检测多个自由度的加速度。
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