光电转换器件的制造方法
    72.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101609813B

    公开(公告)日:2012-01-04

    申请号:CN200910151873.1

    申请日:2007-08-02

    Abstract: 本发明公开光电转换器件的制造方法,该器件包括:光电转换区域,具有多个光电转换元件和响应每个光电转换元件的电荷读取信号的第一MOS晶体管;外围电路区域,具有驱动第一MOS晶体管和/或放大从光电转换区域读取的信号的第二MOS晶体管,光电转换区域和外围电路区域位于同一半导体衬底上。该方法包括:形成第一和第二MOS晶体管的栅电极;用栅电极作为掩模注入第一导电类型杂质离子;形成绝缘膜以覆盖光电转换区域和外围电路区域;在通过掩模保护光电转换区域上的绝缘膜时,通过回蚀刻去除外围电路区域上的绝缘膜,并形成第二MOS晶体管的侧面间隔件;用光电转换区域上的绝缘膜和侧面间隔件作为掩模,注入第一导电类型杂质离子。

    光电变换设备和图像捕获设备

    公开(公告)号:CN101123672B

    公开(公告)日:2011-10-19

    申请号:CN200710138485.0

    申请日:2007-08-08

    CPC classification number: H04N5/378 H04N5/3598

    Abstract: 本发明涉及光电变换设备和图像捕获设备。一种光电变换设备包括:包括光电变换器的像素单元;配置在像素单元的输出侧的放大器;配置在放大器的输出侧的输出单元;第一限制电路;以及第二限制电路。第一限制电路在从像素单元读出噪声电平时在所述放大器与所述输出单元之间限制通过放大器从像素单元读出的噪声电平。第二限制电路在从像素单元读出噪声电平时在光电变换器与放大器之间限制要提供给放大器的噪声电平。

Patent Agency Ranking