公开(公告)号：CN205438489U

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201520967923.4

申请日：2015-11-30

申请人： 中国计量科学研究院

发明人： 高思田 ,  李琪 ,  施玉书 ,  李伟 ,  李适 ,  王鹤群 ,  王志新

IPC分类号： B25H1/14 ,  B23Q1/25 ,  B23Q1/01 ,  B23Q1/38

摘要： 一种精密气浮位移平台，在基座上固定有相互平行的两根纵向导轨，两根横向导轨的两端通过纵向滑块滑动连接在纵向导轨上；矩形移动框架的两端各通过一横向滑块滑动连接在横向导轨上；一侧的两个纵向滑块的外侧通过封板相互连接，在封板的外侧装有摩擦轮横向驱动装置，通过横向推杆与该矩形移动框架对应的边连接；在该基座的上面装有摩擦轮纵向驱动装置，通过纵向推杆与一根横向导轨的外侧中部连接；在横向滑块的下面与基座之间设有卸载气浮装置。本平台的优点是：运动机构采用井字形高精度气浮导轨实现XY轴精密导向，在平台负载主体与大理石之间设置卸载气浮装置，减小导轨负载，增大平台的承载能力；同时加入摩擦轮驱动机构，提高驱动平稳性。

公开(公告)号：CN211696278U

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN202020562698.7

申请日：2020-04-16

申请人： 中国计量科学研究院

发明人： 施玉书 ,  张树 ,  皮磊 ,  史舟淼 ,  高思田 ,  李伟 ,  李琪 ,  李适 ,  黄鹭

IPC分类号： G01B11/30 ,  G05D15/01

摘要： 本实用新型公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴外围，用于使所述触针轴悬浮；位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移。本实用新型通过触针轴气浮模块在触针轴外表面形成气隙，保证触针轴悬浮且摩擦最小，提高了触针测量的精度。通过磁恒力模块可调整触针与待测工件之间的测量力，以使触针将工件表面形貌更真实的传递给传感器。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN210571846U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201921368547.1

申请日：2019-08-21

申请人： 中国计量科学研究院

发明人： 黄鹭 ,  高思田 ,  施玉书 ,  李伟 ,  李琪

IPC分类号： G01N15/02

摘要： 本申请提供一种纳米颗粒粒径测量系统。在匹配液中放置有第一光阻断结构和第二光阻断结构。第一光阻断结构设置于入射光束正向延长线上，用以吸收和反射光束，使其无法到达匹配池壁面与空气交界处发生反射。第二光阻断结构设置于多个散射光通孔接收的散射光束的反向延长线上，用于吸收和反射测量接收角互补角上的散射光束，使其无法到达匹配池壁面与空气交界处发生反射。通过匹配液、第一光阻断结构以及第二光阻断结构可以极大程度上减少传统纳米颗粒粒径测量系统中样品池壁面反射光的影响，并避免多个散射光通孔接收自身角度的散射光信号中混入反射光信息，从而大幅提高了测量结果的准确性。

公开(公告)号：CN204650060U

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201520202914.6

申请日：2015-04-07

申请人： 中国计量科学研究院

发明人： 高思田 ,  李琪 ,  施玉书 ,  李伟 ,  李适 ,  王鹤群

IPC分类号： G02B21/08

摘要： 一种248nm深紫外高数值孔径科勒照明聚束镜，包括设在同一光轴的前部中继镜组及后部成像镜组，该前部中继镜组由前后依次设置的第一至第三透镜组成；该后部成像镜组由前后依次设置的第四至第十二透镜组成，其中第十二透镜为平行平板镜片，在透射深紫外光线的同时用于支撑被测样品；该两个镜组安装在恒温密封套筒内，每一透镜安装在对应的透镜框内。本实用新型采用高数值孔径的科勒式照明设计，具有亮度均匀、不引入光源伪像、优化像差、抑制杂散光的优点，高数值孔径保证了很高的分辨力。实验证明紫外显微镜下本装置能对100nm线宽产生清晰轮廓像，适用于集成电路光刻掩模版、纳米几何结构栅格和MEMS/NEMS器件关键尺寸的检测照明。

公开(公告)号：CN306920832S

公开(公告)日：2021-11-05

申请号：CN202130359809.4

申请日：2021-06-10

申请人： 中国计量科学研究院

设计人： 黄鹭 ,  孙淼 ,  巩合具 ,  高思田 ,  李琪 ,  李适 ,  贾鑫 ,  施玉书

摘要： 1.本外观设计产品的名称：摩擦试验机。
2.本外观设计产品的用途：用于摩擦实验。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。

公开(公告)号：CN306051744S

公开(公告)日：2020-09-15

申请号：CN202030081914.1

申请日：2020-03-12

申请人： 中国计量科学研究院

设计人： 施玉书 ,  张树 ,  皮磊 ,  高思田 ,  宋小平 ,  李伟 ,  李琪 ,  李适 ,  黄鹭

摘要： 1.本外观设计产品的名称：工业CT校准标准器（双笛卡尔坐标系结构）。
2.本外观设计产品的用途：用于校准X射线三维尺寸测量机（工业CT）的长度测量示值误差的实验器材。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状与图案的结合。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。