一种微型发光器件阵列单像素的光色检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN114264452B

    公开(公告)日:2022-10-21

    申请号:CN202111591246.7

    申请日:2021-12-23

    申请人: 厦门大学

    IPC分类号: G01M11/02

    摘要: 一种微型发光器件阵列单像素的光色检测系统及检测方法,涉及微型发光器件阵列的光色检测。检测系统包括机械手臂、集光盖板、标准积分球光源、标准LED器件、显微高光谱成像光谱仪、电流源和计算机。使用二步式校准法进行检测系统相对和绝对响应曲线校准;测试微型发光器件阵列时,机械手臂控制集光盖板,使集光盖板上的通孔与微型发光器件阵列芯片一一对应,通过显微高光谱成像光谱仪测试并收集单颗芯片的图像和光谱信息,通过计算得微型发光器件阵列光度学和色度学参数。解决微型发光器件阵列单像素检测时光信号弱、像素间光串扰等问题,实现微型发光器件阵列单像素光通量、光功率绝对值批量快速检测,提升检测效率和准确性。

    一种制备半导体垂直剖面结构的光刻方法

    公开(公告)号:CN114967316A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210513754.1

    申请日:2022-05-12

    申请人: 厦门大学

    IPC分类号: G03F1/00 G03F7/00 G03F7/20

    摘要: 本发明公开了一种制备半导体垂直剖面结构的光刻方法的制备方法,根据光刻图形设计分隔构件,所述分隔构件包括罩板,罩板具有遮蔽区和镂空区,镂空区周缘垂直向下延伸形成隔板;在半导体基板表面涂覆光刻胶后放置分隔构件,并使隔板嵌入光刻胶中将光刻胶对应遮蔽区和对应镂空区的部分物理隔开,然后进行曝光、显影以及后续的蚀刻工艺。通过分隔构件物理隔离需曝光部分的光刻胶,可实现九十度的垂直剖面,实现了低成本,高精度的光刻工艺。

    一种LED荧光粉表面二维温度分布的测试方法

    公开(公告)号:CN113551797A

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN202110860649.0

    申请日:2021-07-28

    申请人: 厦门大学

    IPC分类号: G01K11/12

    摘要: 一种LED荧光粉表面二维温度分布的测试方法,包括以下步骤:1)将荧光粉涂敷型LED放置在控温台上,控制控温台的温度至少取3个温度点,同时给样品通以小电流点亮;2)通过高倍数显微镜对测试样品进行聚焦,通过光纤光谱仪结合高倍显微镜收集每个像素点的光谱,并计算每个像素点可见光波长[λ1,λ2]范围内的归一化荧光粉光谱,获取每个像素点归一化光功率;3)通过对多组温度下的多个光谱图像分别进行每个像素点位置的最小二乘法线性处理,获得校准系数和截距;4)以额定电流点亮样品,重复步骤2),根据归一化光功率和斜率求得荧光粉表面温度矩阵;最后,进行降噪处理及修复异常点,最终获取准确的荧光粉表面二维温度分布。

    一种基于深紫外消杀的智能机器人装置

    公开(公告)号:CN113157025A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN202110383556.3

    申请日:2021-04-09

    申请人: 厦门大学

    IPC分类号: G05D27/02

    摘要: 一种基于深紫外消杀的智能机器人装置,涉及深紫外杀菌、机械设计和智能控制领域。设有消杀模块、测量模块、监控模块、电源模块、智能控制模块和显示模块;消杀模块为深紫外光源和可见光LED的组合阵列,所述测量模块包括测距传感器、红外传感器、紫外传感器、温湿度传感器、TVOC传感器;所述监控模块包括摄像头及其驱动,所述电源模块为其他各模块供电,并根据智能控制模块的指令调节消杀模块的功率大小;智能控制模块用于设计接受信号、处理信号、传递命令。通过智能识别两侧及顶部距离进行智能调节光源与被消杀物品的距离进行消杀。无污染、节能环保、无化学残留。保证空间消杀效果的同时实现节能,解决冷链运输消杀市场的燃眉之急。

    一种基于智能手机测量光谱的便携装置及其光谱检测方法

    公开(公告)号:CN109596215B

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201811435523.3

    申请日:2018-11-28

    申请人: 厦门大学

    IPC分类号: G01J3/40

    摘要: 本发明涉及一种基于智能手机测量光谱的便携装置及其光谱检测方法,属于光谱检测与图像处理技术领域。利用智能手机测量光谱的便携装置主要包括入射狭缝、准直透镜、光栅、柱面镜、标准白板、封装夹具、智能手机。目标光源经狭缝、透镜、光栅后色散,在标准白板上成像,在手机端处理拍摄图像获得目标光谱。其中新型的微型光学外设附件与图像处理方法可以实现本装置与不同手机的适配,避免了传统技术中光学器件与手机摄像头不匹配时无法测量的局限。该技术与传统的便携式光谱仪相比,使用智能手机代替CCD或CMOS传感器以达到更低成本,通过光学器件与图像处理器件分离的新型方法实现了便捷携带与便捷数据传输。

    一种利用矩形波信号驱动半导体器件进行结温测试的方法

    公开(公告)号:CN108303628B

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201810018670.4

    申请日:2018-01-09

    申请人: 厦门大学

    IPC分类号: G01R31/26

    摘要: 本发明提供了一种利用矩形波信号测量半导体器件结温的方法,涉及半导体器件结温测试技术领域。利用矩形波信号测量半导体器件结温的装置设有电流源/电压源,用于输出不同占空比矩形波电流或电压、高分辨率示波器/数字万用表、电压探头、控温台。电源以连续矩形波信号驱动待测器件,待测器件固定在控温台上,电压探头接待测器件,探头的信号输出端接高分辨示波器/数字万用表。利用矩形波信号驱动半导体器件,不需要额外的电路将待测器件从加热状态切换至测试状态,避免开关切换带来的额外信号延迟。得到待测器件电压上升沿处电压峰值与加热后电压稳定值之间的电压差,经由电压‑温度敏感系数确定热沉与结之间的温差,从而确定器件结温。

    基于显微高光谱的发光器件温度分布测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN109060164B

    公开(公告)日:2019-12-06

    申请号:CN201811113037.X

    申请日:2018-09-25

    申请人: 厦门大学

    IPC分类号: G01K11/00

    摘要: 基于显微高光谱的发光器件温度分布测量装置及测量方法,属于测试发光器件温度分布领域,包括控温台、驱动电源、控温电源、显微镜、高光谱仪和计算机;设置样品的初始温度,用驱动电源选择脉冲信号驱动样品;调节控温电源,改变控温台的温度,高光谱仪采集对应的温度点下样品的高光谱数据;计算机根据高光谱数据计算二维温度敏感系数矩阵;驱动电源调至恒压或恒流模式,用高光谱仪采集样品的高光谱数据;计算机用恒压或恒流模式下的高光谱数据计算质心波长,结合二维温度敏感系数矩阵得出样品表面二维温度分布;可以得到发光器件表面各个像素点的光谱图像,从而精确得出发光器件表面二维温度分布图,直观体现其表面温度变化趋势。

    基于显微高光谱的发光器件温度分布测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN109060164A

    公开(公告)日:2018-12-21

    申请号:CN201811113037.X

    申请日:2018-09-25

    申请人: 厦门大学

    IPC分类号: G01K11/00

    摘要: 基于显微高光谱的发光器件温度分布测量装置及测量方法,属于测试发光器件温度分布领域,包括控温台、驱动电源、控温电源、显微镜、高光谱仪和计算机;设置样品的初始温度,用驱动电源选择脉冲信号驱动样品;调节控温电源,改变控温台的温度,高光谱仪采集对应的温度点下样品的高光谱数据;计算机根据高光谱数据计算二维温度敏感系数矩阵;驱动电源调至恒压或恒流模式,用高光谱仪采集样品的高光谱数据;计算机用恒压或恒流模式下的高光谱数据计算质心波长,结合二维温度敏感系数矩阵得出样品表面二维温度分布;可以得到发光器件表面各个像素点的光谱图像,从而精确得出发光器件表面二维温度分布图,直观体现其表面温度变化趋势。