公开(公告)号：CN206084139U

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201620370348.4

申请日：2016-04-27

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 刘清原 ,  龙芋宏 ,  周嘉 ,  鲍家定 ,  毛建东 ,  刘鑫 ,  唐文斌

IPC: B23K26/362 ,  B23K26/402 ,  B23K26/122 ,  B23K26/14

Abstract: 本实用新型为一种双激光加工水浸工件的系统，本系统产生波长1064nm的A激光的固体激光器和产生波长为10640nm的B激光的CO2气体激光器的激光头位于水箱上方，A激光束的中心线为铅垂线，B激光束的中心线与A激光束相交于A激光在工件上表面的焦点，二者交角为10‑30°，A和B激光的聚焦点相距数百微米。工作台高度可调节。工件表面水层厚度为1‑3毫米。激光击穿水产生冲击波作用于工件表面被局部软化的区域，去除软化的材料实现切槽加工。与激光熔切加工相比，本实用新型A激光的加热温度低于材料熔点，可降低局部过热的影响，保证加工成品质量。

公开(公告)号：CN205290092U

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201521051987.6

申请日：2015-12-16

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 毛建冬 ,  龙芋宏 ,  鲍家定 ,  童友群 ,  冯唐高 ,  刘鑫 ,  刘清原 ,  唐文斌 ,  周嘉

IPC: B23K26/70

Abstract: 本实用新型为一种水下激光加工的液层稳定装置，工件水槽顶面有开口，水平玻璃板覆盖于顶面开口，位于工件水槽内的顶面固定工件的工作台处于顶面开口下方。进、出水口的上缘与工件水槽顶面相切。进水在玻璃板底面和工件的上表面之间形成流动的液层。工作台为可调节升降工作台，以调节液层厚度。储水罐的底面与进水口的下缘处于同一水平面上，进水管与之连通，储水罐的容积大于工件水槽容积。玻璃板可推移至工件水槽顶面的一侧，以露出顶面开口，方便工件装卸。出水管经过滤器接入回收水槽，后者的泵将水回接储水罐。本装置玻璃板使液层稳定可调，提高激光加工质量；储水罐水面高度调控节液层水流速度，方便选择确定激光加工的参数。

公开(公告)号：CN218016378U

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN202220707828.0

申请日：2022-03-30

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 龙芋宏 ,  周辽 ,  黄平 ,  张振杰 ,  张光辉 ,  焦辉 ,  周嘉 ,  黄宇星 ,  赵臻 ,  蔺泽 ,  韦昌龙

IPC: B23K26/046 ,  B23K26/70

Abstract: 本实用新型提供一种基于自聚焦镜的水导激光耦合装置，从上至下依次为光传输系统，水‑光耦合系统和气液复合系统；所述光传输系统包括光纤保护层、光纤、QBH光纤接头和自聚焦镜，保证了激光的传输效率，避免反射光对光源的干扰；自聚焦镜下端为有一定弧度的圆弧状且下端浸没在薄水层中，提高耦合效率；喷嘴为有一定弧度的圆弧状，与自聚焦镜相互配合，缩短自聚焦镜和喷嘴中心上表面距离且保证薄水层厚度不变，保证水光高效耦合。采用多级式溢流台阶有效的消除水流动的脉动，提高水束稳定性；采用环形气体束包裹在水束外围，可有效避免积水；采用自聚焦镜有利于减小耦合腔的体积和重量，并具有装置结构简单，密封性能好的优点。

公开(公告)号：CN209363853U

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201920033033.4

申请日：2019-01-09

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 龙芋宏 ,  黄宇星 ,  杨林帆 ,  赵要武 ,  焦辉 ,  周嘉 ,  刘清原 ,  梁恩 ,  赵钰涣 ,  单晨

IPC: B23K26/04 ,  B23K26/046 ,  B23K26/70

Abstract: 本实用新型公开了一种水射流辅助激光加工系统，其光束传输聚焦单元包括激光发射器和光束传输变换机构，激光发射器的前方设置45°倾斜的反光镜，设于反光镜下方的光束传输变换机构包括保护套管，保护套管的上部管孔内设有光束传输变换元件、下部管孔内设有自聚焦透镜和球透镜；其工作台单元设于保护套管下方，包括三维调节的工作台，固定台板设于工作台上的水槽内，工件装夹于固定台板上并与球透镜相对；其供液单元的泵管连通喷管，喷管的喷嘴向工件斜伸，可调节喷嘴斜伸角度的喷管设于三维及角度调节的喷管调节架上，水槽通过回流管连通供液单元。本实用新型减少了激光束在自由空间传输的光程，降低了水射流冲击溅射对光路传输的干扰。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208662839U

公开(公告)日：2019-03-29

申请号：CN201820605257.3

申请日：2018-04-26

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 龙芋宏 ,  黄宇星 ,  刘清原 ,  周嘉 ,  李海建 ,  赵要武 ,  杨林帆 ,  焦辉

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/146 ,  B23K26/70

Abstract: 本实用新型为一种水导激光加工系统，工件固定于工作台上的水槽底面，配有1套偏转水束装置，喷嘴产生的水束与激光束的中心线处于同一平面，水束下方设置电极，在电极非匀强电场使水束偏转竖直向下，激光聚焦于竖直向下流动的水束内，水束引导激光束作用于工作台上的工件。还可配2～5套偏转水束装置，各水束汇聚为竖直向下的总水束引导激光束。本实用新型激光的高温软化的工件表面材料同时水束冷却加工区域减小热损伤。无需与激光束中心线一致的喷嘴，喷嘴不会烧蚀，显著降低装置的成本，有利于水导激光的推广应用。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208196138U

公开(公告)日：2018-12-07

申请号：CN201820516803.6

申请日：2018-04-12

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 刘清原 ,  龙芋宏 ,  鲍家定 ,  周嘉 ,  黄宇星 ,  焦辉 ,  赵要武

IPC: B23P23/00

Abstract: 本实用新型为一种激光水射流复合加工系统，射流喷嘴出射水射流，水射流落点在工件表面的加工路径上。激光器产生的激光束在处于保护壳体内的导引光纤中传播，导引光纤末端连接金刚石导引头。金刚石导引头的导光端与工件表面的距离小于100微米，激光在金刚石导引头内经多次全反射汇聚为直线光束输出，直接作用于水中工件表面的加工路径上。本实用新型激光束的光路处于保护壳体内，保证光束传播过程中不受射流溅射水雾的干扰，激光束和高压射流协同作用，准确高效地去除预定加工路径上的材料，激光光路稳定，激光光斑半径缩小，划切线宽缩小，提高加工精度和质量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN208147136U

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201820709775.X

申请日：2018-05-14

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 鲍家定 ,  周嘉 ,  黄宇星 ,  刘清原 ,  龙芋宏

IPC: B23K26/08

Abstract: 本实用新型公开了一种玻璃微流道的激光复合加工装置，包括工作台，所述工作台的顶部中间位置处安装有齿轮支撑杆，所述齿轮支撑杆共设置有两个，且两个齿轮支撑杆的中间套设有齿轮轴，所述齿轮轴的一侧外壁通过螺栓固定连接有第二电机，且齿轮轴的外壁上套设有小齿轮，所述小齿轮的外壁啮合连接有大齿轮，所述大齿轮的内壁套设有旋转环，所述旋转环的外壁上套设有大滑轮，本实用新型设置了两种方向螺纹的丝杠结构，可使两个方向的玻璃微流道同时朝向中间移动，解决了单一方向送料的问题，避免无法准确定位进行复合加工，同时设置了可360°旋转加工的旋转环，解决了无法适配于各种不同形状尺寸大小的玻璃微流道的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN207852616U

公开(公告)日：2018-09-11

申请号：CN201820287586.8

申请日：2018-03-01

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 鲍家定 ,  周嘉 ,  黄宇星 ,  刘清原 ,  龙芋宏

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/687

Abstract: 本实用新型公开了一种半导体晶圆正反定位的激光划片装置，包括支撑座，所述支撑座顶部的左端固定连接有第七支撑板，且第七支撑板的顶端固定连接有第六支撑板，第六支撑板的底部固定连接有激光器，所述支撑座顶部的右端固定连接有滑座，且滑座的外表面滑动连接有滑动器，所述滑动器的顶端固定连接有第一支撑板，且第一支撑板左侧的上端固定连接有第一电动伸缩杆。本实用新型在第二支撑板的左侧固定安装了电机，并通过第三支撑板、第二电动伸缩杆、第四支撑板和夹座的作用，可满足人们对所夹持的晶圆进行九十度翻转的需求，解决了现有的激光划片装置只能对晶圆的一个表面进行划片处理，降低了划片效率的问题。

公开(公告)号：CN207309192U

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201721390710.5

申请日：2017-10-18

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 鲍家定 ,  徐波 ,  周嘉 ,  黄宇星

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/14 ,  B23K26/08 ,  B23K26/70

Abstract: 本实用新型公开了一种激光加工头、激光加工装置，包括底座，所述底座顶部的两侧均固定连接有电动伸缩杆，两个电动伸缩杆的顶部横向固定连接有滑杆，所述滑杆表面的中心处套设有活动台，所述活动台的顶部设置有移动电机，所述活动台底部的中心处固定连接有固定杆。本实用新型通过设置风箱、排风管、出风管、风板、通风孔、轴承座、风机、引风管、第一出风孔、第二出风孔和活动杆的配合使用，可对加工件进行有效降温，这样激光加工装置的使用效果更好，解决了激光加工装置在使用时，因激光加工装置不能对加工件进行降温，造成加工件在加工过程中出现温度较高的状况，从而导致加工件出现高温损坏的问题。

公开(公告)号：CN207077366U

公开(公告)日：2018-03-09

申请号：CN201720561881.3

申请日：2017-05-19

Applicant: 桂林电子科技大学

Inventor： 龙芋宏 ,  黄宇星 ,  周嘉 ,  李海建 ,  刘清源 ,  鲍家定

IPC: B25B13/06

Abstract: 本实用新型为一种自适应调节的套筒扳手，套筒分为外径相同、中心线重合相互连接的上下筒，固定块封闭上筒顶，上筒内的各弹簧顶端固连于固定块底面，下筒内各活动杆紧凑排列，呈蜂窝状，最外周的活动杆外壁与下筒内壁贴合。手柄柱和把手成T形，下端固定于固定块中心。下筒扣压在螺栓或螺母上，受压的活动杆上缩形成与其配合的凹槽，手柄转动，带动上下筒和活动杆转动，拧动螺栓或螺母。最外周的活动杆底端与下筒底沿相平，中心的活动杆最短，形成中心为锥顶的锥形凹腔，以便对中。各活动杆上部的导杆穿在上下筒之间限位块的定位孔内。本套筒扳手适用于多种规格的螺栓或螺母，操作方便简捷，提高装拆效率，手柄所需的操作空间小，不易被干涉。