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公开(公告)号：CN101452219A
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200810164178.4
申请日：2008-12-29
申请人： 浙江大学 , 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种用于光刻机的浸没液体供给及回收控制装置。浸没液体供给及回收控制装置是在投影透镜组和待曝光衬底之间设置的装置，由注液盖、注液盘、流动控制环和挡圈组成。采用外部注液和内部回收，液体在外围通过定量及高速注入方式进入缝隙流场，通过协调控制作用在内部回收腔的负压，实现整个流场的平衡稳定。采用由外向内快速注液方式，不仅有效的抵消了液体向外泄漏的内在动力，减少了采用气体密封装置导致的边界气泡的渗入；同时加快了流场更新速度，有利于及时带走曝光过程中产生的污染物。
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公开(公告)号：CN101452218A
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200810164176.5
申请日：2008-12-29
申请人： 浙江大学 , 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种用于光刻机的浸没自适应气体密封装置。浸没自适应气体密封装置是在投影透镜组和衬底之间设置的装置，所述的浸没自适应气体密封装置由内构件，中构件，外构件和形变件组组成。在衬底高速运动对液体产生牵拉作用的过程中，缝隙流场的边界形态会发生相应变化。采用自适应密封结构，可根据衬底运动方向及速度大小实时调整密封气体通道口径大小，使不同位置所用密封气体流量发生相应变化，从而抑制密封边界不同位置由于密封气体压力不足导致的液体泄漏，及密封气体压力过大导致的气泡卷吸，实现自适应密封功能，增强了气密封的可靠性及稳定性。
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公开(公告)号：CN101021693A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710067558.1
申请日：2007-03-15
申请人： 浙江大学 , 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 本发明公开了一种浸没式光刻系统中的液体供给及回收的密封控制装置。是在浸没光刻系统中的投影透镜组和待曝光硅片之间装有液体供给及回收的密封控制装置。所述的液体供给及回收的密封控制装置，由浸没单元外接管路连接体、浸没单元腔体和浸没单元工作面组成。采用双重气帘密封和双重多孔介质回收方式，密封气体注入和气液混合回收管路都具有缓冲和均压结构，在缝隙流场边界得到流动稳定压差均匀的气流帘，阻止了步进和扫描行程中液体泄漏，同时在液体回收部分，增大的有效工作面积减少了硅片表面的滞留液体。同时有较强的抗气源供给脉动能力。密封气帘厚度小，气源输入功率小，效率高，硅片总体背压减小。
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公开(公告)号：CN101000260A
公开(公告)日：2007-07-18
申请号：CN200610155285.1
申请日：2006-12-18
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种插入式电磁流量计传感器的干标定方法。该方法采用电动位移平台驱动高斯计探头，逐点测量插入式电磁流量计传感器外表面的法向磁通量密度，计算机利用所测得的传感器外表面磁场信息重构传感器外围有效测量空间三维磁场，进一步结合传感器几何尺寸及数学模型计算出传感器的转换系数，实现插入式电磁流量计传感器的高精度干标定。它能避免实流标定所带来的高成本，避免传统干标定方法中复杂的空间三维磁场的测量，可实现插入式电磁流量计传感器在不同介质及各种流场环境下的检测与标定。
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公开(公告)号：CN1304762C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200510049386.6
申请日：2005-03-17
申请人： 浙江大学
IPC分类号： F15B13/02
摘要： 本发明公开了一种凸台挡流增压式节流阀。包括阀体和阀芯；在阀芯两侧凸肩圆周上各开设一组以上对称分布的节流槽，节流槽与阀体的环形密封凸台构成轴向可调的节流阀口；阀芯两凸肩之间轴段表面靠近节流槽部位开有低于节流槽的环形挡块，使高压油经过时达到挡流增压的目的。该结构能够减小节流槽内流束收缩处内外静压压差，改变节流槽内压力分布；环形挡块相当于二级节流，同时表面的凸凹结构能够抑制气穴初生及气泡生长，从而有效降低液压阀噪声。根据流动旋涡及引流原理，阀芯结构的改变会使液流方向及涡流形态发生极大的变化，这样还能改善其流量特性。本发明具有结构简单、工艺性好等优点，对于降低方向节流阀及节流槽液压控制器件的噪声非常有效。
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公开(公告)号：CN1908599A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200610052942.X
申请日：2006-08-15
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明提供了一种基于管段内表面磁场逐点测量的电磁流量计干标定方法。该方法采用电动位移平台驱动高斯计探头逐点测量电磁流量计管段内表面的法向磁通量密度，计算机利用所测得的管段内表面磁场信息重构管段内空间三维磁场，进一步结合管段几何尺寸及数学模型计算出电磁流量计一次传感器的转换系数，从而实现电磁流量计一次传感器的高精度干标定。它能避免实流标定所带来的高成本，避免传统干标定方法中复杂的空间三维磁场的测量，可实现电磁流量计在不同介质及各种流场环境下的检测与标定。
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公开(公告)号：CN1246095C
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：CN200310107870.0
申请日：2003-10-08
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种高压水除鳞故障检测装置。它包括卡套、电极、集水管、电阻、发光二极管、除鳞喷嘴。在集水管上装有数个除鳞喷嘴，每个除鳞喷嘴的出水口端分别装有卡套，卡套的端部两侧开有出水孔，每个卡套侧面上装有电极，两个电极分别安装在除鳞水喷射面与卡套轴线等距离的点上，不同除鳞喷嘴的相邻电极通过线路串联后，其一个检测点或数个除鳞喷嘴相应个数的检测点经各自的电阻和发光二极管接地。把本装置放在热轧带钢生产线上除鳞，利用除鳞喷嘴堵塞时喷嘴液体断流所引起的导电回路的断路现象，来检测高压水除鳞装置的喷嘴堵塞故障，做到水除鳞设备故障的实时监测，以保证热轧带钢产品质量。
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公开(公告)号：CN1601236A
公开(公告)日：2005-03-30
申请号：CN200410067171.2
申请日：2004-10-12
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01F1/58
摘要： 本发明公开了一种用于电磁流量计的永磁式励磁方法。永磁体产生分别与导电流体流速方向、电极连线方向垂直的工作磁场，流量信号由电极检出，进入前置放大部分，由前置放大器部分完成阻抗匹配和差分放大，得到的信号送入信号处理部分，由信号处理部分完成信号调理，处理好的信号最终送入微处理器部分，由微处理器部分完成流量的计算，流量值送入显示部分完成流量的显示。非采样时间内采用快速变化的交变电场能抑制传统直流励磁测量非金属流体时严重的极化现象，采样时间内永磁式励磁又避免了交流电磁场的干扰，采用该方法的电磁流量计结构简单，可以在励磁模块零功耗的条件下有效检出流量信号，能有效提高电磁流量计的响应速度。
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公开(公告)号：CN1587922A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410066534.0
申请日：2004-09-17
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01F1/86
摘要： 本发明公开了一种基于二次温度差分原理的测热型质量流量检测方法。将加热器垂直于流动方向放入一维流动的流体之中，温度传感元件沿流动方向对称分布在加热器两侧，分别位于加热器的上游位置和下游位置；当流体流动时，位于加热器上游的温度传感元件测出上游两点位置的温度之差，位于加热器下游的温度传感元件测出下游两点位置的温度之差；通过后端差动放大电路及二次仪表，将输出的两个温度差再进行差分运算，最终得到一个流体温度二次差分的反映流速信息的信号。在保证对低速段线性度影响较小的情况下，将流速和输出电压的关系曲线的饱和点往后推至50m/s以后，量程范围扩大了10倍以上。特别适用于成分恒定的气体的中、低速范围的测量。
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公开(公告)号：CN1542428A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN200310108464.6
申请日：2003-11-04
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种多输入旋转流场微型混合器。在第一块基体上端面刻蚀第一混合腔，一端与第一混合腔相切、另一端接输入接口的数个等分布置的输入管道，在第二块基体上有第二混合腔，在第三块片基体下端面刻蚀一端与第二混合腔连通、另一端接输出接口的输出管道，三块基体相键合，第二混合腔下端与第一混合腔连通，第二混合腔上端与输出管道连通。不同成分的试剂或试样通过输入管道进入第一混合腔内，由于输入管道与混合腔成切向，第一混合腔内就形成旋转流场向上流动，旋转进入第二混合腔，流体元都会被拉伸并变薄，由于第二混合腔的内径小于第一混合腔的内径，流速还会加快，进一步拉伸流体微元，同时浓度梯度驱动的分子扩散作用也被加强，实现高效的混合。
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