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公开(公告)号：CN100462848C
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200710067558.1
申请日：2007-03-15
申请人： 浙江大学 , 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 本发明公开了一种浸没式光刻系统中的液体供给及回收的密封控制装置。是在浸没光刻系统中的投影透镜组和待曝光硅片之间装有液体供给及回收的密封控制装置。所述的液体供给及回收的密封控制装置，由浸没单元外接管路连接体、浸没单元腔体和浸没单元工作面组成。采用双重气帘密封和双重多孔介质回收方式，密封气体注入和气液混合回收管路都具有缓冲和均压结构，在缝隙流场边界得到流动稳定压差均匀的气流帘，阻止了步进和扫描行程中液体泄漏，同时在液体回收部分，增大的有效工作面积减少了硅片表面的滞留液体。同时有较强的抗气源供给脉动能力。密封气帘厚度小，气源输入功率小，效率高，硅片总体背压减小。
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公开(公告)号：CN101021693A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710067558.1
申请日：2007-03-15
申请人： 浙江大学 , 上海微电子装备有限公司
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
摘要： 本发明公开了一种浸没式光刻系统中的液体供给及回收的密封控制装置。是在浸没光刻系统中的投影透镜组和待曝光硅片之间装有液体供给及回收的密封控制装置。所述的液体供给及回收的密封控制装置，由浸没单元外接管路连接体、浸没单元腔体和浸没单元工作面组成。采用双重气帘密封和双重多孔介质回收方式，密封气体注入和气液混合回收管路都具有缓冲和均压结构，在缝隙流场边界得到流动稳定压差均匀的气流帘，阻止了步进和扫描行程中液体泄漏，同时在液体回收部分，增大的有效工作面积减少了硅片表面的滞留液体。同时有较强的抗气源供给脉动能力。密封气帘厚度小，气源输入功率小，效率高，硅片总体背压减小。
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公开(公告)号：CN115060723B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202210609904.9
申请日：2022-05-31
申请人： 浙江大学高端装备研究院 , 浙江大学
摘要： 本发明公开一种金属温度场测量方法，该方法采用加热器加热被测金属，采用相机拍摄被测金属的图片，拍摄过程中通过主动调控曝光时间，实时保持图片灰度，建立图像灰度与温度之间的高精度模型，实现了对待测金属的温度的高精度测量，且该测量方法不受外界环境干扰，成本低、分辨率更高和准确率更高。同时，本发明的方法能够适用于表面不均匀物体的温度场测量。
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公开(公告)号：CN117249150A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311343663.9
申请日：2023-10-17
申请人： 浙江大学高端装备研究院 , 浙江大学
摘要： 本发明公开一种适用于电比例控制的正流量多路阀的测试装置，包括比例减压阀阀块、弹簧罩、螺纹连接分体式LVDT位移传感器、限位螺钉、锁紧螺母；限位螺钉与被试阀阀杆连接；测试用弹簧罩与被试阀阀体连接；位移传感器与限位螺钉及测试用弹簧罩连接，调整好位置后通过增加垫块固定。比例减压阀插件与比例减压阀阀块连接后与测试用弹簧罩连接。这样，测试装置就全部固定在被试阀上。本发明的测试装置小巧轻便，通过分体式设计，所占空间较小，测试装置可以实现对阀芯位移的实时测量，并通过信号采集器生成相关的测试曲线及测试数据。
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公开(公告)号：CN117197010A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311098145.5
申请日：2023-08-29
申请人： 浙江大学高端装备研究院 , 浙江大学
IPC分类号： G06T5/50 , G06T7/11 , G06N3/0455 , G06N3/0464 , G06N3/08
摘要： 本发明公开一种在激光熔覆加工中进行工件点云融合的方法及装置，方法包括：获取待测工件的红外图像和点云深度图像；将点云深度图像与红外图像进行融合处理；搭建和训练基于卷积神经网络的图像分割模型；通过图像分割模型识别融合图像中的高温区，在点云数据上裁剪并去除高温区；分析得到的点云数据，按照离群点剔除、RANSAC平面分割、数据去噪和体素下采样的顺序对其进行预处理；将经过预处理的点云数据按照法向量计算、FPFH特征描述子计算、SAC‑IA粗拼接以及ICP精拼接的顺序来完成点云数据的拼接，得到拼接后工件点云。本发明能够有效降低高温热辐射对主动式光学相机采集数据的影响，实现实时采集激光熔覆加工中工件形状数据，并提高采集速度和准确性。
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公开(公告)号：CN114941543A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210611118.2
申请日：2022-05-31
申请人： 浙江大学高端装备研究院 , 浙江大学
摘要： 本发明涉及一种RGB‑D视觉管片抓取识别系统、拼装定位系统及拼装定位方法，其中，视觉管片抓取识别是通过RGB‑D相机拍摄的管片表面的点云数据，通过滤波移除离群点和减少噪声点干扰，再通过点云分割去除背景点云，得到管片点云；通过点云平滑以及法线估计对模板管片和待抓取管片的点云进行配准，完成待抓取管片的识别和位姿估计，引导拼装机对待抓取管片的抓取；管片拼装定位是在管片抓取后，通过预先计算粗定位，将管片移动到目标位置，之后对于不同类型的管片设计对应的拼装方式，实现管片的精定位拼装，完成对整环管片的拼装工作。本发明能够实现管片的快速识别和拼装，且拼装定位稳定性好，准确率高。
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公开(公告)号：CN117391511A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311355812.3
申请日：2023-10-19
申请人： 浙江大学高端装备研究院 , 浙江大学
IPC分类号： G06Q10/0639 , G06Q50/26 , G06N3/0499 , G06N3/086
摘要： 本发明公开了一种基于IAGA‑BP的城市快速路救援能力评估模型，参数设置模块用于设定神经网络的拓扑结构；权值和阈值生成模块用于通过自适应遗传算法获取最优初始权值和阈值；数据预处理模块用于对输入的交通突发事件救援能力相关指标数据进行预处理；IAGA‑BP神经网络训练模块，以专家经验知识作为约束条件，利用增广拉格朗日乘子法，优化目标函数和权值阈值更新函数；将序关系分析法与云模型相结合，确定交通突发事件救援能力相关指标的权重，将权重大于阈值的指标输入并训练IAGA‑BP神经网络，达到目标误差后结束训练。本发明将专家经验知识融入神经网络中，使救援能力评估指标更具合理性，评估结果更全面。
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公开(公告)号：CN115060723A
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202210609904.9
申请日：2022-05-31
申请人： 浙江大学高端装备研究院 , 浙江大学
摘要： 本发明公开一种金属温度场测量方法，该方法采用加热器加热被测金属，采用相机拍摄被测金属的图片，拍摄过程中通过主动调控曝光时间，实时保持图片灰度，建立图像灰度与温度之间的高精度模型，实现了对待测金属的温度的高精度测量，且该测量方法不受外界环境干扰，成本低、分辨率更高和准确率更高。同时，本发明的方法能够适用于表面不均匀物体的温度场测量。
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公开(公告)号：CN114937084A
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202210611127.1
申请日：2022-05-31
申请人： 浙江大学高端装备研究院 , 浙江大学
摘要： 本发明公开一种基于机器学习的地铁盾构施工中管片位姿自动识别方法，该方法首先构建地铁盾构施工中管片摆放位置的位姿数据库，数据库中每个管片的数据包括管片摆放位置和管片的位姿，管片的位姿包括：拍摄角度、拍摄距离、环境光照、粉尘影响、细节缺失；选取管片位姿数据库中的数据作为训练数据集，并将管片摆放位置作为目标属性，管片的位姿作为特征数据，输入基于神经网络的管片位姿的机器学习识别模型中，对模型进行训练；最后将待识别的地铁盾构施工管片的图像输入训练后的基于神经网络的管片位姿的机器学习识别模型中，即可得到对应的管片摆放位置。该方法识别精度高，能为从业人员提高决策效率，节省实验成本，节约时间成本。
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公开(公告)号：CN117380979A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311310677.0
申请日：2023-10-11
申请人： 浙江大学高端装备研究院 , 浙江大学
摘要： 本发明公开一种用于生产嵌入MEMS传感器构件的3D打印铺粉装置，包括3D打印成形舱室以及安装在其内部的铺粉头集成装置、粉末控制装置、成形基板、MEMS传感器；MEMS传感器固定在成形基板上，粉末控制装置中并列安装多个分体式的粉末开关，每个所述粉末开关可独立控制，铺粉头集成装置和粉末控制装置配合工作，铺粉过程自动避开MEMS传感器位置。本发明利用铺粉头控制装置控制激光成形过程中粉末下落位置，在模型切片过程中考虑MEMS传感器位置，使得将嵌入式MEMS传感器集成到设备中更容易，传感器的布局和位置可根据实际需要优化，以实现更高的精度和性能；同时嵌入式MEMS传感器可直接与其他组件一起打印成形，降低了连接和集成的复杂性。
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