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公开(公告)号：CN111609698A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010493054.1
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种ITO靶材坯体干燥脱脂装置及干燥脱脂方法，属于靶坯干燥领域。本发明提供的装置，利用了微波加热器和红外加热设备，使用了微波干燥和红外干燥混合干燥的方法，提高干燥的速率；横向移动导轨使靶坯在干燥过程中可以横向往复匀速运动，从而达到均匀干燥的目的，避免了微波干燥或红外干燥不均匀导致靶坯开裂的情况；且本发明所提供的装置是干燥脱脂一体炉，在同一个炉子可以同时完成干燥和脱脂两道工艺，简化了工艺，节省了工厂场地设备的投入。
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公开(公告)号：CN111606704A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010493048.6
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/457 , C04B35/622 , C04B37/00 , B28D1/22 , B08B3/04 , B08B3/08 , B08B3/10
摘要： 本发明提供了一种ITO蒸镀料及其制备方法，属于蒸发镀膜材料技术领域。本发明将铟锡氧化物四边形板材组装为四边形板材组装块体，然后平行于所述四边形板材组装块体的一对平行边对其从上到下进行第一多刀切割，然后平行于所述四边形板材组装块体的另一对平行边对其从上到下进行第二多刀切割，即可得到切割料，将该切割料加热后，热熔胶熔化，然后分离热熔胶，即可将大部分热熔胶去除，然后进行第一水洗、碱洗和第二水洗，得到纯净、且规格相同的蒸镀料。本发明将四边形板材组装为四边形板材组装块体，使得常用于切片和切粒的多刀切割技术可应用于ITO蒸镀料的制备，所得ITO蒸镀料的规格相同，且制备方法简单，具有较高的生产效率。
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公开(公告)号：CN111605037A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010493046.7
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： B28B1/26 , B28B7/34 , B28B7/18 , B28B7/30 , B28B11/24 , C04B35/457 , C04B35/622
摘要： 本发明涉及靶材制备技术领域，提供了一种高压注浆成型装置以及一种ITO旋转靶材的制备方法。本发明提供的高压注浆成型装置包括成型装置、高压注浆装置和抽滤装置；所述的成型装置设置真空抽滤室、树脂外模和可伸缩的树脂内模。本发明将高压注浆与抽滤成型相结合，不仅能提高成型的效率和成功率，还能提高坯体的致密度；本发明提供的装置中具有可伸缩的树脂内模，通过逐节脱模的方法，可以减少每一次脱模的摩擦力，使脱模的成功率更高，同时也可通过该模具成型更大尺寸的旋转靶材，解决了目前企业中大型靶材无法脱模的问题。
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公开(公告)号：CN111593216A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010493262.1
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种铝钪合金靶材的及其制备方法和应用及真空自耗电弧炉，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源混合后进行压制和组焊，将所得组焊电极在水冷铜结晶器中进行两次真空电弧熔炼；然后进行重复热机械加工，机加工和绑定，得到铝钪合金靶材，所述水冷铜结晶器带有水套和稳弧线圈。本发明在水冷铜结晶器中两次真空电弧熔炼，避免了采用传统熔炼炉中的耐火材料对钪的污染，洁净度高，含氧量低；由于水冷铜结晶器的快速冷却及后续热机械加工，改善了铝钪合金靶材的组织并修复缺陷，所得铝钪合金靶材的微观组织均匀，平均晶粒均匀，无气孔和偏析明显缺陷，致密度和铝钪合金靶材成品率高。
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公开(公告)号：CN111548144A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010493265.5
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C04B35/453 , C04B35/622 , C04B35/638
摘要： 本发明提供了一种不易结瘤的ITO溅射靶材及其制备方法，属于靶材制备技术领域。本发明提供的制备方法包括以下步骤：将脱脂后的ITO靶坯依次进行第一烧结和第二烧结，冷却后得到不易结瘤的ITO溅射靶材；所述第一烧结和第二烧结均在氧气通入的条件下进行；所述第一烧结的温度为1250～1350℃，保温时间为3～5h；所述第二烧结的过程包括：自第一烧结的温度开始升温，每升高100℃保温4～6h，在温度达到1600～1650℃后，保温6～10h。采用本发明方法制备的ITO溅射靶材，靶材致密，晶粒尺寸均匀，且无偏析，具有优异的抗结瘤性能。
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公开(公告)号：CN111500993A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010511696.X
申请日：2020-06-08
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明提供了一种靶材自动化绑定方法，属于靶材绑定技术领域。本发明提供的靶材自动化绑定方法，包括依次进行的检料处理、第一预热处理、金属化处理、第二预热处理和自动化绑定处理，各处理步骤基于自动化设备(检料设备、第一预热设备、金属化设备、第二预热设备和自动化绑定设备)协同作用，避免了人工绑定造成产品质量差异性大的问题；同时采用输送辊道实现靶片和背板的移动，且各自动化设备配置合理，可以显著缩短绑定周期，提高生产效率，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN111500992A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010497464.3
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用，涉及铝钪合金制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源置于水冷铜坩埚中，抽真空后充入惰性气体，重复进行电弧熔炼，得到熔融合金液；在惰性气体保护下将所述熔融合金液冷凝，得到铝钪合金铸锭；将所述铝钪合金铸锭依次进行电磁搅拌和重复热机械处理，得到铝钪合金靶坯。本发明在真空、惰性气氛下进行电弧熔炼，减小了铝钪合金中的氧含量，重复电弧熔炼、电磁搅拌和重复热机械加工，改善了铝钪合金铸态的组织并修复其缺陷，利用的水冷铜坩埚冷却速度快，减小了铝钪合金中钪的偏析，靶坯晶粒均匀，无偏析，微观组织均匀，致密度高、成膜性能好。
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公开(公告)号：CN110257790B
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201910688134.X
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种Al2O3‑TiOx靶材及其制备方法和应用，属于靶材制备技术领域。本发明提供的Al2O3‑TiOx靶材包含以下百分含量的组分：30wt％～50wt％TiOx和50wt％～70wt％Al2O3；所述TiOx中x为1.8～1.98。本发明通过在Al2O3‑TiOx靶材中掺杂百分含量为30wt％～50wt％的TiOx，使Al2O3‑TiOx靶材具有半导体材料的特性，有效地提高了Al2O3‑TiOx靶材的导电性能，可实现采用中频磁控溅射Al2O3‑TiOx靶材的方法制得Al2O3‑TiOx薄膜，用于替代Al2O3薄膜，实现工业化生产。
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公开(公告)号：CN110777320A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911008791.1
申请日：2019-10-23
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种旋转铌残靶的修复方法，包括以下步骤：步骤一：修复前处理：采用机加工将旋转铌残靶表面的凹凸层去除，形成表面平整的旋转铌残靶；步骤二：对步骤一加工后的旋转铌残靶的表面进行等离子清洁活化，将旋转铌残靶固定在旋转喷涂工装上，旋转铌残靶的不锈钢衬管在固定转速下，等离子喷枪沿旋转铌残靶的不锈钢衬管的管轴线做往复运动；步骤三：选用纯度为99.9％铌粉，利用等离子热喷涂设备喷涂于步骤二经过清洁活化后旋转铌残靶的表面形成新旋转铌靶涂层；步骤四：对步骤三热喷涂后的新旋转铌靶涂层进行后处理得到修复完整的旋转铌靶材。本发明工艺流程缩短，成本大大降低，对残靶材料进行循环利用，实现“绿色制造”。
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公开(公告)号：CN110284169A
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201910689301.2
申请日：2019-07-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种铜背板水路的电镀防护装置及方法，属于靶材制备技术领域，本发明提供的铜背板水路的电镀防护装置，包括铜背板、外水路管道，镀液槽和直流电源；所述铜背板内设置有铜背板水路，所述铜背板水路通过外水路管道与镀液槽相连形成循环水路系统；所述外水路管道上设置有循环水泵；所述镀液槽中设置有阳极，所述阳极与直流电源正极相连，所述铜背板与直流电源负极相连，形成电镀系统。本发明提供的电镀防护装置及方法能够在铜背板水路表面快速制备镀层，同时提高铜背板的抗氧化性能和冷却性能。
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