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公开(公告)号：CN113714071A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110911455.9
申请日：2021-08-10
Applicant: 中北大学
IPC: B06B1/02
Abstract: 本发明涉及微压（0‑10kPa）检测领域，尤其涉及MEMS或电容式微机械超声换能器，具体为高灵敏度微压检测倒置台形空腔结构电容式微机械超声换能器，包括金属上电极、Si振膜、SiO2支撑柱、真空腔、SiO2绝缘层以及硅衬底，Si振膜的下方边缘位置设置有环形的SiO2支撑柱，SiO2支撑柱的下方设置硅衬底，Si振膜、SiO2支撑柱和硅衬底所围成的真空腔为倒置的圆台形真空腔，真空腔底部设置有SiO2绝缘层，Si振膜上方溅射金属上电极。本发明的电容式微机械超声换能器具有高灵敏度、优线性度的压力检测性能。
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公开(公告)号：CN112362120A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011243030.7
申请日：2020-11-12
Applicant: 中北大学
IPC: G01F1/66
Abstract: 本发明公开一种流量检测器及流量检测方法，流量检测器，包括两个面阵子探头和控制模块，两个面阵子探头可以分别作为超声波的发射端和接收端；控制模块至少包括两个收发控制电路以及计算控制子模块；计算控制子模块通过一个收发控制电路控制对应的一个面阵子探头发射超声波信号；当另一个面阵子探头接收到超声波信号后，通过另一个收发控制电路将接收到超声波信号的信息反馈给计算控制子模块进行计算处理。本发明利用面阵探头上不同行的阵元分别检测流体的横截面中不同分层的流量信息以求平均值的方式得到被测流体的整体流量信息，这种检测结果更接近流体的真实情况，可以大大降低流量检测的误差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108975266B
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201810784683.2
申请日：2018-07-17
Applicant: 中北大学
IPC: B81B7/02 , B81C1/00 , A61B5/0408
Abstract: 本发明为一种基于针尖阵列结构的石墨烯‑PDMS柔性衬底心电干电极及其制备方法，包括顶面为针尖阵列结构设计的石墨烯‑PDMS柔性导电衬底，针尖阵列结构上沉积有聚对二甲苯薄膜，聚对二甲苯薄膜上溅射有金属种子层，金属种子层上溅射有金属层；石墨烯‑PDMS柔性导电衬底的底面上涂覆有导电银胶层。本发明的工艺步骤简单、成本较低、通过模具的制作有利于批量化生产。本发明制备用到的材料如导电银胶、PDMS、石墨烯、聚对二甲苯薄膜以及溅射的金属钛和金都在生物兼容性方面表现良好，能有效抑菌并减少对皮肤的刺激。本发明设计的针尖阵列结构有较大的接触面积，与皮肤直接接触可穿过角质层，能有效降低皮肤‑电极的接触阻抗，从而获得稳定的心电信号。
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公开(公告)号：CN109579975B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201811551375.1
申请日：2018-12-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种X、Y方向振动抑制的三维矢量水听器，包括基片和纤毛，基片由中心质量块、梁和边框组成，在每个梁的末端各分布一个压敏电阻。中心质量块的每边通过两个梁悬挂在边框上，即中心质量块右边、上边、左边和下边分别通过梁与边框连接，将中心质量块悬挂在边框上。质量块、梁与边框之间留有一定的空隙，通过限制中心质量块在笛卡尔坐标系中X方向和Y方向的位移达到抗过载的目的；中心质量块与下盖板之间留有一定的空隙，通过限制中心质量块在笛卡尔坐标中Z方向的位移达到抗过载的目的；中心质量块的厚度和面积变大，使得水听器受到振动信号作用时，质量块对梁的弯矩可以抵消纤毛对梁的弯矩达到降低水听器振动灵敏度的目的。
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公开(公告)号：CN109091135A
公开(公告)日：2018-12-28
申请号：CN201810784684.7
申请日：2018-07-17
Applicant: 中北大学
IPC: A61B5/0402 , A61B7/02
Abstract: 本发明为一种基于MEMS技术的心音心电微型原位同步检测传感器，包括壳体，壳体上固定有透声帽，壳体内设有支撑板，支撑板上安装有MEMS声传感器微结构，MEMS声传感器微结构由支撑框架、中心质量块、悬臂梁及四个压敏电阻组成；壳体的外围套装有一圈心电电极，心电电极的外围套装有一圈吸盘；心电电极包括顶面为针尖式微阵列设计的柔性导电基底，柔性导电基底的顶面依次溅射有金属种子层和金属层、背面涂覆有导电银胶层。相比于传统的听诊器或是心电传感器，本发明传感器利用MEMS技术将心音、心电集于一体，进而能够实现冠心病的多参数联合分析诊断，具有灵敏度高，体积小，可批量加工，低成本等优点。
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公开(公告)号：CN104216111B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410532691.X
申请日：2014-10-11
Applicant: 中北大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜，具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构，包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层；正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔；正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面；正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。
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公开(公告)号：CN104216111A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410532691.X
申请日：2014-10-11
Applicant: 中北大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜，具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构，包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层；正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔；正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面；正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。
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