一种原子层热电堆热流传感器的封装结构及封装工艺

    公开(公告)号:CN110828648A

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201911278989.1

    申请日:2019-12-13

    IPC分类号: H01L35/10 H01L35/02 H01L35/34

    摘要: 本发明公开了一种原子层热电堆热流传感器的封装结构及封装工艺,其封装结构包括:基座;封装套,其与基座之间为紧密配合;敏感元件,其固定于基座上,且其外表面与封装套上端面齐平;引线孔Ⅰ,其位于基座中,且设置在基座上端;敏感元件的结构包括:钛酸锶晶片,其上开设有引线孔Ⅱ,引线孔Ⅱ位于引线孔Ⅰ正上方;热电效应薄膜,其沉积在钛酸锶晶片上;导电金膜,其沉积在钛酸锶晶片上,且位于热电效应薄膜两端;导线槽,其开设在基座中;银导线,其固定在导线槽中,且银导线穿过引线孔Ⅰ和引线孔Ⅱ,本发明提供的热流传感器封装结构及封装工艺避免了大深径比的细小孔加工难度,实现了导线的有效固定。

    一种非接触式在线监测电弧加热设备电极烧蚀的方法

    公开(公告)号:CN110514623A

    公开(公告)日:2019-11-29

    申请号:CN201910848786.5

    申请日:2019-09-09

    发明人: 陈卫 伍越 王磊 朱涛

    IPC分类号: G01N21/39

    摘要: 本发明公开了一种非接触式在线监测电弧加热设备电极烧蚀的方法,包括:基于可调谐二极管激光吸收光谱技术,采用波长与铜原子吸收光谱谱线相匹配的激光束穿透电弧加热设备内部的高温流场,高温流场中的铜原子与激光发生吸收作用,通过测量激光被吸收的程度,结合加热器状态参数,可以计算得到流场中铜原子和铜离子组分的质量,由于电极烧蚀产物在高温流场中大部分都以铜原子态或铜离子态形式存在,铜原子和离子的总质量即可代表电极的烧蚀量,从而实现电极烧蚀量的非接触式实时测量。本发明采用非接触间接测量的方式,不对电弧加热设备流场产生影响,且响应速度快,可以实现电极烧蚀量在电弧加热设备运行全过程中的实时监测。

    一种基于视觉对准的MEMS摩阻传感器制作方法

    公开(公告)号:CN108467007B

    公开(公告)日:2019-09-13

    申请号:CN201810348331.2

    申请日:2018-04-18

    IPC分类号: B81C1/00 G01L1/18

    摘要: 本发明公开了一种基于视觉对准的MEMS摩阻传感器制作方法。MEMS摩阻传感器分解为浮动元件、硅微结构、电极基板、接口电路和封装管壳5个部分,硅微结构和电极基板采用MEMS加工工艺制作,浮动元件采用和装管壳采用精密机械加工技术制作,接口电路采用陶瓷基精密微带电路技术制作。MEMS摩阻传感器采用专门的微组装设备和微组装工艺,微组装设备由精密视觉定位系统、三自由度微操作对准平台、真空吸头和图像辨识系统构成;利用视觉精密定位和微操作对准技术完成MEMS摩阻传感器的组装。本发明的基于视觉对准的MEMS摩阻传感器制作方法,提高了MEMS摩阻传感器加工、组装精度,进而提高了其在高超声速风洞内表面摩擦阻力测量的精准度。

    一种基于非稳态传热模型的新型热流传感器

    公开(公告)号:CN108871599A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201710437758.5

    申请日:2017-06-12

    IPC分类号: G01K7/02 G01K1/14

    摘要: 本发明涉及地面防热试验技术领域,具体公开了一种基于非稳态传热模型的新型热流传感器。该传感器中圆柱体结构的感应元件底部开有两个盲孔,且两个盲孔与上表面的厚度存在差异,铠装K型热电偶Ⅰ以及铠装K型热电偶Ⅱ分别焊接在感应元件中的盲孔底部;无氧铜热沉体上端为圆柱体基体结构,其上开有与感应元件中盲孔相匹配的通孔,无氧铜热沉体穿过铠装K型热电偶Ⅰ以及铠装K型热电偶Ⅱ,并与感应元件底部固定连接,圆柱套套在感应元件外部,并与无氧铜热沉体中基体固定连接,并在圆柱套与感应元件之间形成环状间隙。该传感器测温点没有暴露于高温流场中,能够应用于高温、强气流冲刷的流场测试环境中,满足较高空间分辨率及短时热流分布测试。

    一种用于大口径高超声速风洞的冷却器

    公开(公告)号:CN106197939B

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201610583684.1

    申请日:2016-07-22

    IPC分类号: G01M9/04

    摘要: 本发明提供了一种用于大口径高超声速风洞的冷却器,所述的冷却器的底座上放置管箱,管箱的上部焊接上壳体,管箱的前端与前过渡段的方形接口焊接,管箱的后端与后过渡段的方形接口焊接;管箱左侧为固定水箱,管箱右侧为活动水箱,侧壳体覆盖在活动水箱的外表面并与活动水箱之间留有间隙,侧壳体与上壳体在对接处焊接;管箱由结构相同的管箱模块阵列组合而成,采用自左向右从下到上的积木式叠放方式进行组焊;固定水箱管板和活动水箱管板之间贯穿交错排列的翅片管,翅片管作为换热管增大了换热面积。本发明的冷却器采用高温气流与冷却水横向错流的方式,提高了换热效率,具有结构紧凑,换热效率高的优点,能够满足大口径高超声速风洞运行要求。