公开(公告)号：CN202888142U

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201220590722.3

申请日：2012-11-10

申请人： 华中科技大学

发明人： 陈蓉 ,  何文杰 ,  曹坤 ,  周涛 ,  邓章 ,  单斌

IPC分类号： H01L21/67

摘要： 本实用新型公开了一种可升降加热器，包括传送杆，载物台，加热器和丝杠，加热器和丝杠的顶部固定连接，加热器的顶部设置有斜槽和深槽，载物台用于承载样品，载物台的底部设置有弹性定位销，侧面设置有一对侧面定位销，加热器与载物台是通过弹性定位销与斜槽和深槽的配合实现固定连接，用于为样品提供温度保证，传送杆和载物台固定连接，用于将载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺，加热器和丝杠的顶部是通过滚动轴承或滑动轴承固定连接，丝杠用于通过自身旋转实现加热器的升降，且具有粗调和精调的功能，传送杆前部设置有凹槽结构。本实用新型能够完成半导体加工工艺和测量工艺的操作。

公开(公告)号：CN207396238U

公开(公告)日：2018-05-22

申请号：CN201721525761.4

申请日：2017-11-16

申请人： 华中科技大学

发明人： 陈蓉 ,  邢泽华 ,  单斌 ,  曹坤 ,  李云 ,  刘媛媛 ,  杨惠之

IPC分类号： G01N3/20

摘要： 本实用新型属于薄膜折弯相关领域，并公开了一种用于原子层沉积薄膜疲劳定角弯曲测试机。该测试机包括底板和设置在该底板上的折弯机构、传动机构和驱动机构，折弯机构包括固定连接在底板上第一托架和第二托架，以及相对设置的第一盖板和第二盖板，第一盖板通过薄膜上夹具与第一托架和第二托架连接，第二盖板通过薄膜下夹具与底板连接；传动机构用于连接折弯机构和驱动机构，包括曲柄、连杆和摇杆；驱动机构包括电机和第三托架，电机转动后通过传动机构带动第一盖板翻转，从而实现薄膜的折弯。通过本实用新型，实现对薄膜进行定角度反复弯曲，折弯时不破坏折弯区域，利于后期观察，且结构简单，效率高。