冰粒型固结磨料抛光垫及快速制备方法和装置

    公开(公告)号:CN101774160B

    公开(公告)日:2011-05-11

    申请号:CN201019026124.6

    申请日:2010-03-01

    Abstract: 本发明针对已有冰冻固结磨料抛光垫在制备过程中效率低、均匀性和可靠性差等缺点,提出了一种冰粒型固结磨料抛光垫及其快速制备方法和装置,以适应目前既要保证工件抛光质量又能提高经济效益的要求。本发明首先将磨料均匀分散于去离子水中,制成抛光液,然后利用雾化器将抛光液雾化成均匀微小的液滴,之后快速低温冷却成含有磨料的细小冰粒,再将雾化后的常温去离子水喷洒于冰粒表面,置于模具中,经振动平台震实即可制成冰粒型固结磨料抛光垫。该抛光垫可用于抛光加工各种薄形工件,尤其适于加工热敏性材料、软材料、晶体材料等。具有制造简单、加工成本低、加工效率高、工艺控制能力强、绿色环保等优点。

    超硬压头的制备方法
    82.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101718652B

    公开(公告)日:2011-02-02

    申请号:CN200910234616.4

    申请日:2009-11-25

    Abstract: 一种超硬压头的制备方法,其特征是它包括①基材准备;②刻槽;③模具加工;④模具型腔的预处理;⑤填阻隔物;⑥沉积;⑦脱模和⑧焊接共8个步骤。本发明采用容易加工的材料作为模具,在模具型腔内沉积形状复杂的CVD金刚石,可以避免对CVD金刚石薄膜器件进行成型、研磨和抛光加工。本发明能够实现精度高、形状复杂的CVD金刚石超硬压头冠的直接成型,通过真空钎焊获得CVD金刚石超硬压头器件。方法简单,易于实现,可大大降低超硬压头的制造成本。

    能使加载载荷均匀布置在承载器表面的抛光加载装置

    公开(公告)号:CN101780657A

    公开(公告)日:2010-07-21

    申请号:CN201010132126.6

    申请日:2010-03-25

    Abstract: 一种能使加载载荷均匀布置在承载器表面的抛光加载装置,包括支撑盘(1),其特征是所述的支撑盘(1)相对于承载器的一面上至少安装有三个加载盘(2),所述的加载盘(2)的中心均匀布置在离支撑盘(1)中心距离为(1/(1+sin(π/n)))×R的圆周上,式中n为加载盘(2)的数量,R为承载器的半径;所述加载盘(2)的半径为sin(π/n)d,式中d是加载盘(2)的中心到支撑盘(1)的中心的距离;在所述加载盘(2)与承载器相接触的一面上设有硅橡胶垫(3),在支撑盘(1)的另一面上设有与加载装置相配的凹槽(6)。本发明可以将汽缸压头的集中力载荷转变为均布载荷,在抛光过程中提高材料去除的均匀性,改善工件的平面度值。

    固结磨料研磨抛光垫及其制备方法

    公开(公告)号:CN101428404A

    公开(公告)日:2009-05-13

    申请号:CN200810244096.0

    申请日:2008-12-22

    Abstract: 一种固结磨料研磨抛光垫及其制备方法,它至少有三层组成,自底层往上依次为:弹性层(3)、刚性层(2)及磨料层(1),其特征是所述的磨料层(1)组份及质量百分比如下:粒度在1纳米~40微米之间的磨料1~40%,聚丙烯酸酯类的预聚物20~80%,自由基光引发剂0.05~3%,聚二甲基硅氧烷/丙烯酸聚合物0~2%,性能调节添加剂0~20%,丙烯酸酯化的活性稀释剂5~40%。通过采用图形转移法制备而成,具有研磨抛光性能稳定,抛光效率高,加工后的工件表面质量高等一系列优点。

    冰冻固结磨料抛光温度的控制方法及装置

    公开(公告)号:CN101352836A

    公开(公告)日:2009-01-28

    申请号:CN200810124734.5

    申请日:2008-09-01

    Abstract: 本发明公开了一种冰冻固结磨料抛光温度的控制方法及装置,它利用冻结在冰冻固结磨料抛光垫内部的带有无线电发射模块的温度记录仪对冰冻抛光垫内部的温度进行测量,获取冰冻抛光垫内部的温度,带有温度信号的无线电波被安装在冷风发生器上的无线电接收模块接收,再传送到输出信号处理模块,将温度信号传送到微电脑,进而控制冷风发生器的送风操作。在冷风发生器的上壁处开有出风口,该出风口与抛光机内腔相通,由此就可控制冰冻固结磨料抛光温度。通过智能控制冰冻固结磨料抛光温度,可使冰冻抛光垫的融化速度得到有效的控制,避免磨料的浪费,保证冰冻抛光垫中的固结磨料在抛光加工时间内的有效性,从而降低冰冻抛光垫的制作成本,达到节约能源的目的。

    单晶硅高效复合切割方法及其切割系统

    公开(公告)号:CN101138869A

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200710133581.6

    申请日:2007-10-12

    Abstract: 一种单晶硅高效复合切割方法,其特征将是将待切割的单晶硅棒装夹于电火花线切割机床上,利用固结有金刚石磨料的金属线作为切割线进行电火花线切割,充分发挥电火花线切割加工速度快和固结磨料金属线上的金刚石磨料切割效果好的优点,达到快速高效实现对单晶硅棒进行切割的目的,同时使被切割的单晶硅表面自然形成具有减反射效果的绒面结构。本发明具有方法简单,加工效率高,质量好等一系列优点。

    用于化学机械抛光的分层冷冻磨料抛光垫及其制备方法

    公开(公告)号:CN101130238A

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200710132281.6

    申请日:2007-09-21

    Abstract: 本发明针对传统抛光垫在抛光加工过程中效率低、成本高、均匀性和可靠性差、工艺控制能力不强以及多次装夹工件致使工件的加工定位基准发生改变,从而影响最终的加工精度和效率等缺点,提出了一种用于化学机械抛光的分层冷冻磨料抛光垫及其制备方法,以适应目前抛光精加工的需求。本发明利用液体作为粘结剂,通过分层冷冻分别将去离子水、纳米磨料及微米磨料粘结形成抛光垫,可用于抛光加工各种薄形工件,尤其适于加工热敏性材料、软材料、晶体材料等。本发明具有制造简单、加工成本低、加工效率和加工精度高、工艺控制能力强、绿色环保等优点。

    一种带有蜂窝夹芯结构的旋转流变仪转子组件

    公开(公告)号:CN115372205B

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202210968372.8

    申请日:2022-08-12

    Abstract: 本发明涉及一种带有蜂窝夹芯结构的旋转流变仪转子组件,包括金属材质样品容器和带安装轴的测量转子两个独立元件,二者组成转子组件;其中,样品容器和测量转子具有工作表面,且于整个工作表面设置有阵列排布的微孔,微孔利用高分子聚合物柔性固体材料完全而牢固地填充;样品容器和测量转子配合使用,在工作状态下二者同轴平行放置,待测的黏弹性流体样品放置在样品容器和测量转子之间,并和样品容器、测量转子的工作表面保持接触。该组件与旋转流变仪机器本体配合使用,用于测量黏弹性流体的流变特性,能够解决利用现有金属材质转子组件测量黏弹性流体流变特性时,由于样品在转子组件工作表面打滑从而导致测量结果失真的技术难题。

    一种闭式整体叶盘叶间通道喷砂+磨粒流组合光整加工方法

    公开(公告)号:CN117359506A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311404180.5

    申请日:2023-10-27

    Abstract: 本发明公开了一种闭式整体叶盘叶间通道镜面喷砂+磨粒流组合光整加工方法,包括以下步骤:1)将整体叶盘的叶间通道划分为喷砂区和非喷砂区;2)对非喷砂区作表面防护处理;3)采用手动喷砂工艺对叶间通道喷砂区进行加工,直到表面粗糙度降至工序值;4)清除非喷砂区的表面防护;5)采用磨粒流光整加工工艺对整个叶间通道进行精加工,直到表面粗糙度满足图纸要求。本发明将加工定域性好、加工效率高的喷砂工艺与加工可达性好、加工质量高的磨粒流光整加工工艺相结合,能够取长补短,博采众长,实现闭式整体叶盘叶间通道高均匀性、高效率、低成本光整加工目标。

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