一种光纤F-P腔式压力传感器的温度补偿方法

    公开(公告)号:CN107560780A

    公开(公告)日:2018-01-09

    申请号:CN201710580155.0

    申请日:2017-07-17

    IPC分类号: G01L11/02 G01L19/04

    摘要: 本发明属于微机电系统(MEMS)高温压力传感技术领域,涉及一种光纤F-P腔(法布里-帕罗干涉仪)式压力传感器的温度补偿方法。本发明针对引起光纤F-P腔式的压力传感器测量误差的温度漂变,利用其本身未被利用的结构和测量过程中确实存在但却一直当做干扰处理的信号,通过后续温度补偿算法将测量过程中的温度因素排除,这种温度补偿方法从一定程度上可以达到降低传感器结构复杂度,用最简单、最高效的方法达到温度补偿的目的。

    一种可进行温补的食用菌用差压变送器

    公开(公告)号:CN107462361A

    公开(公告)日:2017-12-12

    申请号:CN201710527548.5

    申请日:2017-06-30

    申请人: 邓克伦

    发明人: 邓克伦

    IPC分类号: G01L13/00 G01L19/04

    CPC分类号: G01L13/00 G01L19/04

    摘要: 本发明公开了一种可进行温补的食用菌用差压变送器,是由引压螺孔、安装法兰、底座、接液盖、螺塞、密封垫、膜片座和引压接头组成,所述的引压螺孔位于底座的底部中心位置,底座的两端通过螺栓与安装法兰连接,接液盖连接底座的右端,螺塞连接底座的右侧,密封垫连接螺塞下方,膜片座连接安装法兰的右侧底部,引压接头连接安装法兰的上方中心位置,所述的底座与安装法兰均为铝合金材质制成,所述的引压接头为螺纹旋塞状。本发明结构简单,使用方便,技术合理。变送器进行了温度补偿,抗干扰强,使用性能稳定,引压接头为螺纹旋塞状,可直接安装在测量管道上。

    一种双面指示压力表
    83.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107436206A

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201710872720.0

    申请日:2017-09-25

    发明人: 李军

    IPC分类号: G01L1/26 G01L19/04

    CPC分类号: G01L1/26 G01L19/04

    摘要: 本发明公开了一种双面指示压力表,包括压力表外壳,所述压力表外壳的外壁固定连接有保温壳,所述保温壳的顶部固定连接有容纳壳,所述容纳壳与保温壳连通,所述压力表外壳的顶部开设有连通口,所述压力表外壳通过连通口与保温壳连通,所述容纳壳的内部设置有进风装置,所述容纳壳的顶部开设有通风孔。该双面指示压力表,通过设置进风装置、电加热丝、处理器、反馈模块一、反馈模块二、对比模块一、对比模块二、温度传感器一和温度传感器二,能够对压力表内部的温度进行检测,并在温度较低时进行加温处理,从而让压力表可以在合适的温度下工作,能够减小压力表检测的误差,使压力表可以精确检测数值,从而便于人们使用。

    一种片内温度补偿石墨烯压力传感器

    公开(公告)号:CN107436205A

    公开(公告)日:2017-12-05

    申请号:CN201710693620.1

    申请日:2017-08-14

    申请人: 中北大学

    摘要: 一种片内温度补偿石墨烯压力传感器,主要结构由力敏薄膜、温敏薄膜、互连电极、基片、密封环、封装外壳、基板、陶瓷基座、引线柱组成。力敏薄膜和温敏薄膜均由复合纳米薄膜、电极组成,布置于基片下侧,处于同一温区,基片上部刻蚀有一个凹型结构,基板在与温敏薄膜相对的位置刻蚀形成一凸台结构,复合纳米薄膜由两层氮化硼与夹在其中的石墨烯组成,基片底部外周侧通过密封环键合在基板上构成无氧真空腔,隔绝了复合纳米薄膜与外界的直接接触,互连电极、引线柱将力敏薄膜和温敏薄膜与外部相连接,传感器可应用于动态、静态测试环境,利用温敏薄膜检测温度干扰信号,补偿力敏薄膜压力测量时产生的温度误差,实现对压力的准确测量。

    一种拱式光纤光栅压力传感器

    公开(公告)号:CN107421666A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201710477547.4

    申请日:2017-06-21

    IPC分类号: G01L1/24 G01L19/04

    CPC分类号: G01L1/246 G01L19/04

    摘要: 本发明为一种拱式光纤光栅压力传感器,属于光纤传感技术领域。该传感器主要通过合理拱轴结构,基于拱梁组合结构的自平衡体系原理,将作用在传感器的竖向压力转化为弹性元件的水平推力,采用铰接形式使得结构在力的传递过程中只受轴力作用,避免受到弯矩和剪力的影响。本发明的拱式光纤光栅压力传感器采用辊轴向外微小滚动来实现压力增敏和精确测量,同时采用温度补偿光纤光栅,对拱式光纤光栅压力传感器进行温度实时补偿。本发明给出拱式光纤光栅压力传感器所受压力和用于测量压力的光纤光栅波长变化的关系式,实现拱式光纤光栅压力传感器对压力的实时监测。

    电容式压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:CN107148563A

    公开(公告)日:2017-09-08

    申请号:CN201580059230.8

    申请日:2015-09-02

    摘要: 本发明涉及一种高精度压力传感器,其具有:第一基体(1),该第一基体(1)具有两个导电层(11、13)和绝缘层(15),该绝缘层(15)被布置在这两个层(11、13)之间并且使所述两个层(11、13)彼此电绝缘;导电测量膜(5),该导电测量膜(5)被布置在第一基体(1)上并且包括压力室(9),该测量膜(5)可以载以要测量的压力(p、Δp);和电极(17),该电极(17)设置在面向膜的层(11)中并且与测量膜(5)间隔开,该电极(17)与测量膜(5)一起形成电容器,该电容器具有根据作用在测量膜(5)上的压力而变化的电容(C1),该基体(1)的特征在于,其具有:测量膜端子(23、23'),经由该测量膜端子(23、23')可以将参考电势(U0)施加到测量膜(5);电极端子(25),电极(17)的电极电势(E1)能够经由该电极端子(25)分接;以及屏蔽端子(27、27'),经由该屏蔽端子(27、27')将可以独立于参考电势(U0)预先确定的屏蔽电势(UE1),特别地,对应于电极电势(E1)的屏蔽电势(UE1),施加到背离膜的层(13)。

    一种集成式MEMS充油压力传感器

    公开(公告)号:CN107144391A

    公开(公告)日:2017-09-08

    申请号:CN201710557211.9

    申请日:2017-07-10

    发明人: 单建利

    IPC分类号: G01L7/18 G01L19/04

    CPC分类号: G01L7/18 G01L19/04

    摘要: 本发明公开了一种集成式MEMS充油压力传感器,包括金属基座,金属基座内设有环形的凸台,所述凸台上安装有双层电路板,双层电路板的上侧面上设有压力芯片和集成电路芯片,双层电路板上设有与所述压力芯片和所述集成电路芯片相连的处理电路,所述压力芯片和所述集成电路芯片通过邦线相连;所述凸台的下侧还固定有与所述双层电路板相连的外设电路板。本发明通过采用双层电路板并在双层电路板上集成压力芯片和集成电路芯片,可通过集成电路芯片实现压力信号的放大或数字化处理,直接输出经放大处理和温漂校正的压力信号,测量精度高;通过将双层电路板和外设电路板分别固定在凸台上下两侧,使得该MEMS充油压力传感器结构紧凑,体积小。

    一种高温压力传感器
    90.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107131997A

    公开(公告)日:2017-09-05

    申请号:CN201710487167.9

    申请日:2017-06-23

    IPC分类号: G01L19/04 G01L19/06 G01L19/08

    摘要: 本发明涉及压力测量技术领域,尤其涉及一种高温压力传感器。本发明提供的高温压力传感器,包括金属基座、压力传递装置和显示及控制装置;金属基座具有一贯穿通道,贯穿通道的一端覆盖有金属膜片,贯穿通道的另一端通过毛细管与压力传递装置连接;金属膜片与贯穿通道之间、贯穿通道内及毛细管内均填充有低熔点合金;毛细管上设有加热装置,加热装置及压力传递装置分别与显示及控制装置连接。本发明采用低熔点合金作为高温压力传感器的填充工质,并与设于毛细管上的加热装置配合使用,有效解决普通充油压力传感器不能在高温环境下工作的现状,在结构上采用远传差压变送结构,能够很好解决高温环境下压力的测量问题;结构简单,压力测量精度高。