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公开(公告)号：CN107924047A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680050985.6
申请日：2016-06-23
申请人： 株式会社目白67
发明人： 上原诚
摘要： 本发明解决在椭圆偏振计等观察装置中，由等倍反射式成像光学系统成像的像的像差变大的问题。椭圆偏振计(100)具备成像光学系统(30)，该成像光学系统(30)用于使来自物体表面(S)的反射光的光束成像于受光面(40)。成像光学系统(30)包括凹面主镜(32)、凸面副镜(34)以及抽出式平面镜(36)。成像光学系统(30)由等倍反射式成像光学系统构成，该等倍反射式成像光学系统能够使来自物体表面(S)的反射光的光束按照凹面主镜(32)、凸面副镜(34)、凹面主镜(32)的顺序反射之后，经由抽出式平面镜(36)而成像于受光面(40)。凸面副镜(34)为背面镜。
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公开(公告)号：CN107209354A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580075384.6
申请日：2015-07-17
申请人： 株式会社目白67
发明人： 上原诚
CPC分类号： G02B17/08 , G01B11/026 , G02B17/008 , G02B17/0615 , G02B21/00 , G02B21/0016 , G02B21/04
摘要： 本发明提供的观察装置，能够以10微米以下的分辨率并且超过45度的较大倾斜角来观察例如24.6×24.6mm左右的物体面。观察装置(10)具备感光面(20)和使来自物体面S的光在感光面(20)成像的成像光学系统(30)。成像光学系统(30)包括凹面主镜(32)、副镜(34)以及引出平面镜(36)。来自物体面(S)的光的光束按照凹面主镜(32)、凸面副镜(34)、凹面主镜(32)的顺序反射后，经由引出平面镜(36)而在感光面(20)成像。观察装置(10)具备：第一倾转单元，其能够使从物体面(S)朝向凹面主镜(32)的光的光轴(L1)与物体面(S)的垂线(N1)所成的角度(α)变化；第二倾转单元，其能够使从引出平面镜(36)朝向感光面(20)的光的光轴(L2)与感光面(20)的垂线(N2)所成的角度(β)变化。
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公开(公告)号：CN118265938A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202380014602.X
申请日：2023-01-23
申请人： 株式会社目白67
发明人： 上原诚
摘要： 本发明提供一种成像透镜，所述成像透镜由隔着光阑而在前后具有多个透镜的前组成像透镜和凸凹伽利略系统构成，所述凸凹伽利略系统由前组侧的凸透镜和成像面侧的凹透镜构成，在所述成像透镜中，通过将所述凸凹伽利略系统固定在成像面的附近，并送出所述前组成像透镜来进行对焦，其中，伽利略系统的成像面侧的端部的透镜的成像面侧的面为平面，该平面与图像传感器的成像透镜侧的端部的面相接，或者，所述前组成像透镜采用4组6片的高斯型或4组7片的苏密塔型或将苏密塔型的最前方的双合透镜分离而成为5组7片的变形苏密塔型。
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公开(公告)号：CN118265939A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202380014603.4
申请日：2023-05-18
申请人： 株式会社目白67
摘要： 本发明涉及一种成像透镜，其由能根据物体距离而沿光轴方向移动的具有正折射力的对焦透镜组和固定在成像面附近的具有负折射力的固定透镜组构成，所述对焦透镜组由隔着光阑而配置的两个正透镜组构成，所述对焦透镜组从物体侧起依次具有：以2组3片构成的前组，由单透镜和双合透镜构成，具有正的光焦度；光阑；以及以2组3片构成的后组，由双合透镜和单透镜构成，具有正的光焦度，所述对焦透镜组的最靠物体侧的透镜为在物体侧为凸、在像侧为凹的弯月透镜，折射力在整个系统中最弱，隔着光阑的所述前组的焦距f1与所述后组的焦距f2的关系满足0.9＜f1/f2＜1.3的条件式。
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公开(公告)号：CN109597191A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201811122124.1
申请日：2018-09-26
申请人： 株式会社目白67
发明人： 上原诚
摘要： 本发明的主题在于提供一种能够高速地检查物体表面的三维形状的检查装置。本发明提供的检查装置10具备：线图像传感器20，接收来自物体表面S的光；以及等倍反射型成像光学系统30，使来自物体表面S的光在线图像传感器20上成像。等倍反射型成像光学系统30包含凹面主镜32、凸面副镜34、以及提取平面镜36。来自物体表面S的光束按照凹面主镜32、凸面副镜34、凹面主镜32的顺序被反射后，经由提取平面镜36在线图像传感器20成像。
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公开(公告)号：CN108431562A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201680075955.0
申请日：2016-11-30
申请人： 株式会社目白67
发明人： 上原诚
摘要： 本发明提供一种椭偏仪，目的是在用于使来自物体面的反射光成像的成像光学系统中使用等倍反射型成像光学系统的椭偏仪中，改善椭偏仪的性能。椭偏仪(100)具备用于使来自物体表面的反射光的光束在受光面成像的成像光学系统(30)。成像光学系统(30)由包含凹面主镜(32)和凸面副镜(34)在内的等倍反射型成像光学系统构成。来自物体表面的反射光的光束按照凹面主镜(32)、凸面副镜(34)、凹面主镜(32)的顺序反射后在受光面(40)成像。等倍反射型成像光学系统包含第一检偏镜(50)和第二检偏镜(52)。第一检偏镜(50)和第二检偏镜(52)由在X轴方向和Y轴方向具有相同折射率的偏振光元件构成。
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