公开(公告)号：CN109791896A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780061450.3

申请日：2017-08-23

申请人： 科磊股份有限公司

发明人： V·音麦 ,  T·马西安诺 ,  E·拉维特

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/67

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01J3/453 ,  G01N21/31 ,  G01N21/55 ,  G01N21/956 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/06 ,  G02B21/082 ,  G02B21/18 ,  G02B21/365 ,  G03F7/70633 ,  H01L21/67259 ,  H01L22/12

摘要： 本发明揭示一种用于在校准、叠对及配方创建期间通过白光照射的干涉光谱学而加快半导体装置制作期间的计量活动中的光谱测量的装置及方法。

公开(公告)号：CN108700752A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780014590.5

申请日：2017-02-17

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： K.福克特

IPC分类号： G02B27/12 ,  G02B21/16 ,  G02B21/00 ,  G02B5/30 ,  G03F7/00

CPC分类号： G02B27/12 ,  G02B5/3066 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/16 ,  G02B27/126 ,  G03F1/84 ,  G03F7/7065

摘要： 本发明涉及一种光学系统，特别是显微术的光学系统，具有分束器(100、200、300、400、500、600、700、800、900)，该分束器具有光入射表面和光出射表面，其中对于光学系统的预定工作波段，该分束器将入射在光入射表面上的少于20％的电磁辐射吸收；并且该分束器布置在光学系统中，使得当操作光学系统时，相对于相应表面法线且在光入射表面处和/或光出射表面上入射的入射角至少为70°。

公开(公告)号：CN107278280A

公开(公告)日：2017-10-20

申请号：CN201680011939.5

申请日：2016-02-24

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： K·范贝尔克 ,  D·阿克布卢特 ,  J·J·M·范德维基德翁 ,  F·泽普

IPC分类号： G03F7/20

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G01N21/956 ,  G02B21/0016 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/70633 ,  G03F9/7019

摘要： 公开了一种用于部件相对于表面的位置控制的方法和设备。所述方法可以包括：计算作用在所述部件和所述表面之间的卡西米尔力的估计效应或由作用在所述部件和所述表面之间的卡西米尔力导出的估计效应；和使用所述估计效应补偿所述部件相对于所述表面的定位。

公开(公告)号：CN102662229B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201110362119.X

申请日：2011-11-15

申请人： 徕卡显微系统(瑞士)股份公司

发明人： R·祖斯特 ,  R·鲁特曼 ,  H·史尼兹勒 ,  R·莱特

IPC分类号： G02B21/36 ,  G06F3/041

CPC分类号： G02B21/24 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/368 ,  G16H40/63

摘要： 本发明涉及一种显微镜(100)，其包括适于光学地和数字地成像物体以生成物体图像的图像采集系统(110)，并进一步地包括适于在显示区域(151)显示物体图像并在显示区域(151)感应输入的触摸屏(150)，该显微镜(100)适于基于触摸屏(150)的显示区域(151)上感应的输入允许在显微镜(100)上改变机动的和/或电气可控的显微镜元件(110，112，71，114，115，120，121，160)的设置。

公开(公告)号：CN105358971A

公开(公告)日：2016-02-24

申请号：CN201480037716.7

申请日：2014-07-01

申请人： 莱卡微系统CMS有限责任公司

发明人： 福尔克·施劳德拉夫

IPC分类号： G01N27/447 ,  G01N1/28 ,  G02B21/32 ,  B01L3/00

CPC分类号： G01N27/44721 ,  C12N15/1003 ,  G01N1/2813 ,  G01N1/286 ,  G01N27/44743 ,  G01N27/44782 ,  G01N2001/284 ,  G01N2001/2886 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/0028 ,  G02B21/0048 ,  G02B21/18 ,  G02B21/26 ,  G02B21/32

摘要： 本发明提出一种带有显微镜(10)的激光显微切割系统(100)，该显微镜具有反射光机构(76)、显微镜物镜(41)和激光器单元(70)，其中，激光器单元(70)的激光束的光路(b)穿过反射光机构(76)和显微镜物镜(41)，并在可调节的相交点与显微镜物镜(41)的载物面(15)相交。在载物面(15)的下面附接着或者通过耦接件(35)附接带有电泳凝胶(91)的电泳单元(90)，其中，电泳凝胶(91)具有至少一个凝胶袋槽(92)，激光显微切割系统(100)包括定位件(96)，用于使得电泳凝胶(91)平行于载物面(15)且相对于限定的参考位置定位，从而能把能够设置在载物面(15)中的样本(51)的、通过激光器单元(70)的激光束得到的切片(99)收集在至少一个凝胶袋槽(92)中。相应的电泳单元(90)和检查方法也是本发明的主题。

公开(公告)号：CN105026977A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201480012527.4

申请日：2014-03-06

申请人： 索尼公司

发明人： 大岛拓哉

IPC分类号： G02B7/28 ,  G02B7/34 ,  G02B7/36 ,  G02B21/24 ,  G02B21/36 ,  G03B13/36 ,  H04N5/232

CPC分类号： G02B21/367 ,  G02B7/34 ,  G02B7/36 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/14 ,  G02B21/18 ,  G02B21/244 ,  G02B21/245 ,  G03B13/36 ,  G06T3/40 ,  H04N5/23212 ,  H04N5/2354

摘要： 一种信息处理装置，设置有：搜索图像获取单元，在彼此不同的焦点位置处获取放大图像；第一特征量计算单元，基于每个块的像素值的直流分量和交流分量的动态范围针对拍摄的多个放大图像中的每个放大图像获得第一特征量，其中，块形成放大图像；和对焦位置确定单元，基于第一特征量确定所述放大图像的对焦位置。

公开(公告)号：CN104952679A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510132049.7

申请日：2015-03-25

申请人： FEI公司

发明人： P.波托塞克 ,  C.S.库伊曼 ,  H.N.斯林格兰德 ,  G.N.A.范维恩 ,  F.博霍贝 ,  J.S.发伯 ,  A.A.S.斯鲁特曼

IPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/30 ,  G01N23/22 ,  G01N21/63

CPC分类号： H01J37/261 ,  G01N21/6458 ,  G01N23/225 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/427 ,  G02B21/0016 ,  H01J37/06 ,  H01J37/1472 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2447 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2602

摘要： 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。

公开(公告)号：CN104765173A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201510212374.4

申请日：2015-04-29

申请人： 京东方科技集团股份有限公司 ,  鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司

发明人： 王志强 ,  张普国 ,  杨立涛 ,  任艳伟 ,  张琨鹏

IPC分类号： G02F1/13

CPC分类号： G06T7/0004 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/0092 ,  G02B21/24 ,  G02B21/365 ,  G02F1/1309 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/30121 ,  G06T2207/30242 ,  H04N5/2354 ,  H04N5/247

摘要： 本发明提供一种检测装置及其检测方法。该检测装置用于检测显示基板上的不良，包括检测单元和控制单元，检测单元用于查找显示基板上的不良，对不良所在区域进行拍照，并将照片发送至控制单元；控制单元用于辅助检测单元查找显示基板上的不良，并对不良所在区域的照片进行分类统计。该检测装置通过设置检测单元和控制单元，使该检测装置能够实现对显示基板上不良的自动查找和分析，从而缩短了显示基板上不良的分析时间，提高了不良的分析效率；同时，与现有技术相比，该检测装置对不良的查找设备和分析设备进行了优化整合，从而使该检测装置的各部分维护起来更加方便快捷，进而提高了不良检测的效率和质量。

公开(公告)号：CN103858426A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201180036105.7

申请日：2011-07-14

申请人： 泽伊塔仪器科技(上海)有限公司

发明人： 侯震 ,  J·J·徐 ,  K·K·李 ,  J·N·斯坦顿 ,  H·P·源 ,  R·库迪纳 ,  R·索塔曼

IPC分类号： H04N13/02 ,  H04N7/18

CPC分类号： G02B21/006 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/956 ,  G01N2021/0168 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/0028 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/367 ,  G06T7/60 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/10152 ,  G06T2207/20068 ,  G06T2207/30148

摘要： 用于图形化基板测量的三维（3D）显微镜可包括物镜、反射照明器、透射照明器、调焦设备、光学传感器、以及处理器。调焦设备可分多个Z步进对物镜自动调焦。光学传感器能够在这些Z步进中的每一步进采集图像。处理器可控制反射照明器、透射照明器、调焦设备、以及光学传感器。处理器可被配置成在多个Z步进采集第一和第二图像，该第一图像具有使用反射照明器的图案而该第二图像不具有使用反射照明器和透射照明器之一的图案。

公开(公告)号：CN102439395B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201080022193.0

申请日：2010-05-20

申请人： 株式会社尼康

发明人： 西川孝

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01B9/04 ,  G02B21/0016 ,  G02B21/367

摘要： 提供一种能以高解像力测定被测定物的表面形状的构成的形状测定装置、观察装置及影像处理方法。该形状测定装置，具备：高速影像处理器(34)，是从多个影像中抽出一个对象影像与除了对象影像以外的至少一个参考影像，并使数字运算(OP1)作用于对象影像与参考影像，就抽出的对象影像与参考影像的各组以对象影像的像素单位算出局部聚焦度；以及控制用电脑(35)，是根据以像素单位算出的多个局部聚焦度中依各像素为最大的相对移动位置，求出被测定物的表面高度，数字运算(OP1)，具有在算出局部聚焦度后，对对象影像的瞩目像素的像素值与参考影像中存在于与瞩目像素不同像素位置的相邻像素的像素值赋予权重的系数；局部聚焦度，是通过数字运算(OP1)而产生的瞩目像素的像素值与相邻像素的像素值的微分值。