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公开(公告)号：CN118617727A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410685212.1
申请日：2024-05-30
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
发明人： 丁天祥
摘要： 本发明公开了一种镜片传输用覆膜装置，属于镜片覆膜技术领域。主要包括底座，所述底座的上侧设置有移动板，所述移动板上设置有移动台，所述移动台适于在移动板的两端之间移动，所述移动台上设置有镜片夹具，所述镜片夹具包括支撑框，所述支撑框两端的两侧均固定有卡轴，所述移动台上表面两端和中间的两侧均设置有卡块，所述卡块的上侧设置有与卡轴对应的卡槽，所述卡槽由弹性材料制成，所述移动板的两侧均固定有支撑板，所述支撑板的两端固定有导向板，所述导向板靠近移动板中间的一侧设置有导向槽。本申请的一种镜片传输用覆膜装置达到自动翻面的效果。
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公开(公告)号：CN102288119B
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201110175124.X
申请日：2011-06-27
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
发明人： 李正贤
摘要： 本发明为一种自动检测基片平整度和厚度并对基片进行分选的装置。它包括底座、工作台、承片台、片盒机构、机械手、计算机控制系统、激光扫描仪、基片分选盒，所述机械手由上片臂和下片臂构成；所述计算机控制系统控制机械手的上片臂吸附片盒机构中的基片并将基片移动至承片台上；计算机控制系统控制激光扫描仪对置于承片台上的基片进行扫描，并根据扫描所得的基片数据对基片数据分类；扫描完毕后，计算机控制系统根据数据分类控制机械手的下片臂的运动方向和角度，使下片臂吸附承片台上的基片并将基片移动放入相应的基片分选盒中。本发明的优点是：实时在线检测基片参数，并根据检测结果对基片进行分选、归类，提升产品的整体价值，降低生产成本。
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公开(公告)号：CN118637337A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410790258.X
申请日：2024-06-19
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
发明人： 丁天祥
摘要： 本发明公开了旋转式多片盒传输系统，属于基片加工技术领域。主要包括旋转台，所述旋转台适于在外部驱动下转动，所述旋转台的周向分布有若干容纳槽，所述容纳槽内设置有升降块，所述升降块适于在容纳槽内上下移动，所述升降块远离旋转台的一侧均固定有支撑架，所述支撑架的上侧均固定有支撑导轨，所述容纳槽的一侧均设置有支撑台，所述支撑台的底部固定有与支撑导轨位置对应的支撑滑块，所述支撑导轨与支撑滑块滑动连接，所述支撑台适于沿着支撑导轨移动。本申请的旋转式多片盒传输系统避免周围设备相互挤压损坏的问题。
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公开(公告)号：CN118419518A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410510816.2
申请日：2024-04-26
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
发明人： 丁天祥
摘要： 本发明公开了一种具有定位检测功能的基片检测设备，属于基片加工技术领域。主要包括底座，底座的内部安装有驱动器，驱动器的输出轴固定有旋转台，旋转台上端的四周分布有若干基片盒，旋转台上设置有与基片盒位置对应的卡槽，卡槽上端的两侧固定有导向板，两个导向板相对的一侧均设置有定向槽，卡槽靠近旋转台中心一端的上侧固定有挡板，卡槽靠近旋转台中心一端的上侧和卡槽远离旋转台中心一端的下侧之间连接有导向轴，导向轴上滑动连接有夹块，夹块靠近旋转台的一侧固定有弹性块，基片盒的底部固定有安装块，安装块的两侧均固定有与定向槽适配的导向块。本申请的一种具有定位检测功能的基片检测设备达到减少人员接触的效果。
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公开(公告)号：CN108520861A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810565581.1
申请日：2018-06-04
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，属于锁紧机构技术领域。包括：固定底座；升降机构，升降机构布置在固定底座的上端；步进马达机构，步进马达机构布置在升降机构的上端；旋转机构，旋转机构布置在步进马达机构的上端面；定位装置，定位装置布置在旋转机构的左右两侧，定位装置的下方设置有滑动轨道，步进马达机构套设在滑动轨道，步进马达机构能沿滑动轨道的长度方向移动；真空吸嘴机构，真空吸嘴机构布置在旋转机构的上端面；切边检测激光传感器，切边检测激光传感器布置在定位装置与旋转机构之间的间隙内。本发明提供的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，避免对检测材料的损伤，保证检测的稳定性。
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公开(公告)号：CN103367222B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201210102311.X
申请日：2012-04-10
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/66
摘要： 本发明一种多片盒升降系统，其特征在于，包括：旋转机构，所述旋转机构由旋转驱动装置驱动；若干升降机构，环绕固定在所述旋转机构的外缘；其中，每一个升降机构底部设置有升降驱动装置，所述升降驱动装置顶部连接有片盒。本发明的多片盒升降系统，将多个片盒升降机均匀分布在旋转机构上，而旋转机构由DDR马达来驱动，能够保证定位的高精度和稳定。由运动控制器独立控制，能实时完成上下片过程。满足了设备对多片盒的要求。同时提供的高精度，能充分满足设备需求。
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公开(公告)号：CN117075445A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311150585.0
申请日：2023-09-07
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明提出一种激光直写多光束系统及光刻机，该多光束系统采用入射分光镜将激光发生器发出的光束经过透射和反射作用分离形成第一光束和第二光束，并采用沿X方向延伸的分光栅缝将第一光束分离形成多道X向光束，采用沿Y方向延伸的分光栅缝将第二光束分离形成多道Y向光束，并分别采用声光偏转器、声光调制器及光束调焦器对X向光束及Y向光束进行调节，最后通过光学倍镜对X向光束及Y向光束进行倍比调整，形成X向线性光斑或Y向线性光斑，使用过程中可根据需要形成可单独使用的X向线性光斑或Y向线性光斑，还可通过第一分光板及第二分光板控制X向光束及Y向光束的数量，以适应各种生产场景，提高曝光效率。
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公开(公告)号：CN103367222A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201210102311.X
申请日：2012-04-10
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/66
摘要： 本发明一种多片盒升降系统，其特征在于，包括：旋转机构，所述旋转机构由旋转驱动装置驱动；若干升降机构，环绕固定在所述旋转机构的外缘；其中，每一个升降机构底部设置有升降驱动装置，所述升降驱动装置顶部连接有片盒。本发明的多片盒升降系统，将多个片盒升降机均匀分布在旋转机构上，而旋转机构由DDR马达来驱动，能够保证定位的高精度和稳定。由运动控制器独立控制，能实时完成上下片过程。满足了设备对多片盒的要求。同时提供的高精度，能充分满足设备需求。
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公开(公告)号：CN102288138A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110175122.0
申请日：2011-06-27
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
发明人： 李正贤
摘要： 本发明为一种半导体基片自动测试设备，包括主控计算机、伺服驱动系统、机械手、X向工作台、Y向工作台、测试头和信号处理系统，其特征在于：还包括人机交互软件模块、运动控制模块和数据处理模块，各模块之间紧密关联，相互进行数据交换和共享；所述的人机交互软件模块主要实现参数的输入、报警信息的提示；所述的运动控制模块对设备设有的10个马达通过运功控制板卡进行相应的控制，协调各马达的稳定运行，并带有自诊断功能，将出现的异常情况数据实时传输至主屏幕显示；所述的数据处理模块处理激光干涉仪采集的大量数据，并实时传输至主屏幕显示给用户。本发明有效实现了半导体基片生产过程中的机械化和自动化测量。
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公开(公告)号：CN102288119A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110175124.X
申请日：2011-06-27
申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司
发明人： 李正贤
摘要： 本发明为一种自动检测基片平整度和厚度并对基片进行分选的装置。它包括底座、工作台、承片台、片盒机构、机械手、计算机控制系统、激光扫描仪、基片分选盒，所述机械手由上片臂和下片臂构成；所述计算机控制系统控制机械手的上片臂吸附片盒机构中的基片并将基片移动至承片台上；计算机控制系统控制激光扫描仪对置于承片台上的基片进行扫描，并根据扫描所得的基片数据对基片数据分类；扫描完毕后，计算机控制系统根据数据分类控制机械手的下片臂的运动方向和角度，使下片臂吸附承片台上的基片并将基片移动放入相应的基片分选盒中。本发明的优点是：实时在线检测基片参数，并根据检测结果对基片进行分选、归类，提升产品的整体价值，降低生产成本。
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