公开(公告)号：CN108520861A

公开(公告)日：2018-09-11

申请号：CN201810565581.1

申请日：2018-06-04

申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司

发明人： 刘志强 ,  夏伟 ,  陈再红 ,  李正贤 ,  丁天祥

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/66

摘要： 本发明公开了一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，属于锁紧机构技术领域。包括：固定底座；升降机构，升降机构布置在固定底座的上端；步进马达机构，步进马达机构布置在升降机构的上端；旋转机构，旋转机构布置在步进马达机构的上端面；定位装置，定位装置布置在旋转机构的左右两侧，定位装置的下方设置有滑动轨道，步进马达机构套设在滑动轨道，步进马达机构能沿滑动轨道的长度方向移动；真空吸嘴机构，真空吸嘴机构布置在旋转机构的上端面；切边检测激光传感器，切边检测激光传感器布置在定位装置与旋转机构之间的间隙内。本发明提供的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，避免对检测材料的损伤，保证检测的稳定性。

公开(公告)号：CN208189547U

公开(公告)日：2018-12-04

申请号：CN201820855940.2

申请日：2018-06-04

申请人： 上海卓晶半导体科技有限公司

发明人： 刘志强 ,  夏伟 ,  陈再红 ,  李正贤 ,  丁天祥

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/66

摘要： 本实用新型公开了一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，属于锁紧机构技术领域。包括：固定底座；升降机构，升降机构布置在固定底座的上端；步进马达机构，步进马达机构布置在升降机构的上端；旋转机构，旋转机构布置在步进马达机构的上端面；定位装置，定位装置布置在旋转机构的左右两侧，定位装置的下方设置有滑动轨道，步进马达机构套设在滑动轨道，步进马达机构能沿滑动轨道的长度方向移动；真空吸嘴机构，真空吸嘴机构布置在旋转机构的上端面；切边检测激光传感器，切边检测激光传感器布置在定位装置与旋转机构之间的间隙内。本实用新型提供的一种晶圆及蓝宝石基片切边检测装置，避免对检测材料的损伤，保证检测的稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利