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公开(公告)号：CN118651769A
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN202410783624.9
申请日：2024-06-18
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
摘要： 本发明属于行吊起重机技术领域，具体公开了一种可升降多行程行吊，包括方管支撑柱、嵌套方管、端梁、主梁、副梁、X向滑轮驱动机构、第一Y向滑轮驱动机构以及第二Y向滑轮驱动机构，所述嵌套方管套设在方管支撑柱上方；端梁固定在嵌套方管的顶端，X向滑轮驱动机构设置在端梁内侧，主梁设在X向滑轮驱动机构上，并且主梁与端梁相互垂直，第一Y向滑轮驱动机构设在主梁上，副梁设置在第一Y向滑轮驱动机构上，副梁与主梁相互平行，第二Y向滑轮驱动机构设置在副梁上；通过X向滑轮驱动机构可以对主梁以及副梁的X方向进行调节，设置第一Y向滑轮驱动机构和第二Y向滑轮驱动机构可以实现两段Y方向调节，提高调节的范围。
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公开(公告)号：CN118438392A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410714846.5
申请日：2024-06-04
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
摘要： 本发明属于半导体真空检测设备技术领域，具体公开了一种束镜盖板调试安装工装，包括焊接机架组件、盖板安装盘组件、盲板安装盘组件、减速机组件和翻转组件；焊接机架组件包括连接限位板、焊接支撑架以及固定在焊接支撑架下方的底板连接块；盲板安装盘组件包括盲板安装盘主体；翻转组件包括固定在焊接支撑架上的第一连接盘和第二连接盘，第一连接盘和第二连接盘上均设有轴承基座，轴承基座上设有锁紧轴承；盖板安装盘组件包括盖板安装盘主体，盖板安装盘主体侧边通过锁紧轴承与轴承基座转动连接；减速机组件位于第二连接盘侧边，减速机组件包括减速机主体、手轮、联轴器和减速机固定焊接板，减速机主体的输出端通过联轴器与锁紧轴承连接。
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公开(公告)号：CN118336455A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410460582.5
申请日：2024-04-17
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
IPC分类号： H01R13/6581 , H01R13/52
摘要： 本发明属于半导体检测技术领域，具体公开了一种分体式穿腔高压连接器，包括CF标准法兰和高压屏蔽穿腔单元，所述CF标准法兰上开设有多个与高压屏蔽穿腔单元配合的插孔，所述高压屏蔽穿腔单元包括陶瓷柱和高压线缆插头，陶瓷柱端部设置有可伐合金高压导体，可伐合金高压导体端部均开设有配合孔位；高压线缆插头包括金属香蕉头、绝缘管、锁紧接头和高压导线，高压导线包括高压芯线、导线绝缘层和导线屏蔽层，导线绝缘层伸出导线屏蔽层，金属香蕉头端部设置在高压芯线端部，绝缘管位于导线屏蔽层端部并套设在导线绝缘层外侧；多个高压线缆插头分别与多个陶瓷柱大气侧进行连接配合将高压线缆过来的高压信号导入到真空腔体内部。
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公开(公告)号：CN118913425A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411225120.1
申请日：2024-09-03
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 本发明属于光学干涉振动检测技术领域，具体公开了一种光学四细分的扫描式外差干涉振动检测装置，包括激光器、定位小孔、非偏振分光棱镜、二分之一波片、正偏振分光棱镜、第一信号采集系统、第二信号采集系统、第一光路反射系统以及第二光路反射系统；所述激光器射出的激光穿过定位小孔并被非偏振分光棱镜分为检测信号路与参考信号路，参考信号路通过第一信号采集系统转换为电信号后被数据采集卡采集；信号光路被正偏振分光棱镜分为光路一和光路二，光路一通过第一光路反射系统反射至第二信号采集系统，光路二通过第二光路反射系统反射至第二信号采集系统；第二信号采集系统通过将光路一与光路二转换为电信号后被所述数据采集卡采集。
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公开(公告)号：CN221884179U
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202323118654.8
申请日：2023-11-20
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
发明人： 周文龙
IPC分类号： G05D23/20
摘要： 本实用新型属于多区域精确控温设备技术领域，具体公开了一种多区控温装置，包括框架、铜均温板、铜软连接件、半导体制冷器、温控装置、继电器和电源模块，所述框架内部设有芯片发热区，铜均温板、半导体制冷器和水冷板均设置在芯片发热区侧边，铜均温板通过铜软连接件与半导体制冷器连接；所述温控装置包括传感器、比较器、控制器、执行器，铜均温板通过铜软连接件与传感器连接，传感器、比较器、控制器、执行器依次电性连接，继电器分别与执行器、电源模块、半导体制冷器之间采用电性连接；通过传感器测量温度，并将其转换为电信号，利用比较器产生误差信号，然后利用控制器接收误差信号，并计算出控制信号，然后通过执行器控制继电器工作占空比。
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公开(公告)号：CN221708653U
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202420214781.3
申请日：2024-01-29
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
摘要： 本实用新型属于电子束电镜技术领域，具体公开了位移台穿腔调节机构，包括下腔体、支撑框架、底框、支撑柱和固定板，所述下腔体内侧设置有位移安装台，下腔体与支撑框架之间设置有穿腔波纹管，底框上方侧边的位置均匀设置有四个支撑柱和一个固定板，并且支撑框架底部均匀设置有多个气囊减振器，气囊减振器下方固定有气浮搬运器；四个支撑柱上分别设有第一限位点、第二限位点、第三限位点和第四限位点，固定板上设有第五限位点和第六限位点，固定板上以及两个第一支撑块上均螺纹连接有球头螺栓，其中固定板上设置有两个球头螺栓与第五限位点和第六限位点对应，通过调节球头螺栓的高度以及限位点垫片厚度来调节支撑框架的六自由度，通过气囊的Z向气浮力提供足够的刚度。
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公开(公告)号：CN220604609U
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202322289368.1
申请日：2023-08-24
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
摘要： 本实用新型涉及调节装置技术领域，公开一种电子束电镜中的XY方向微动调节装置，微动调节装置包括转动块一、转动块二和调节组件，转动块二转动设于转动块一上，调节组件设置于转动块二的X轴方向和Y轴方向，调节组件包括旋转杆和螺孔结构，旋转杆包括螺距不同的螺纹杆一和螺纹杆二，螺纹杆一固定设置于螺纹杆二的一端，螺孔结构与旋转杆螺纹连接，用于XY方向微动调节。本实用新型微动调节装置，其中利用机械机构进行调节，调节采用螺纹杆与螺纹孔配合，两个螺纹杆的移动差值进行精密调节，而且调节过程操作简单，通过螺纹杆一与螺纹杆二的螺距不同，转动一圈，利用移动差距顶移柔性块，进行微距调节，提高调节的精度。
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公开(公告)号：CN221614266U
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202323322761.2
申请日：2023-12-06
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
IPC分类号： H01R13/622 , H01R13/639
摘要： 本实用新型属于高压连接器技术领域，具体公开了一种插拔式结构的高压穿腔连接器，包括插座和插头，所述插座包括高压真空绝缘壳体、法兰环、高压穿腔公头、合金高压导体、连接板和固定套，法兰环与合金高压导体分别设置在高压真空绝缘壳体的两端，连接板位于法兰环远离高压真空绝缘壳体的一端，高压穿腔公头设置在连接板上，固定套设置在高压穿腔公头远离连接板的一端；所述插头包括高压大气绝缘壳体、高压穿腔母头、金属高压导体和螺纹套，高压大气绝缘壳体穿过固定套、高压穿腔公头并插设在高压真空绝缘壳体中，高压穿腔母头上设置有螺纹套，螺纹套套设在固定套上并采用螺纹连接，通过将螺纹套从固定套上旋下，即可将插头与插座拆开。
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公开(公告)号：CN221125874U
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202322938207.0
申请日：2023-10-31
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
IPC分类号： H01J37/147
摘要： 本实用新型属于粒子束设备技术领域，具体公开了一种粒子束静电偏转器，包括绝缘底座和极子，所述绝缘底座上方环形阵列分布有多个极子，极子远离绝缘底座的一端开设有凹槽，凹槽中开设有第一螺孔，极子靠近绝缘底座的一端开设有第二螺孔，第二螺孔的侧边开设有定位槽，并且绝缘底座上开设有多个与第二螺孔对应的安装孔，安装孔中设有锁紧螺栓，锁紧螺栓穿过安装孔并螺纹连接在第二螺孔中固定极子；每个极子两侧均设有凸台，并且两侧的凸台上分别设有凸块和沟槽，并且相邻的两个极子上设置的凸块与沟槽合在一起，并且凸块与沟槽之间留有绝缘间隙，极子内侧设有圆弧面，极子外侧设有平直面，通过锁紧螺栓将极子锁紧固定，以便于装配。
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公开(公告)号：CN221069090U
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202323075201.1
申请日：2023-11-14
申请人： 上海大尘微影半导体科技有限公司
摘要： 本实用新型属于运输工装技术领域，具体公开了一种穿腔法兰及配件的运输工装，包括框架主体、保护外壳和垫片，所述框架主体包括上层框架、中层框架和下层框架，保护外壳套设在上层框架上，上层框架的拐角处设有支撑块，下层框架上设有缓冲底板；上层框架上均匀设置有多个安装工位，每个安装工位上均设有垫片，并且安装工位的侧边开设有螺孔，垫片表面开设有多个贯通孔，垫片上方设有法兰，法兰上开设有多个安装孔，安装孔、贯通孔与螺孔相互对齐并通过螺栓固定，从而将法兰固定在框架主体上，并且在运输过程中，由于法兰被固定在框架主体上，可以有效的避免法兰晃动，并且设置的保护外壳可以避免法兰因外界因素造成损坏。
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