通过大气辉光放电产生屏蔽涂层

    公开(公告)号:CN1679142A

    公开(公告)日:2005-10-05

    申请号:CN03820456.8

    申请日:2003-08-22

    IPC分类号: H01L21/20

    CPC分类号: C23C16/509

    摘要: 在处理空间(58)中通过常压扩散等离子气体产生等离子体以及将其用于分别用绝缘材料制备的两个金属电极(54,56)形成的电场,蒸气前体(52)与等离子体混合,以及通过在等离子体磁场中常压下将汽化物质汽相沉积涂层在基质材料(14)上。应用汽化的硅-材料、氟-材料、氯-材料以及有机金属复合物材料使得制备具有改良特性的涂层基质成为可能,所述的改良特性为水分-屏蔽,氧-屏蔽,硬度,耐刮擦-和耐磨性,耐化学性,低-摩擦,疏水性和/或或疏油性,亲水性,杀生物剂和/或抗菌剂,以及耗散静电/导电的特性。

    通过大气辉光放电产生屏蔽涂层的方法

    公开(公告)号:CN100380590C

    公开(公告)日:2008-04-09

    申请号:CN03820456.8

    申请日:2003-08-22

    IPC分类号: H01L21/20

    CPC分类号: C23C16/509

    摘要: 在处理空间(58)中通过常压扩散等离子气体产生等离子体以及将其用于分别用绝缘材料制备的两个金属电极(54,56)形成的电场,蒸气前体(52)与等离子体混合,以及通过在等离子体磁场中常压下将汽化物质汽相沉积涂层在基质材料(14)上。应用汽化的硅-材料、氟-材料、氯-材料以及有机金属复合物材料使得制备具有改良特性的涂层基质成为可能,所述的改良特性为水分-屏蔽,氧-屏蔽,硬度,耐刮擦-和耐磨性,耐化学性,低-摩擦,疏水性和/或或疏油性,亲水性,杀生物剂和/或抗菌剂,以及耗散静电/导电的特性。