公开(公告)号：CN100413036C

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN03121837.7

申请日：2003-04-21

Applicant: 佳能安内华株式会社 ,  三菱电机株式会社

Inventor： 森崎仁史 ,  神谷保志 ,  野村秀二 ,  户塚正裕 ,  奥友希 ,  服部亮

IPC: H01L21/318

CPC classification number: C23C16/4411 ,  C23C16/345 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能以很好的再现性堆积成所需膜质的氮化硅膜的薄膜制作装置及其制作方法。它是在连接有排气系统和气体供给系统的真空容器内，配置发热体和基板，维持该发热体在预定温度，分解或活化由上述气体供给系统供给的原料气体，使氮化硅薄膜堆积在基板表面的化学蒸镀装置和蒸镀方法，其特征是：在上述真空容器内部，配置用以包围上述发热体和基板的内壁，形成成膜空间，设置将原料气体输入上述成膜空间的气体输入手段，同时，设置上述内壁的加热手段和/或冷却手段，形成将该内壁的温度控制在预定值的结构。

公开(公告)号：CN100401173C

公开(公告)日：2008-07-09

申请号：CN200510136942.3

申请日：2005-12-15

Applicant: 佳能安内华株式会社

Inventor： 佐佐木直记 ,  土井嘉幸 ,  青山聪

IPC: G02F1/1341 ,  G02F1/1333

Abstract: 液晶皿(10)具有储存液晶(20)的槽部(10D)，当将槽部的液晶注入到液晶显示面板内部时，避免脱泡工序中的液体断裂状态，从而可以提高昂贵的液晶材料的利用效率。对形成沟槽的内面的侧面和底面实施处理，形成亲水性得到了提高的疏水性减小部位(11)。其结果是，沟槽内部的液晶的流动性变得平滑且由于液晶内部的气泡所产生的空间的形成得到了抑制。在液晶皿的上表面上，上面(10U)整面覆盖槽部的上端缘(10E)而由疏水性材料形成，不是疏水性减小部位。因此，当在液晶皿中储存液晶时，液晶能够从液晶皿的上表面充分地堆积起来。

公开(公告)号：CN1797135A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN200510136942.3

申请日：2005-12-15

Applicant: 佳能安内华株式会社

Inventor： 佐佐木直记 ,  土井嘉幸 ,  青山聪

IPC: G02F1/1341 ,  G02F1/1333

Abstract: 液晶皿(10)具有储存液晶(20)的槽部(10D)，当将槽部的液晶注入到液晶显示面板内部时，避免脱泡工序中的液体断裂状态，从而可以提高昂贵的液晶材料的利用效率。对形成沟槽的内面的侧面和底面实施处理，形成亲水性得到了提高的疏水性减小部位(11)。其结果是，沟槽内部的液晶的流动性变得平滑且由于液晶内部的气泡所产生的空间的形成得到了抑制。在液晶皿的上表面上，上面(10U)整面覆盖槽部的上端缘(10E)而由疏水性材料形成，不是疏水性减小部位。因此，当在液晶皿中储存液晶时，液晶能够从液晶皿的上表面充分地堆积起来。

公开(公告)号：CN1676445B

公开(公告)日：2011-06-08

申请号：CN200510059852.9

申请日：2005-03-31

Applicant: 佳能安内华株式会社

Inventor： 梶原雄二 ,  冈本直之

IPC: B65G49/06 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明的目的在于提供一种基板搬送装置， 该基板搬送装置由安装有基板托盘的承载器，承载器搬送机构，与以非接触方式对承载器的顶部进行导向的承载器导向机构构成，其特征在于该导向机构由第一排磁铁和第二排磁铁构成，该第一排磁铁沿搬送通路而安装于上述承载器的顶部，该第二排磁铁在第一排磁铁的上方或下方，沿搬送通路而安装于真空室中。另外的特征在于按照下述方式设置磁铁，该方式为：沿与搬送方向相垂直的方向，以规定间距间隔开地设置多排的第一排磁铁和第二排磁铁，在面对的磁铁排之间，作用有吸力，在相邻的磁铁排之间，作用有排斥力。通过本发明可抑制基板托盘的摆动，进而抑制灰尘的产生，可实现稳定的高速搬送。