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公开(公告)号：CN1676445B
公开(公告)日：2011-06-08
申请号：CN200510059852.9
申请日：2005-03-31
Applicant: 佳能安内华株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种基板搬送装置， 该基板搬送装置由安装有基板托盘的承载器，承载器搬送机构，与以非接触方式对承载器的顶部进行导向的承载器导向机构构成，其特征在于该导向机构由第一排磁铁和第二排磁铁构成，该第一排磁铁沿搬送通路而安装于上述承载器的顶部，该第二排磁铁在第一排磁铁的上方或下方，沿搬送通路而安装于真空室中。另外的特征在于按照下述方式设置磁铁，该方式为：沿与搬送方向相垂直的方向，以规定间距间隔开地设置多排的第一排磁铁和第二排磁铁，在面对的磁铁排之间，作用有吸力，在相邻的磁铁排之间，作用有排斥力。通过本发明可抑制基板托盘的摆动，进而抑制灰尘的产生，可实现稳定的高速搬送。
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