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公开(公告)号：CN113106549A
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202110550421.1
申请日：2021-05-20
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明公开一种采用PVT法制备碳化硅单晶的生长装置，涉及碳化硅单晶的制备及晶体生长技术领域，包括密封腔、加热结构、保温结构、测温机构、旋转机构和升降机构；保温结构设于密封腔内；加热结构设于保温结构内，测温机构设于密封腔上；坩埚设于保温结构内，籽晶托设于坩埚内；旋转机构用于驱动坩埚的旋转，升降机构用于驱动坩埚的升降，或，所述旋转机构用于驱动所述籽晶托的旋转，所述升降机构用于驱动所述籽晶托的升降。加热结构能实现对坩埚的底部、四周和顶部的分别加热，并能够通过调整单个加热电阻的功率实现径向温度梯度和轴向温度梯度的调节，使坩埚周围的径向温度梯度和轴向温度梯度处于最合适的状态，能更好的促进晶体的生长。
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公开(公告)号：CN112512728A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202080004093.9
申请日：2020-04-29
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
IPC分类号： B22F3/10
摘要： 本发明公开了一种双向气氛控制工艺及双向气氛烧结炉，通过双向气氛控制，让单向气氛控制中流动方向上各区域产品尺寸、性能出现的差异得到反方向气氛控制的补足，使产品的尺寸、性能前后均匀。
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公开(公告)号：CN110181045A
公开(公告)日：2019-08-30
申请号：CN201910596893.3
申请日：2019-07-03
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种连续脱脂炉的硝酸雾化装置，包括注酸装置、氮气加热装置和雾化装置。注酸装置连接有注酸管路；氮气加热装置包括第一加热组件，氮气加热装置分别连接有进气管路和出气管路；雾化装置包括蒸发箱和设置于蒸发箱内的第二加热组件、蒸发盘、支撑架和玻璃球，支撑架用以支撑蒸发盘，多个玻璃球堆积于蒸发盘内，蒸发箱分别与注酸管路、出气管路和混合气体管路相连，注酸管路的出口位于蒸发盘的上方。与现有技术相比，本发明的硝酸雾化装置由三个独立的部分组成，任何一个部分出现问题都可以进行单独维护，简化了维护过程。又由于蒸发盘内的玻璃球可以扩大硝酸滴入液体的有效蒸发面积，提高了硝酸液体的蒸发效率。
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公开(公告)号：CN110125393A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910596996.X
申请日：2019-07-03
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种连续脱脂烧结炉的横向传输装置，包括小车移动机构、小车升降机构、入口输送机构、出口输送机构和箱体外壳。小车移动机构包括支撑骨架、移动小车和小车驱动结构，小车驱动结构用以驱动移动小车在支撑骨架的上料位和下料位之间往复移动；小车升降机构用以驱动支撑骨架上下移动；入口输送机构设置于上料位，出口输送机构设置于下料位；箱体外壳密封设置且用以填充惰性气体，移动小车在上料位和下料位之间往复移动时始终位于箱体外壳内。与现有技术相比，本发明能够实现料舟在脱脂区和烧结区之间的稳定、密封输送。
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公开(公告)号：CN108458589A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810283615.8
申请日：2018-04-02
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明公开一种加热体及实现多区域控温的真空烧结炉。该真空烧结炉包括密封箱、加热装置和隔热筒；加热装置包括多个加热体组均匀的分布在密封箱的外部，每个加热体组包括两个结构相同且环绕在密封箱的侧面的加热体；加热体包括第一加热结构和第二加热结构；第一加热结构和第二加热结构的首端与单相变压器的输出端相连，第一加热结构与第二加热结构的末端通过长连接片连接；单相变压器、第一加热结构与第二加热结构构成电流回路。采用本发明的加热体及真空烧结炉，每个加热体对对应区域进行加热，实现加热体的加热温度的自动调节，采用多个加热体构成的加热装置对真空烧结炉的多个区域进行加热，实现对真空烧结炉炉内温度均一性的控制。
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公开(公告)号：CN107588662A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201711023634.9
申请日：2017-10-27
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种真空脱脂烧结炉，包括炉体和设置在炉体内的隔热筒和隔热门，隔热门设置在隔热筒两端，隔热筒的内部设有加热体；炉体的两端铰接有炉门，两个炉门中的任一个上设有冷却系统，炉体上设有进气管，进气管用于连通气源；炉体通过立柱连接有石墨导轨，石墨导轨用于支撑和运输料箱，石墨导轨上设有若干个滚针轴承，料箱能够在石墨导轨上移动；料箱上设有进气阀和冷却口，冷却口能够由设置于炉体上的活动上盖封闭；炉体下部设有抽气法兰，抽气法兰用于连通真空泵，抽气法兰依次连接有下脱脂管和上脱脂管，上脱脂管由一升降机构驱动能够在下脱脂管内移动，与料箱的排气口连通或分离。本发明的真空脱脂烧结炉具有生产效率高的优点。
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公开(公告)号：CN103264163A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310165148.6
申请日：2013-05-06
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明涉及金属粉末注射成型真空脱脂烧结炉，公开了一种金属粉末注射成型真空脱脂烧结炉定向气流装置，包括料箱（1），料箱（1）上设有若干个定向气流装置，定向气流装置对称的设置在料箱（1）两端门板（2）上。本发明在料箱门板上设有若干个定向气流装置，该装置使主要进气方向由门缝及安全阀转变为通过料箱门板上的孔道进气，这种结构可实现宽幅进气，且使气流均匀的分配并通过料箱内部的每一层料板；同时料箱内的粘结剂不会跑到料箱外而污染加热体、保温材以及炉内壁。
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公开(公告)号：CN112522681A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN202011578719.5
申请日：2020-12-28
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
IPC分类号： C23C16/453
摘要： 本发明公开一种常压化学气相沉积设备，涉及常压化学沉积技术领域，包括进气箱、扩散头、加热体组件、横臂、转台、机械手、装料运载平台、晶圆料车、风机过滤机组和真空系统；风机过滤机组设置于所述装料运载平台上方；所述机械手设置于所述装料运载平台与所述转台之间；所述横臂可滑动的设置于所述转台远离所述机械手的一侧，所述加热体组件设置于所述横臂上方；所述扩散头设置于所述加热体组件正下方，所述进气箱与所述扩散头相连通；所述真空系统用于为所述机械手和所述加热体组件提供真空环境。本发明中的常压化学气相沉积设备，可常压化学气相沉积多种薄膜，并能有效提高设备集成度、降低自动化难度、缩小占地面积、提高设备产能。
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公开(公告)号：CN111457715A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010385636.8
申请日：2020-05-09
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明涉及一种加热体及多区域控温的真空炉。该加热体中第一加热单元中多个第一加热片的第一端并联连接至第一连接片，第二端并联连接至第一角连接片；第二加热单元中多个第二加热片的第一端并联连接至第一角连接片，第二端并联连接至第二角连接片；第三加热单元中多个第三加热片的第一端并联连接至第二角连接片，第二端并联连接至第二连接片；第一电极棒固定于第一连接片上，第一电极棒用于与单相变压器的第一接线端连接；第二电极棒固定于第二连接片上，第二电极棒用于与单相变压器的第二接线端连接；加热体的径向截面为U型，第一连接片与第二连接片不共面。本发明可以降低真空炉的温度调节难度，提高真空炉的温度均匀性。
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公开(公告)号：CN111305727A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010273182.5
申请日：2020-04-09
申请人： 宁波恒普真空技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种烧结炉内保温门开闭结构，包括密封箱门驱动结构和保温门随动结构。单向作用气缸拉动推杆时，在第一阶段，密封箱门逐渐打开而保温门保持不动，门挂板支架和限位卡板之间的间隙逐渐缩小；在第二阶段，门挂板支架和限位卡板相抵，单向作用气缸继续拉动推杆，继续带动密封箱门打开，同时带动保温门克服第一弹簧结构和第二弹簧结构的压力打开。单向作用气缸在内置弹簧的作用下对推杆施加推力时，密封箱门逐渐关闭，保温门8也在第一弹簧结构和第二弹簧结构的压力下逐渐关闭。相比于现有技术，本发明的烧结炉内保温门开闭结构能够开关保温门，独立开关密封门以及消除保温门和密封箱门热膨胀不同的影响。
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