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公开(公告)号:CN115698377A
公开(公告)日:2023-02-03
申请号:CN202180038709.9
申请日:2021-12-31
申请人: 应普技株式会社
IPC分类号: C23C16/513 , C23C4/134 , B05B7/22
摘要: 本发明一实施例公开的喷嘴装置包括:第一嘴体,形成有用于喷射等离子体的第一喷射口;第二嘴体,与上述第一嘴体隔开,形成有至少一个第二喷射口,使得从上述第一嘴体喷射的等离子体通过;结合部件,与上述第二嘴体隔开,与上述第一嘴体相结合;以及至少一个连接部件,使得上述第二嘴体与上述结合部件相连接,上述第二嘴体包括至少一个注入流路,用于向上述第二喷射口内注入蒸镀材料。
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公开(公告)号:CN115427608B
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202180013524.2
申请日:2021-12-31
申请人: 应普技株式会社
IPC分类号: C23C16/513 , C23C4/134 , B05B7/22
摘要: 本发明涉及一种喷射喷嘴装置。本发明的喷射喷嘴装置可包括:第一喷嘴部,在内部具有与喷射流体的第一喷射口连接的第一内部流路和向上述第一内部流路注入流体的第一注入口;第二喷嘴部,位于上述第一内部流路内,在与上述第一喷射口相邻的一侧具有喷射等离子的第二喷射口;以及分配部,位于上述第一喷嘴部与上述第二喷嘴部之间,将上述第一内部流路划分为与上述第一喷射口连接的第一划分流路以及与上述第一注入口连接的第二划分流路,上述分配部包括连接上述第一划分流路与上述第二划分流路的多个连接流路。
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公开(公告)号:CN115427608A
公开(公告)日:2022-12-02
申请号:CN202180013524.2
申请日:2021-12-31
申请人: 应普技株式会社
IPC分类号: C23C16/513 , C23C4/134 , B05B7/22
摘要: 本发明涉及一种喷射喷嘴装置。本发明的喷射喷嘴装置可包括:第一喷嘴部,在内部具有与喷射流体的第一喷射口连接的第一内部流路和向上述第一内部流路注入流体的第一注入口;第二喷嘴部,位于上述第一内部流路内,在与上述第一喷射口相邻的一侧具有喷射等离子的第二喷射口;以及分配部,位于上述第一喷嘴部与上述第二喷嘴部之间,将上述第一内部流路划分为与上述第一喷射口连接的第一划分流路以及与上述第一注入口连接的第二划分流路,上述分配部包括连接上述第一划分流路与上述第二划分流路的多个连接流路。
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