一种光刻胶树脂的后处理方法及应用

    公开(公告)号:CN118240132A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202410471530.8

    申请日:2024-04-19

    IPC分类号: C08F220/32 C08F6/00 G03F7/039

    摘要: 本发明涉及一种光刻胶树脂的后处理方法及应用,所述后处理方法包括:a)向聚合反应合成的聚甲基丙烯酸酯类树脂液中加入有机溶剂稀释树脂液,然后将稀释后的树脂液滴加到第一沉降剂中,并搅拌,通过离心进行固液分离,然后烘干,得到一沉树脂;b)使用极性有机溶剂溶解烘干后的一沉树脂得到树脂溶解液,并向树脂溶解液中滴加不良溶剂,并搅拌,过滤以将析出的固体除去,并浓缩,得到二沉树脂液;c)将二沉树脂液滴加到第二沉降剂中,并搅拌,通过离心进行固液分离,然后烘干,得到聚甲基丙烯酸酯类成品树脂。额外增加一步“反向沉降”的工艺,使得溶解性较差的高分子量链段以及微凝胶“优先”析出沉降,得到优化的树脂。

    一种光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法

    公开(公告)号:CN116046941B

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202211741730.8

    申请日:2022-12-30

    摘要: 本发明提供了一种光刻胶树脂中残余单体含量的测试方法,所述测试方法包括以下步骤:a1)配置至少3组不同浓度的光刻胶树脂单体的标准溶液;a2)采用有机溶剂对光刻胶树脂样品中残余单体进行萃取,得到样品溶液;a3)采用高效液相色谱法分别测定标准溶液和样品溶液,测定得单体的峰面积;a4)测试标准溶液,绘制浓度—峰面积标准曲线;测试样品溶液,峰面积代入相对应的单体标准曲线计算得样品中光刻胶树脂中残余单体含量本发明提供方法操作简单,能对多种残余单体和杂质进行有效分离和定量。

    一种光刻胶材料中痕量金属离子含量的检测方法

    公开(公告)号:CN117665086A

    公开(公告)日:2024-03-08

    申请号:CN202311852930.5

    申请日:2023-12-29

    IPC分类号: G01N27/626 G01N1/28

    摘要: 本发明涉及一种光刻胶材料中痕量金属离子含量的检测方法,所述测试方法包括以下步骤:a)采用有机溶剂配置待测金属元素的至少5组不同离子浓度的标准溶液;b)使用电感耦合等离子体质谱仪测定标准溶液,得标准溶液各离子浓度对应的信号强度值;c)绘制待测金属元素的“离子浓度—信号强度值”的线性回归方程;d)采用有机溶剂溶解待测的光刻胶材料样品制备样品溶液,使用电感耦合等离子体质谱仪测定样品溶液,得各待测金属元素离子的信号强度值,并根据回归方程标准曲线计算出待测样品液中金属离子的浓度。本发明提供的检测方法有较高的检测灵敏度及准确性,可同时准确检测22种金属离子的含量,大大提高了检测精确度和效率。

    一种ESCAP型光刻胶及其使用方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117608164A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311546478.X

    申请日:2023-11-17

    IPC分类号: G03F7/004 G03F7/00 G03F7/039

    摘要: 本发明一种ESCAP型正性光刻胶,其特征在于:所述正性光刻胶包含(A)聚合物树脂、(B)光酸、(C)溶解促进剂、(D)猝灭剂、(E)流平剂和(F)溶剂;所述(A)聚合物树脂,包含以下两种重复单元:所述RA1、RA2独立地为氢或C1~C6的烷基;所述(C)溶解促进剂选自苯二酚类物质、苯三酚类物质或包含羧基的脂肪环烃类物质中至少一种。本发明提供的ESCAP型正性KrF光刻胶,能够在孔洞和沟槽等暗场图形时具有良好的解析能力,形成形貌良好的光刻图形。

    一种酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法

    公开(公告)号:CN114276242B

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202111655212.X

    申请日:2021-12-30

    摘要: 本发明涉及一种酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法,所述制备方法包括如下合成路线:式中,M为C4~C7的环烷基,R1为C1~C6烷基,R2为氢原子或C1~C6烷基;所述制备方法包括如下合成步骤:c)将式Ⅲ化合物、缚酸剂、催化剂和阻聚剂溶于第一有机溶剂中,滴加式Ⅱ化合物,进行酯化反应,得到式Ⅰ化合物;d)将步骤c)的反应液进行淬灭、酸洗、碱洗、浓缩和减压蒸馏。本发明的酸敏感光刻胶树脂单体的制备方法收率高、纯度高,尤其在百公斤级制备下仍然具有收率高和纯度高的有益效果。

    一种含氟光刻胶树脂单体中间体、含氟光刻胶树脂单体及其制备方法

    公开(公告)号:CN116041184A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202211675093.9

    申请日:2022-12-26

    摘要: 本发明提供一种含氟光刻胶树脂单体、含氟光刻胶树脂单体中间体及其制备方法。该含氟光刻胶树脂单体包括如下式I所示的结构通式:其中间体的制备方法包括如下步骤:a)式I‑1化合物、I‑2化合物与第一缚酸剂在第一溶剂中进行酯化反应,获得式I‑3化合物:该含氟光刻胶树脂单体的制备方法包括如下步骤:1)采用上述制备方法获得该含氟光刻胶树脂中间体;2)将I‑3、I‑4化合物与第二缚酸剂在第二溶剂中进行酯化反应,获得式I化合物:本发明含氟光刻胶树脂单体及其中间体的制备方法,合成路线简单,后处理工序少,减少了三废的产生,同时也大大提高了产品的纯度和收率。