一种低粒子真空蝶阀
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118881747A

    公开(公告)日:2024-11-01

    申请号:CN202411364662.7

    申请日:2024-09-29

    摘要: 本发明涉及一种低粒子真空蝶阀,包括气缸组件、阀芯组件及阀体。该蝶阀通过特殊设计的气缸组件与阀芯组件间的连接杆及滑动轨道机制,在开、关阀过程中避免阀芯与阀体金属接触,减少粒子产生,提高系统可靠性。气缸组件内的活塞轴套上设有两段滑动轨道,分别驱动连接杆绕不同点旋转,实现阀芯精确控制。阀芯组件采用耐磨材料支撑环,确保密封同时避免金属摩擦。此外,阀门设计具有自锁功能,提高安全性。本发明的低粒子真空蝶阀特别适用于薄膜镀层、质谱分析等对真空环境要求严苛的领域。

    一种阀芯可调式真空阀
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118856022A

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202411328574.1

    申请日:2024-09-24

    摘要: 本发明涉及真空阀技术领域,本发明提供了一种阀芯可调式真空阀,包括壳体和阀板,壳体上设有用于驱动阀板于壳体内线性滑动的摆杆驱动机构,阀板一面通过弹性件连接有背板,背板与阀板间限位活动抵接有调节环,调节环上可调节连接有调节块,摆杆驱动机构活动抵接调节块,从而拨动调节环限位转动用于改变背板与阀板间距,实现关阀密封,确保了管口的有效密封,简化了操作流程,提升了使用的便利性,通过调整螺栓孔与连接条孔固定的相对位置,实现调节块与调节环的可调节装配,调节摆杆驱动机构开始拨动调节块的初始位置,从而调整调节环的旋转角度,解决开阀噪音大的问题,提高了装配效率以及一次成品高良率。

    一种油液过滤的旋片式真空泵及过滤装置监测方法

    公开(公告)号:CN117404298A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202311316770.2

    申请日:2023-10-11

    摘要: 本发明提供了一种油液过滤的旋片式真空泵及过滤装置监测方法,包括真空泵和过滤装置。过滤装置连接于真空泵,以使真空泵内的油液经过滤装置过滤后回到真空泵内部。过滤装置包括串联连接的滤盒和过滤泵。以使真空泵内的油液经滤盒和过滤泵流回。本发明设的油液过滤的旋片式真空泵使用时,真空泵内的润滑油在过滤泵的作用下被抽走,进而经过滤盒并被滤盒内部的过滤棉等过滤。过滤后的润滑油被过滤泵送回真空泵。这就有效的避免了真空泵中的固体杂质对真空泵的运动部件造成损伤。

    一种真空镀膜机自动翻转镀膜的工件夹具

    公开(公告)号:CN117403201A

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN202311422554.6

    申请日:2023-10-31

    IPC分类号: C23C14/50 C23C14/30

    摘要: 本发明公开了一种真空镀膜机自动翻转镀膜的工件夹具,包括工件架、工件盘、翻转机构和驱动气缸组成,所述工件架上安装多个工件盘和多个翻转机构,工件盘的一端与工件架进行连接,工件盘的另一端与翻转机构进行连接,驱动气缸与翻转机构的驱动组件进行抵接,翻转机构的翻转拨叉与限位机构进行抵接时工件盘保持水平,翻转拨叉转动时与翻转拨片固定的翻转轴在翻转座内转动,翻转轴驱动工件盘进行转动,工件盘进行180°旋转。本发明通过真空镀膜机自动翻转镀膜的工件夹具解决了现有技术中的人工翻面和多次抽真空导致的操作繁琐的技术问题。

    一种用于高真空半导体的金属介质镀膜机及操作方法

    公开(公告)号:CN117328024A

    公开(公告)日:2024-01-02

    申请号:CN202311309942.3

    申请日:2023-10-11

    发明人: 吕敏 俞腾龙

    摘要: 本发明公开了一种用于高真空半导体的金属介质镀膜机及操作方法,包括镀膜机、升降机构和旋转机构,升降机构由滚珠丝杠和升降驱动电机组成,旋转机构由旋转电机和旋转轴组成,镀膜机由工件盘和蒸发室组成,工件盘设置在蒸发室的内部,蒸发室的顶部设有支撑架,支撑架上竖直对称安装两个滚珠丝杠,两个所述滚珠丝杠上安装升降板,升降板上安装旋转电机,工件盘与旋转轴的底部进行连接,旋转轴的外侧套设有波纹管,波纹管的顶部与升降板的底面固定,波纹管的底部与蒸发室的顶面固定,升降机构上设置半中控编码器。本发明通过用于高真空半导体的金属介质镀膜机及操作方法解决了现有技术中的镀膜性能差、高度调节不便和自动化程度低的技术问题。

    一种大型光学镀膜机的工件装卸小车

    公开(公告)号:CN117302873A

    公开(公告)日:2023-12-29

    申请号:CN202311240023.5

    申请日:2023-09-25

    摘要: 本发明公开了一种大型光学镀膜机的工件装卸小车,包括车架,车架底部外侧安装有驱动轮、承载轮与导向轮,车架底部内侧中心处安装有装卸小车驱动装置,车架顶部设置有液压油缸,液压油缸上端设置有工件升降及旋转装置,升降装置用于将工件上升或下降到需要的位置,升降装置采用双液压双导向机构,双液压升降机构安装在旋转装置的左右两侧,由同一个电磁阀同时控制两套液压升降缸,后部左右各安装一套导向机构,导向机构采用线性轴承导向的结构,导向机构上下均固定在车架焊件上,线性轴承随升降机构上下运动,确保升降机构的平稳性,设置了定位与导向系统,使得小车可以进行高精度的运送承载物,从而减少镀膜过程中大口径光学元件的损坏。

    一种电子元器件专用重氟油检漏设备及方法

    公开(公告)号:CN117053999A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311173708.2

    申请日:2023-09-12

    IPC分类号: G01M3/06 G08B3/10

    摘要: 本发明公开了一种电子元器件专用重氟油检漏设备及方法,该设备包括:触摸屏显示系统,用于显示和控制整个设备的工作状态;PLC控制系统,用于控制设备进行加热控温、循环过滤、计时报警和照明;加热控温系统,用于对重氟油进行加热,进而判定电子元器件泄露情况;循环过滤系统,用于对检测后的重氟油进行过滤回收;计时报警系统,用于设定计时时间,当计时时间结束时,发出报警提示;照明系统,为设备提供照明,便于判定电子元器件泄露情况。本发明增加了循环过滤系统,减少了设备能耗,降低了设备使用成本。

    一种自锁式单阀板真空阀

    公开(公告)号:CN116066583B

    公开(公告)日:2023-06-13

    申请号:CN202310322708.8

    申请日:2023-03-30

    摘要: 本发明公开了一种自锁式单阀板真空阀,包括阀体、摇杆结构、阀板、连接板,其特征在于,所述摇杆结构与阀板活动连接,摇杆结构驱动阀板在阀体内做线性运动,以及推动连接板绕阀板作旋转运动;所述连接板通过定位轴设置在阀板远离摇杆结构的一面;所述阀板上端开设有滑槽,阀板的下端设置钢球窝;所述连接板上设置有钢球套,钢球套内设置有竖直排列的两颗钢球,连接板绕阀板转动时钢球能够沿钢球窝滑动,撑开阀板实现密封。本发明通过自锁式单阀板真空阀解决了现有技术中的单阀板真空阀的密封效果差、抗压能力差和关阀速度慢的技术问题。

    一种自锁式单阀板真空阀
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116066583A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202310322708.8

    申请日:2023-03-30

    摘要: 本发明公开了一种自锁式单阀板真空阀,包括阀体、摇杆结构、阀板、连接板,其特征在于,所述摇杆结构与阀板活动连接,摇杆结构驱动阀板在阀体内做线性运动,以及推动连接板绕阀板作旋转运动;所述连接板通过定位轴设置在阀板远离摇杆结构的一面;所述阀板上端开设有滑槽,阀板的下端设置钢球窝;所述连接板上设置有钢球套,钢球套内设置有竖直排列的两颗钢球,连接板绕阀板转动时钢球能够沿钢球窝滑动,撑开阀板实现密封。本发明通过自锁式单阀板真空阀解决了现有技术中的单阀板真空阀的密封效果差、抗压能力差和关阀速度慢的技术问题。