-
公开(公告)号：CN101045288A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710005698.6
申请日：2007-03-15
IPC: B24D7/18
CPC classification number: B24B7/228 , B24B37/048 , B24B37/26
Abstract: 本发明提供一种研磨片，其中，磨料层图案中的脊的宽度要大于脊相邻部分之间形成的凹坑的宽度。其形状适合于在研磨操作中，即使当摇摆工件、同时旋转该研磨片时，也能实施均匀处理而不引起工件落入磨料层图案的脊部分之间的凹坑中。
Search Results
1
records
(took 0.012 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
