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公开(公告)号：CN100341048C
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200410088002.7
申请日：2004-10-28
CPC分类号： B24B37/30 , B24B37/048 , Y10T29/49048
摘要： 本发明提供了一种研磨方法和装置，它增加了磁头滑动件制造处理的收获率，但是不会使得输出和不对称特征变差。根据本发明，一种用于研磨薄膜磁头的装置包括夹具块和研磨板。该夹具块包括第一夹具和第二夹具，该第一夹具保持要进行研磨的杆，该第二夹具保持用于分担负载的部件。该研磨板可相对于第一和第二夹具运动，并可与由第一夹具保持的杆的要研磨表面以及由第二夹具保持的负载分担部件接触，以便进行研磨。
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公开(公告)号：CN1300769C
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200410007890.5
申请日：2004-03-03
申请人： 日立环球储存科技荷兰有限公司
发明人： 马克·A·丘奇 , 阿兰·M·L·德苏什 , 格伦·P·吉
CPC分类号： B24B37/16 , B24B21/04 , B24B37/048 , B24B49/16
摘要： 一种对多行磁记录头研磨的装置和方法，它使用多个具有可变压力的流体填充孔，这些孔靠着柔性胶带以便固定并支撑所述行。该带提供必要的切向约束力沿着研磨板拖拉工件。在带下的多个孔提供必要的垂直力将工件压向研磨板以便进行研磨。该行的材料去除量通过调整孔内压力而改变，使得更高的压力施加到那些具有更高带高的磁头上，较低的压力施加到具有较低带高的磁头上。为了设定或调整孔压，进行读入传感器电阻测量以便计算带高。该带高大致与电阻成反比例。
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公开(公告)号：CN1762658A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200410085493.X
申请日：2004-10-18
CPC分类号： B24B37/30 , B24B37/048 , G11B5/3103 , G11B5/3116 , G11B5/3163 , G11B5/3169 , G11B5/3173 , G11B5/3967
摘要： 本发明公开了一种研磨用夹具包括将研磨对象物的被研磨面朝向研磨装置的研磨面加以保持(hold)的保持部；用于将研磨用夹具安装于研磨装置上的本体部；与本体部分离并沿长度方向排列的、至少从研磨装置接受将被研磨面垂直于研磨面压紧的挤压方向负荷的多个负荷附加部等；将保持部和本体部，在长度方向彼此相距的位置上连接的多个连接部；以及将各负荷附加部等和保持部连接的多个腕部等。在相邻的连接部之间设有至少一个腕部，在两端的连接部沿长度方向的外侧上分别设有至少一个腕部。本发明还公开了使用该夹具的研磨装置以及研磨方法，本发明可在不降低生产效率或不使装置复杂化的前提下而沿长形条(bar)长度方向平坦地研磨由多个磁头排列构成的长形条。
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公开(公告)号：CN1571015A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN200410007890.5
申请日：2004-03-03
申请人： 日立环球储存科技荷兰有限公司
发明人： 马克·A·丘奇 , 阿兰·M·L·德苏什 , 格伦·P·吉
CPC分类号： B24B37/16 , B24B21/04 , B24B37/048 , B24B49/16
摘要： 一种对多行磁记录头研磨的装置和方法，它使用多个具有可变压力的流体填充孔，这些孔靠着柔性胶带以便固定并支撑所述行。该带提供必要的切向约束力沿着研磨板拖拉工件。在带下的多个孔提供必要的垂直力将工件压向研磨板以便进行研磨。该行的材料去除量通过调整孔内压力而改变，使得更高的压力施加到那些具有更高带高的磁头上，较低的压力施加到具有较低带高的磁头上。为了设定或调整孔压，进行读入传感器电阻测量以便计算带高。该带高大致与电阻成反比例。
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公开(公告)号：CN1159134C
公开(公告)日：2004-07-28
申请号：CN01811247.1
申请日：2001-06-15
申请人： TDK株式会社
CPC分类号： B24B37/013 , B24B37/048 , B24B49/04 , B24B49/10 , G11B5/1871 , G11B5/3103 , G11B5/3116 , G11B5/3163 , G11B5/3166 , G11B5/3173 , Y10S156/923 , Y10T29/49032 , Y10T29/49036 , Y10T29/49037 , Y10T29/49041 , Y10T29/49048 , Y10T29/4905 , Y10T29/49155 , Y10T29/49156 , Y10T29/49174 , Y10T29/53165 , Y10T29/53174 , Y10T29/53265 , Y10T156/1082 , Y10T156/1168
摘要： 本发明的目的是提供一种装置和方法，当进行获得预定的槽缝高度值的一个加工过程或凸面加工等时，所述装置和方法可容易地形成辅助电极等和引导电极之间的连接并可测量要求的研磨量。为了实现该目的，使用一种柔性电极延伸板，所述电极延伸板由一用于保持形成有元件部分的陶瓷杆的部分和一其中形成有分别与所述元件对应并适合于与所述元件连接的电引线的部分构成，其中这些可容易地与外部测量系统连接的电引线与元件电连接，从而可容易地从研磨加工过程中元件的特征量中获得研磨量。
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公开(公告)号：CN1124593C
公开(公告)日：2003-10-15
申请号：CN99109745.9
申请日：1999-07-09
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
发明人： 中川浩一
CPC分类号： G11B5/3116 , B24B37/048 , G11B5/1871 , G11B5/232 , G11B5/3106 , Y10S451/913 , Y10T29/49041 , Y10T29/49048
摘要： 本发明提供一种滑子的制造方法，包括：抛光研磨工序，在该工序中，对并列有若干基部和叠层在基部上的记录/重放用的薄膜元件的滑杆上的磁隙部露出面，从前述基部侧向着薄膜元件侧在与前述滑杆垂直的一定方向上进行抛光研磨；该磁隙部露出面与薄膜元件的叠层方向平行；在抛光研磨工序后，使前述已抛光研磨的磁隙部露出面在与薄膜元件的叠层方向垂直的方向上往返并研磨的工序；将前述滑杆分割成若干个滑子的工序。
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公开(公告)号：CN1077310C
公开(公告)日：2002-01-02
申请号：CN98103835.2
申请日：1998-02-06
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： B24B37/013 , B24B37/00 , B24B37/048 , B24B49/02 , G11B5/3116 , G11B5/3163
摘要： 一种研磨与横条粘结的工件的自动研磨方法和研磨装置，此工件包括薄膜元件，以便通过精确测量工件的高度来控制研磨过程。自动研磨装置可包括用于研磨与横条粘结的薄膜的研磨板和控制器，薄膜包括监控元件，后者起码包括其阻值随研磨而模拟地改变的模拟电阻，而控制器把模拟电阻值转换成薄膜元件的高度，并且当薄膜元件的高度达到目标值时，停止研磨过程，当当前测量阻值小于过去测量阻值时，控制器应用过去测量阻值作为当前测量阻值。
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公开(公告)号：CN1243305A
公开(公告)日：2000-02-02
申请号：CN99109745.9
申请日：1999-07-09
申请人： 阿尔卑斯电气株式会社
发明人： 中川浩一
IPC分类号： G11B5/127
CPC分类号： G11B5/3116 , B24B37/048 , G11B5/1871 , G11B5/232 , G11B5/3106 , Y10S451/913 , Y10T29/49041 , Y10T29/49048
摘要： 本发明提供了一种滑子的制造方法,根据本发明的制造方法,在滑子的抛光研磨工序中,可防止在滑子的轨部与薄膜元件之间产生台阶,同时可避免薄膜元件的各元件层中短路。从滑子S的基部2侧朝着薄膜元件1侧,与滑杆B直交地在一定方向上进行抛光研磨。然后使滑杆B在与抛光研磨方向直交的方向上往复并研磨,除去拖尾T。
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公开(公告)号：CN1195840A
公开(公告)日：1998-10-14
申请号：CN97123448.5
申请日：1997-12-31
申请人： 富士通株式会社
IPC分类号： G11B5/33
CPC分类号： B24B37/013 , B24B37/048 , B24B49/04 , B24B49/10 , G11B5/1871 , G11B5/3103 , G11B5/3166 , G11B5/3173 , G11B5/3967 , Y10T29/49004 , Y10T29/49036 , Y10T29/49037 , Y10T29/49043
摘要： 在精确测量电阻的磁头制造方法中,在测量过程监控元件的电阻值的同时加工处理磁头。在晶片上形成磁头元件和监控元件后,监控元件的电阻值与加工过程以模拟的方式一致地变化。在测量监控元件的电阻值的同时,把磁头加工到预定的高度。在形成过程中,事先决定磁头元件与监控元件的位置的差值ΔI,这差值用来把监控元件的阻值转换成磁头元件的高度。这使得有可能修正掩模误差。此外,通过把监控元件设置成与磁头的磁阻膜处在相同的位置,而能精确地形成图案。
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公开(公告)号：CN1195599A
公开(公告)日：1998-10-14
申请号：CN98103835.2
申请日：1998-02-06
申请人： 富士通株式会社
CPC分类号： B24B37/013 , B24B37/00 , B24B37/048 , B24B49/02 , G11B5/3116 , G11B5/3163
摘要： 一种研磨与横条粘结的工件的自动研磨方法和研磨装置,此工件包括薄膜元件,以便通过精确测量工件的高度来控制研磨过程。自动研磨装置可包括用于研磨与横条粘结的薄膜的研磨板和控制器,薄膜包括监控元件,后者起码包括其阻值随研磨而模拟地改变的模拟电阻,而控制器把模拟电阻值转换成薄膜元件的高度,并且当薄膜元件的高度达到目标值时,停止研磨过程,当当前测量阻值小于过去测量阻值时,控制器应用过去测量阻值作为当前测量阻值。
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