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公开(公告)号：CN112730463B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202011550604.5
申请日：2020-12-24
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/01
摘要： 本发明公开一种基于同轴光栅光源检测玻璃盖板缺陷的装置，包括成像组件、光源组件、传动组件和控制组件，所述成像组件包括线扫相机，所述光源组件包括同轴光栅光源和分光镜，所述传动组件上放置有待测玻璃盖板，所述控制组件包括工控机和光源控制器；所述线扫相机分别与光源控制器和工控机相连，所述同轴光栅光源与光源控制器相连；所述同轴光栅光源发出的光经45°摆放的分光镜垂直反射到待测玻璃盖板表面，再经由分光镜垂直入射到线扫相机；所述光源控制器控制光源频闪并同步触发线扫相机拍照。本发明还提供一种基于同轴光栅光源检测玻璃盖板缺陷的方法。
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公开(公告)号：CN115172206B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202210620512.2
申请日：2022-06-02
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆生产设备一种晶圆生产设备及方法，包括壳体，所述壳体内设置有机架、上料机构、外观检测装置、标记打点装置、扩膜装置、下料机构以及用于在所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置、所述下料机构之间搬运晶圆产品的XYZR搬运机构；所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置、所述下料机构以及所述XYZR搬运机构均固定于所述机架上。本发明将外观检测装置、标记打点装置与扩膜装置集成在同一设备中，采用一套上料机构、下料机构及XYZR搬运机构，不仅结构及节拍更为紧凑，还可以降低成本，节省占地空间。
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公开(公告)号：CN115172206A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210620512.2
申请日：2022-06-02
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆生产设备一种晶圆生产设备及方法，包括壳体，所述壳体内设置有机架、上料机构、外观检测装置、标记打点装置、扩膜装置、下料机构以及用于在所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置、所述下料机构之间搬运晶圆产品的XYZR搬运机构；所述上料机构、所述外观检测装置、所述标记打点装置、所述扩膜装置、所述下料机构以及所述XYZR搬运机构均固定于所述机架上。本发明将外观检测装置、标记打点装置与扩膜装置集成在同一设备中，采用一套上料机构、下料机构及XYZR搬运机构，不仅结构及节拍更为紧凑，还可以降低成本，节省占地空间。
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公开(公告)号：CN115145004A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210687245.0
申请日：2022-06-16
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
摘要： 本发明涉及镜头设计技术领域，为一种组合透镜组及镜头，其中组合透镜组包括沿着入射光路径上依次布置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组及第五透镜组；所述第一透镜组为具有负光焦度的透镜，所述第二透镜组为具有正光焦度的透镜，所述第三透镜组为具有负光焦度的透镜，所述第四透镜组为具有正光焦度的透镜，所述第五透镜组为具有负光焦度的透镜。该镜头主要用于AOI设备中，利用长后焦提供高的放大倍率来进行晶体表面瑕疵检测，具有色差和畸变小，检测精度高的特点。
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公开(公告)号：CN218917887U
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202222120802.9
申请日：2022-08-12
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
摘要： 本实用新型涉及平行光源技术领域，为一种组合式同轴平行光源结构，包括LED光源，还包括沿着所述LED光源的入射光路上依次布置的第一X向柱面镜、第一Y向柱面镜、第二Y向柱面镜、第二X向柱面镜及半透半反镜；所述半透半反镜的镜面与所述第二X向柱面镜的轴线呈锐角。其中第一X向柱面镜和第二X向柱面镜负责对X向进行准直确保光束平行。第一Y向柱面镜和第二Y向柱面镜负责对Y向光束进行准直并确保平行。最后通过半透半反镜的镜面反射到待测表面形成一个矩形光斑。通过调节各柱面镜的距离，以及半透半反镜的角度，便可以实现多种光斑尺寸的需求。此外该方案还可以根据需要将多个整体结构进行结合拼接，以适应多种光斑尺寸的需求。
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公开(公告)号：CN217946814U
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202221365742.0
申请日：2022-06-02
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
摘要： 本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆自动上料装置，包括底板、上料机构、X轴初定位机构、Y轴初定位机构以及搬运机构，所述上料机构设置于所述底板的一侧，X轴初定位机构、Y轴初定位机构和所述搬运机构均设置于所述底板上，且X轴初定位机构和Y轴初定位机构均位于所述上料机构和所述搬运机构之间。本实用新型在将晶圆产品搬运到检测工位处之前，通过X轴初定位机构和Y轴初定位机构分别对晶圆产品在X轴方向和Y轴方向进行初步定位，以便于搬运机构上料时可以将晶圆产品直接放进检测工位处的定位治具中，提高上料效率。
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公开(公告)号：CN217955804U
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202221365715.3
申请日：2022-06-02
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687
摘要： 本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆扩膜装置，包括基座、晶圆托板、扩膜板、顶升驱动机构、压板以及下压驱动机构；晶圆托板固定于基座上，所顶升驱动机构固定于晶圆托板的底面上，扩膜板与顶升驱动机构连接；晶圆托板上设置有与扩膜板相配合的扩膜孔；压板设置于晶圆托板的上方，压板与下压驱动机构连接，压板上设置有用于避让扩膜板的避让孔。本实用新型将晶圆产品放到晶圆托板上的指定位置后，通过下压驱动机构驱动压板向下将晶圆产品压紧在晶圆托板上，然后通过顶升驱动机构驱动扩膜板穿过扩膜孔向上顶升晶圆产品，使已经划好片的晶圆间隙扩大；该装置结构简单，且通过下压驱动机构和压板配合能够实现晶圆产品的自动固定。
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公开(公告)号：CN218445079U
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202221365719.1
申请日：2022-06-02
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
摘要： 本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观检测装置，包括底板，所述底板上设有外观检测工位、视觉检测机构以及XY直线模组，所述外观检测工位设置于所述XY直线模组的一侧，所述视觉检测机构安装于所述XY直线模组上；所述外观检测工位包括基板、晶圆定位治具、旋转驱动机构以及寻边纠偏机构；所述旋转驱动机构和所述寻边纠偏机构均设置于所述基板上，所述晶圆定位治具转动安装于所述基板上，且所述晶圆定位治具与所述旋转驱动机构连接。本实用新型将寻边纠偏机构设置在基板上，通过旋转驱动机构带动晶圆定位治具转动，配合寻边纠偏机构，可以实现自动寻边纠偏功能，且结构简单，易于操作，成本低。
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公开(公告)号：CN218039132U
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202221365751.X
申请日：2022-06-02
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种晶圆外观自动检测与标记设备，包括XYZR搬运机构、上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位，所述上下料工位和所述标记打点工位设置于所述XYZR搬运机构沿Y轴方向的两侧，所述外观检测工位设置于所述XYZR搬运机构沿X轴方向的一侧。本实用新型采用XYZR搬运机构搬运晶圆产品，通过X轴模组带动晶圆产品沿X轴方向移动，通过Y轴模组带动晶圆产品沿Y轴方向移动，通过Z轴模组带动晶圆产品沿Z轴方向移动，通过R轴模组带动晶圆产品在水平方向上转动，从而实现在上下料工位、外观检测工位以及标记打点工位之间搬运晶圆产品，其可以运动至任意点位，且成本低。
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公开(公告)号：CN217954825U
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202221518416.9
申请日：2022-06-16
申请人： 深圳华工量测工程技术有限公司
摘要： 本实用新型涉及镜头设计技术领域，为一种组合透镜组及镜头，其中组合透镜组包括沿着入射光路径上依次布置的第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组及第五透镜组；所述第一透镜组为具有负光焦度的透镜，所述第二透镜组为具有正光焦度的透镜，所述第三透镜组为具有负光焦度的透镜，所述第四透镜组为具有正光焦度的透镜，所述第五透镜组为具有负光焦度的透镜。该镜头主要用于AOI设备中，利用长后焦提供高的放大倍率来进行晶体表面瑕疵检测，具有色差和畸变小，检测精度高的特点。
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